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公开(公告)号：KR1019950027440A
公开(公告)日：1995-10-16
申请号：KR1019940004524
申请日：1994-03-09
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로조절장치에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 2개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸도록 분리되어 형성된 지지부와 상기 지지부의 상부에 일측의 소정부분이 접촉되도록 실장되며 상기 지지부의 대향하는 면과 일치되도록 타측 방향으로 소정길이 만큼 절단된 제1 멤브레인과, 상기 제1 멤브레인의 상부에 형성된 신호전극과, 상기 지지부와 제1 멤브레인을 관통하도록 형성되어 접속단자와 신호전극을 전기적으로 연결하는 플러그와, 상기 지지부와 중첩되는 부분을 포함하는 소정 부분의 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 신호전극 상부의 나머지 부분에 형성된 제2 멤브레인과, 상기 변형부와 제2 멤브레인의 부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 액츄에이터가 구동될 때 펄럭이는 것이 방지되므로 화상신호에 따라 반사막의 기울기를 정확하게 조절할수 있어 광특성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019950024554A
公开(公告)日：1995-08-21
申请号：KR1019940000802
申请日：1994-01-18
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 제조공정을 용이하게 하여 광효율을 높게 하기에 적합한 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로, 종래에는 구동시 거울의 곡면을 형성하면서 경사지므로 광효율이 저하되고, 응력이나 자중에 의한 구조적인 문제점이 있었으나, 본 발명에서는 제조공정을 구동기판(130)상에 차례로 실시하며, 지지부(120)는 액츄에이터(400)중심부에 위치하므로 응력(stress)에 의한 변형에 유리하므로 구동시, 거울(120)의 표면이 휨없이 경사지도록 하며 안정된 구조의 광로조절장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR100244520B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019960077163
申请日：1996-12-30
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: G02F1/015
Abstract: 박막형 광로조절 장치의 제조방법이 개시되어 있다. MOS 트랜지스터가 내장되고 드레인패드가 형성된 액티브매트릭스 상에 멤브레인, 하부전극, 변형층 및 상부전극을 형성한 후, 이를 차례로 패터닝하여 제1상부전극, 제1변형층 및 제1하부전극을 갖는 제1액츄에이팅부와 제2상부전극, 제2변형층 및 제2하부전극을갖는 제2액츄에이팅부를 형성한 다음, 제1 및 제2액츄에이팅부를 각기 지지하며 행방향 또는 열방향으로 서로 연결된 제1 및 제2멤브레인을 형성하고, 이들의 일측에 공통전극선을 형성한다. 드레인패드가 위치한 부분을 피하여 액츄에이팅부들을 형성한 후, 금속선을 통하여 드레인패드로부터 하부전극들에 화상 신호를 인가하기 때문에, 트랜지스터가 손상을 입는 것을 최소화할 수 있으며, 액츄에이팅부들의 일측에 두껍게 공통전극선을 형성함으로써, 공통전극선 내부의 전압 강하를 최소화하여 상부전극들에 변형층들이 변형을 일으키는 데 필요한 충분한 전압을 인가 할 수 있고, 복수 개의 거울포스트들을 통하여 거울을 지지하여 거울의 수평도를 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100243859B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019960018393
申请日：1996-05-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 종래에 상부전극과 비아컨택 사이에 삽입되는 절연층이 산화물이나 질화물로 형성되는 경우에 변형부의 상부에 형성된 절연층을 제거하기 어려워서 액츄에이터의 구동 특성이 저하되는 문제점을 개선하기 위해서, 비아컨택과 상부전극을 절연시키기 위해서 비아컨택과 상부전극 사이에 삽입되는 절연층(580)을 변형부(560)와 유사한 물성을 갖는 강유전체(Ferroelectric) 재료로 형성함으로써, 변형부 (560)에 대한 패터닝이 용이해지고, 변형부(560) 상부에 형성된 절연층(560)의 식각 부족이나 과식각에 의해서 변형부(560)가 손상되는 것을 방지할 수 있어서, 광로 조절 장치의 제조 공정을 용이하게 하는 한편, 광로 조절 장치의 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100196833B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950025840
申请日：1995-08-22
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀을 통하여 구동 기판상의 패드와 도전층을 배선시키기 위한 방법에 관한 것으로서, 패드가 형성된 구동 기판상에 제1절연층 및 제1도전층을 순차적으로 형성시킨 후 상기 패드 상부 주변에 형성된 제1도전층을 제거하여 절연갭을 형성하는 제1단계와, 상기 제1도전층상에 제2절연층을 형성시킨 후 상기 절연갭 사이의 패드 상부에 형성된 상기 제2절연층, 제1도전층 및 제1절연층을 순차적으로 제거하여 콘택홀을 형성시켜서 상기 패드를 노출시키는 제2단계와, 상기 콘택홀 내부 및 제2절연층상에 도전체를 적층시켜서 제2도전층을 형성시켜서 상기 패드와 전기적으로 연결시키는 제3단계로 이루어지며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상시 킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100177250B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019950009398
申请日：1995-04-21
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 제조방법에 관한 것으로서, 일측은 요(凹)자의 형태를 이루는 2개의 레그로 이루어지고, 그 타측은 철(凸)자의 형태를 이루는 돌출부로 이루어지는 액츄에이터와, 상기 액츄에이터에 구비된 상기 돌출부가 이웃하는 액츄에이터에 구비된 2개의 레그 사이에 위치하는 상보적 형태를 이루는 다수 개의 액츄에이터를 구비한 광로 조절 장치에 있어서, 상기 액츄에이터(80)의 철(凸)자의 형태를 이루는 돌출부 끝단에 소정 형태로 형성되어 있는 팁(69)을 더 포함하고, 상기 액츄에이터의 요(凹)자의 형태를 이루는 2개의 레그 사이는 상기 팁(69)이 차지하는 공간만큼 제거된 구조를 이루는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치를 제공하므로써, 광로 조절 장치의 제조 공정중 희생층의 제거할 때 발생되는 수분이 상기 팁(69)에 모일 수 � ��도록하여 수분의 표면 장력을 최소화하여, 상기 희생층의 제거후 수반되는 건조 공정시 상기 수분을 용이하게 제거할 수 있기 때문에 상기 수분으로 인해서 발생되는 스티킹 현상을 방지하여 제조 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100171142B1
公开(公告)日：1999-03-30
申请号：KR1019950023347
申请日：1995-07-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H01L21/28
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀 주위를 평탄화시키기 위한 콘택홀 배선 방법을 개시한다. 본 발명은 구동기판상에 형성된 제1절연층을 패터닝시켜서 콘택홀 형성시키고 상기 제1절연층상에 제1도전층 및 제2절연층을 순차적으로 형성시키는 제1단계와, 상기 제2절연층을 패터닝시켜서 상기 콘택홀 주위의 상기 제1도전층을 노출시키는 제2단계와, 상기 제2절연층상에 도전체를 적층시켜서 제2도전층을 형성시킨 후 상기 제2도전층의 일부를 절단시키는 제3단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 콘택홀 배선 방법에 의해 달성되며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광고 조절 장치의 성능을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100160892B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950023349
申请日：1995-07-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H01L21/768
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀을 통하여 패드와 작동 전극을 연결시키기 위한 방법을 개시한다. 본 발명은 구동 기판상에 형성된 제1절연층을 패터닝시켜서 콘택홀을 형성시키고 상기 제1절연층상에 도전체 금속을 적층시킨 후 일부를 식각시킨 제1도전층을 형성시키는 제1단계와, 상기 제1도전층상에 제2절연층과 제2도전층을 순차적으로 형성시키는 제2단계로 이루어지고 상기 제2절연층은 급가열 공정에 의하여 열처리되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 콘택홀 배선 방법에 의해 달성되며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100159416B1
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019950013359
申请日：1995-05-26
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 구동기판의 동일한 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드와 플러그를 통해 제1 및 제2하부전극에 동일한 화상신호가 인가되고, 제1상부전극은 접촉된 제1하부전극에 의해 화상신호를 인가받는다. 그러므로, 제1 및 제2하부전극과 제1 및 제2상부전극 사이에 개재되어 있는 제1 및 제2변형부에 전계가 발생되어, 제1 및 제2변형부가 전계와 수직방향으로 수축하게 되어 액츄에이터가 휘어져 경사진다. 따라서, 본 발명은 레그의 일측에 형성된 변형부를 제거하고 상부전극을 하부전극과 접촉하므로 1라인의 상부전극중 한개 또는 일부가 손상되어도 손상된 상부전극만 구동하지 않고 손상되지 않은 상부전극은 구동된다.
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