-
公开(公告)号：CN116519737A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310488229.3
申请日：2023-05-04
Applicant: 清华大学
IPC: G01N25/16
Abstract: 本发明提供了一种高精度热膨胀系数测量装置及测量方法，涉及膨胀系数测量技术领域，包括真空腔、设置在真空腔内的用于放置待测样品的恒温器、设置在真空腔内用于采集到待测样品两端的距离的距离采集机构，所述距离采集机构位于恒温器外侧，还包括用于测量距离采集机构的两端采集点之间距离的总长测量组件。基于本发明的技术方案，采用多个激光干涉仪在真空环境中对待测样品的长度变化量进行测量，真空环境有效的避免了环境因素的干扰，通过合理的结构设计、加工精度要求和装配要求，可以有效的消除多项误差，从而提高测量精度。
-
公开(公告)号：CN108897956B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN201810707357.1
申请日：2018-07-02
Applicant: 清华大学
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06F111/04
Abstract: 本发明涉及一种多孔机械零部件优化设计方法，包括三个步骤：1.单胞等效性质插值模型构建过程，2.基于单胞等效性质的实体结构拓扑优化过程，3.基于密度信息映射单胞信息的结构重建过程。本发明面向增材制造技术，针对机械零部件轻量化与刚度、强度优化的设计需求，集成了宏/介观材料一体优化及增材制造工艺约束；该设计方法具有速度快、效率高、性能好、面向制造的优点，作为重要机械零部件的设计方法可提升机械系统综合性能。
-
公开(公告)号：CN111948917A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010870392.2
申请日：2020-08-26
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种基于光刻机双工件台运动系统的垂向保护方法及装置。方法包括：在微动台下方设有电涡流传感器，以及水平位移测量机构。根据被测量点与电涡流传感器基准点之间的距离，以及电涡流传感器基准点的坐标，计算得出微动台下表面各个被测量点的坐标。利用所测得的微动台上被测量点坐标计算出微动台当前时刻的点法式方程，然后通过代入平移后微动台被测量点的X、Y坐标，即可确定微动台在当前时刻的最大高度。将最大高度与高度阈值对比，若超出高度阈值，则停机保护，否则所述系统继续运行。本发明能够保护工件台在工作中不与上方设备相撞，精度高，复杂度低，执行速度快，具有较强的安全性与实时性。
-
公开(公告)号：CN110716397B
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201911050178.6
申请日：2019-10-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制，完成对曝光条纹相位漂移的锁定，实现高精度变周期光栅的制作。
-
公开(公告)号：CN111610715A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010326790.8
申请日：2020-04-23
Applicant: 清华大学
IPC: G05B13/02
Abstract: 本发明公开了一种直线运动系统的自适应递归前馈控制方法，包括：根据控制直线运动系统的反馈控制器，确定直线运动系统输出误差的功率谱，并根据所述功率谱提取出振动的特征频率；根据提取出的特征频率确定周期性扰动信号的等效扰动力，并根据所述等效扰动力确定估计扰动力的前馈控制信号；基于递归最小二乘算法得到所述傅里叶系数的参数更新律；根据所述参数更新律进行参数迭代，得到最优的傅里叶系数；将最优的傅里叶系数作用下的前馈控制信号输入至直线运动系统中，进行运动控制。本发明极大地缩减了计算量，有效地提高了系统的动态响应性能，具有动态响应快、控制精度高、鲁棒性能好的特点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111505939A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010327388.1
申请日：2020-04-23
Applicant: 清华大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种直线运动系统前馈控制器的参数整定方法，包括：利用迭代学习得到前馈控制信号；给定一个结构确定的基于模型的前馈控制器，利用最小二乘法，通过拟合所述前馈控制信号来整定所述前馈控制器的参数；获取每个前馈控制器参数对应的拟合残差，并将拟合残差最小的前馈控制器参数，作为直线运动系统的前馈控制器的参数。本发明能够对前馈控制器的参数进行充分有效的整定，使其跟踪控制性能逼近迭代学习，同时具有基于模型的特点，能够适应不同的参考轨迹，兼具跟踪控制性能和变轨迹适应能力，因此便于用于直线运动系统的运动控制。
-
公开(公告)号：CN109357614B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201811572535.0
申请日：2018-12-21
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01B7/06
Abstract: 本发明提供了一种光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法，该测量系统包括十二个Z向电涡流传感器，其中的四组为非切换组，两组为切换组，每组设定主传感器和辅传感器；该算法对磁钢表面进行分区；将有效测量动子悬浮高度的四组Z向电涡流传感器等效到第一分区内；若主传感器的靶区与散热孔重合，则选取补偿后的辅传感器读数，否则选取主传感器的读数；将四组传感器组成的信号分别进行低通滤波处理，得到四组动子悬浮高度信号；最后根据动子的不同运动位置，将四组信号取加权平均得到最终的动子质心悬浮高度信号。本发明能够减小传感器切换过程中产生的测量值跳变，实现动子全运动范围内悬浮高度的精确测量。
-
公开(公告)号：CN110837214A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201911050366.9
申请日：2019-10-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，提供了一种扫描干涉光刻系统，包括外差光路、第一干涉光路、第二干涉光路、运动台和控制子系统；运动台，所述运动台上承载基底，以位移测量干涉仪测量运动台的位移，第一束光和第二束光在基底上聚焦干涉曝光；控制子系统根据各种测量信息生成指令，对相应器件的角度或者光束的相位进行调节，完成对第一束光和第二束光干涉曝光条纹相位漂移的锁定。本发明的扫描干涉光刻系统具有条纹图形锁定精度高、激光利用率高等优点，利用外差相位计测量曝光光束的相位，位移测量干涉仪测量运动台的运动误差，通过控制子系统进行补偿控制曝光干涉条纹，可用于制造大面积高精度密栅线渐变周期光栅。
-
公开(公告)号：CN110716397A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201911050178.6
申请日：2019-10-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制，完成对曝光条纹相位漂移的锁定，实现高精度变周期光栅的制作。
-
公开(公告)号：CN109229424A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811066863.3
申请日：2018-09-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多自由度球形电动式磁悬浮动量轮，由外部支承组件、球形驱动电机及内部电动式磁悬浮动量轮组成；外部支承组件对球形驱动电机定子进行定位固定，同时为球形动子提供球面支承；在球形驱动电机定子线圈阵列中通入不同相位的正弦交流电，形成不同方向的行波磁场，可驱动整个球形动子的空间朝向发生改变，进而实现对磁悬浮动量轮转轴空间朝向的大范围内调节；同时根据电动式驱动原理，对内部电动式磁悬浮动量轮进行稳定悬浮与绕轴旋转一体驱动，从而实现对内部磁悬浮动量轮的转轴方向及转速大小的完全控制,最终能够实现对航天器姿态的多轴主动控制。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
403
records
(took 0.034 seconds)
