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发明公开
화학 증폭형 레지스트 无效
Title translation: 化学放大抗蚀剂

公开(公告)号：KR1019980003834A

公开(公告)日：1998-03-30

申请号：KR1019960023942

申请日：1996-06-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최상준 , 강율

IPC: G03F7/004

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