公开(公告)号：KR1019970023640A

公开(公告)日：1997-05-30

申请号：KR1019950038510

申请日：1995-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 구동 기판 및 비구동 기판으로 나누어진 실리콘 웨이퍼상에 광로 조절 장치를 소정 형상으로 패터닝시키는 방법에 관한 것으로, 전기 접점 단자로 작용하는 패드가 복수개 형성된 실리콘 웨이퍼상에 보호층 및 스톱층을 순차적으로형성시키는 단계와, 상기 스톱층상에 소정 형상의 희생층을 형성시키는 단계와, 상기 희생층상에 멤브레인을 형성시키는단계와, 상기 실리콘 웨이퍼의 구동 기판상에 하부 전극, 변형부 및 상부 전극을 순차적으로 형성시키고 패터닝시키는 단계와, 그리고 상기 구동 기판상에 형성된 상기 희생층을 제거하는 단계로 이루어지며 이에 의해서 상기 희생층의 습식 식각 제거시 상기 보호층이 화학적 손상을 받는 것을 방지시켜서 패드를 양호하게 절연시킨다.

公开(公告)号：KR1019970002999B1

公开(公告)日：1997-03-13

申请号：KR1019930007673

申请日：1993-05-04

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  김동국

IPC: H04N5/74

Abstract: This invention provides a method of making a light path control device for projection display that can polarize top areas of ceramic layers forming actuators by low applied voltage. This method includes the steps of: sintering a multi-ceramic of bulk state with first metal films; forming a ceramic wafer by cutting the multi-ceramic vertically to the first metal films; forming a plurality of grooves in parallel to the first metal films; applying second metal films as common electrodes on the wafer's side and as external electrodes; defining actuators by cutting the ceramic wafer at a right angle to the grooves and mounting the actuators on an active matrix substrate; electrically connecting the first and second electrodes to the second metal films; polarizing ceramic layers by applying voltage between the first and second common electrodes; and grounding the first and second common electrodes and mounting mirrors on the tops of the actuators.

Abstract translation: 本发明提供了一种制造用于投影显示的光路控制装置的方法，其可以通过低施加电压来极化形成致动器的陶瓷层的顶部区域。 该方法包括以下步骤：用第一金属膜烧结多陶瓷块状; 通过将多陶瓷垂直地切割成第一金属膜来形成陶瓷晶片; 与所述第一金属膜平行地形成多个槽; 将第二金属膜作为公共电极施加在晶片侧并作为外部电极; 通过将切割陶瓷晶片与凹槽成直角并将致动器安装在有源矩阵基板上来限定致动器; 将第一和第二电极电连接到第二金属膜; 通过在第一和第二公共电极之间施加电压来极化陶瓷层; 并将第一和第二公共电极和安装反射镜接地到致动器的顶部。

公开(公告)号：KR1019960013738B1

公开(公告)日：1996-10-10

申请号：KR1019920020367

申请日：1992-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  임대영

IPC: H04N5/74

Abstract: a light source(10) of a laser diode array(11,12,13) or a light diode array emitting a mono-color light; a lens part(20) which comprises a first lens(21) and a second lens(22), which are perpendicular each other, compose and converge several mono-color lights; a reflecting mirror(31) reflecting the composed and converged light; and a screen(51) displaying the image by the reflected light.

Abstract translation: 激光二极管阵列（11,12,13）的光源（10）或发射单色光的光二极管阵列; 包括彼此垂直的第一透镜（21）和第二透镜（22）的透镜部分（20）构成并会聚多个单色光; 反射组合和会聚光的反射镜（31）; 以及通过反射光显示图像的屏幕（51）。

公开(公告)号：KR100080892B1

公开(公告)日：1994-12-28

申请号：KR1019910024347

申请日：1991-12-26

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  박중제

IPC: H01L41/083 ,  G01K1/20

公开(公告)号：KR1019940023219A

公开(公告)日：1994-10-22

申请号：KR1019930004513

申请日：1993-03-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H04N5/74

公开(公告)号：KR1019940022668A

公开(公告)日：1994-10-21

申请号：KR1019930004503

申请日：1993-03-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 M×N개의 화소를 가는 투사형 화상표시장치의 광로조절수단의 제조방법에 관한 것으로서, M+1개의 세라믹층들과 M개의 제1금속막들이 교호하여 적층된 다층 세라믹을 형성하는 공정과, 상기 제1금속막들과 수직방향으로 절단하여 세라믹웨이퍼를 만들고 상기 제1금속막들을 중심으로 돌출되도록 상기 세라믹층들의 가운데에 흠들을 형성하는 공정과, 상기 흠들의 내부표면에 제2금속막을 형성하는 공정과, 상기 흠들과 수직방향으로 N-1회 절단하여 M×N개의 액츄에이터를 형성하는 공정과, 상기 액츄에이터들을 능동매트릭스의 기판에 실장하고 제2금속막들을 전기적으로 연결하는 M+1개의 도선들을 상기 제1금속막들과 평행하고 한쪽끝을 공통 접지를 이루도록 형성공정과, 상기 액츄에이터 상부에 거울들을 실장하는 공정을 구비한다. 따라서, 종래 투사형 TV에 이용되는 투과용 액정표시장치가 가지는 편광판에 의한 광손실과, 액정자체 및 박막트랜지스터에 의한 광투과손실등으로 인한 낮은 광효율을 AMA를 채용하여 광효율을 크게 향상시킬 수 있는 광로조절수단을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR100209427B1

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019960049527

申请日：1996-10-29

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 열 확산 및 응력에 의한 막간 박리 및 디펙트 형성을 방지하여 누설 전류를 방지하기 위하여, 상기 박막형 광로 조절 장치의 제조시 각층별로 응력을 풀어주고, 질화 티타늄(TiN)으로 컨택트 메탈의 확산 장벽층을 형성하며, 컨택트 메탈 및 플러그 메탈을 고융점 메탈로 형성함으로써, 상기 박막형 광로 조절 장치의 성능 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980023292A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019960042748

申请日：1996-09-25

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배 ,  민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 향상된 광 효율을 갖을 뿐만 아니라 제조 공정시 요구되는 고온에 의한 악영향을 줄일 수 있는 박막형 광로 조절 장치의 어레이 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 어레이는 다수의 스위칭 소자를 갖는 구동기판, 액츄에이터의 어레이 및 거울의 어레이를 포함한다. 상기 각 액츄에이터는 관련 스위칭 소자와 중첩되지 않고 관련 스위칭 소자의 옆에 형성되어져 있다. 상기 각 거울은 액츄에이터의 상부 끝단에 붙여진 오목한 부분을 통해 액츄에이터와 이격되어 2층 구조로 별도로 형성되어져 있으므로, 박막형 광로 조절 장치의 구동에 의해 액츄에이터가 휘어지더라도 거울은 평형을 유지할 수 있게 되고, 거울에 입사되는 광속을 더 정확하고 효과적으로 반사할 수 있게 되어 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 전반적인 광효율을 증가시킬 수 있다. 게다가, 상기 각 액츄에이터가 관련 스위칭 소자와 중첩되지 않고 관련 스위칭 소자의 옆에 위치하기 때문에, 액츄에이터의 형성시 요구되는 고온 공정이 모두 끝난 후에 구동기판과 액츄에이터 사이의 전기적인 연결 공정을 함으로서 고온에 의해 발생되는 스파킹 (spiking) 등의 단락 현상을 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970077698A

公开(公告)日：1997-12-12

申请号：KR1019960017805

申请日：1996-05-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H01L27/12

Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 실리콘 기판상에 형성된 복수개의 능동 소자를 보호하기 위한 보호층을 형성시키는 단계와, 상기 보호층을 식각 용액으로부터 보호하기 위한 식각 스톱층을 형성시키는 단계와, 상기 식각 스톱층상에 소정 형상의 희생층을 형성시키는 단계와, 상기 멤브레인상에 이소 컷팅부를 구비한 하부 전극을 형성시키는 단계와, 상기 하부 전극상에 변형부 및 상부 전극을 순차적으로 형성시켜서 미러 어레이를 형성시키는 단계와, 상기 미러 어레이를 구성하는 복수개의 층들을 상부로부터 순차적으로 식각시켜서 소정 형상의 액츄에이터를 형성시키는 단계와, 상기 액츄에이터를 캔틸레버 구조로 형성시키기 위하여 상기 희생층을 제거하는 단계로 이루어지며 상기 액츄에이터 브리지를 형성하는 상기 희생층 패턴의 선폭 크기를 상기 이소 컷팅부의 선폭 크기보다 크게 유지시킴으로서 액츄에이터를 소정형상으로 패터닝시키기 위한 식각 공정시 멤브레인이 오버 에칭되는 것을 방지시켜서 능동 소자를 보호하기 위한 보호층의 화학적 손상을 제거하여 능동 소자가 누설 전류를 발생시키는 것을 방지시킴으로서 광로 조절 장치의 작동 효율을 향상시킨다.

公开(公告)号：KR1019970077106A

公开(公告)日：1997-12-12

申请号：KR1019960017808

申请日：1996-05-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 전용배

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판상에 형성된 복수개의 능동소자를 보호하기 위한 보호층을 형성시키는 단계와, 상기 보호층을 식각 용액으로부터 보호하기 위한 식각 스톱층을 형성시키는 단계와, 상기 식각 스톱층상에 소정 선폭크기(D1)의 패턴을 갖는 소정 형상의 희생층을 형성시키는 단계와, 상기 희생층의 패턴을 통하여 노출된 상기 식각 스톱층상에 제1절연층을 형성시키는 단계와, 상기 제1절연층상에 소정 선폭 크기(D2)의 이소 컷팅부를 구비하고 있는 제1도전층을 형성시키는 단계와, 상기 제1도전층상에 압전층 및 제2도전층을 순차적으로 형성시켜서 미러 어레이를 형성시키는 단계와, 상기 미러 어레이를 구성하는 복수개의 층들을 상부로부터 순차적으로 식각시켜서 소정 형상의 액츄에이 를 형성시키는 단계와, 상기 액츄에이터의 외부 표면상에 보호막을 형성시키는 단계와, 그리고 상기 액츄에이터를 캔틸레버 구조로 형성시키기 위하여 상기 희생층을 제거하는 단계로 이루어지고, 상기 액츄에이터(500)의 브리지(C)는 상기 희생층(560)의 선폭 크기(D1)보다 크게 유지되는 반면에 상기 이소 컷팅부(IC)의 선폭크기(D2)보다 작게 유지되는 선폭 크기(D3)를 갖는 상부 전극(550)과, 상기 상부 전극(550)의 선폭 크기(D3)보다 크게 유지되고 상기 이소 컷팅부(IC)의 선폭 크기(D2)보다 작게 유지되는 선폭 크기(D4)를 갖는 변형부(540)와, 상기 이소 컷팅부(IC)의 선폭 크기(D2)보다 크게 유지되는 선폭 크기(D5)를 갖는 멤브레인(520)으로 이루어져 있으며 이에 의해서 이소 컷팅부의 선폭 크기와 변형부 선폭 크기의 차이에 의하여 멤브레인에 형성되는 노출 부 를 통하여 식각 스톱층이 화학적 손상을 받게 되어도 상기 식각 스톱층의 손상 부위와 희생층 형상의 선단부사이에 멥브레인이 개재되어 있으므로 보호층이 희생층을 제거하기 위한 식각 용액으로부터 손상받은 것을 방지시키며 그 결과 광로 조절 장치용 액츄에이터의 신뢰도 및 반사 효율을 향상시킨다.