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公开(公告)号：KR1020060036976A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020040086056
申请日：2004-10-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H1/0036
Abstract: 미소 박막 구조물 및 이를 이용한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 스위치 그리고 그것들을 제조하기 위한 방법이 개시된다. 개시된 미소 박막 구조물은 물질 특성이 서로 다른 적어도 2종의 박막이 차례로 적층되어 상,하부층을 이루되 상,하부층의 접촉면을 적어도 두 방향으로 형성하여 변형률을 줄이도록 한 것이다. 그 미소 박막 구조물을 MEMS 스위치의 가동전극에 적용하여 MEMS 스위치가 안정적으로 신호라인에 접촉되도록 한다. 이러한 미소 박막 구조물은 하부층에 관통홀을 형성하고, 관통홀에 상부층이 끼워진 형태로 증착하거나 또는, 하부층에 요철부를 형성하고, 그 요철부를 갖는 하부층 상면에 소정 두께로 상부층을 증착하는 방법으로 제조된다. 또한, 이러한 미소 박막 구조물 제조방법을 MEMS 스위치의 가동전극 제조 방법에 적용한다.
Abstract translation: 公开了微薄膜结构，使用其的MEMS（微机电系统）开关及其制造方法。 公开的微薄膜结构是这样的，所述材料特性是不同的，至少2种薄膜的顺序堆叠上层和下层都是由相，具有应变，以形成下层的接触表面中的至少两个方向上。 将微薄膜结构应用于MEMS开关的可动电极，以使MEMS开关稳定地接触信号线。 微薄膜结构形成在底层的通孔，沉积以形成上层介于通孔，或者，以形成下层上的不规则性，由上一层沉积到下部层上形成预定厚度的上表面上具有凹凸的方法生产 。 而且，这种制造微薄膜结构的方法应用于制造MEMS开关的可动电极的方法。
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公开(公告)号：KR100325525B1
公开(公告)日：2002-04-17
申请号：KR1019980054150
申请日：1998-12-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/04
Abstract: 잉크젯 프린터(Inkjet printer)나 팩시밀리 등과 같은 출력 장치의 프린터 헤드에 사용되는 유체 분사 장치를 제조하기 위한 방법이다. 구동부, 멤버레인, 및 노즐부를 형성함으로써 이루어지는 유체 분사 장치의 제조 방법에 있어서, 노즐부가 구동부 및 멤버레인의 중간 조립체에 대하여 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다. 노즐부를 형성하는 단계는 멤버레인의 상측에 분사 유체 배리어층을 형성하는 단계; 분사 유체 배리어층에 분사 유체실을 형성하는 단계; 분사 유체 배리어층의 상측에 노즐판을 형성하는 단계; 및 노즐판에 노즐을 형성하는 단계를 포함한다. 분사 유체 배리어층을 형성하는 단계와 노즐판을 형성하는 단계는 드라이 필름의 라미네이션 공정에 의해 이루어진다. 분사 유체실을 형성하는 단계와 노즐을 형성하는 단계는 리소그래피 공정에 의해 이루어진다. 또한, 노즐부를 형성하는 단계는 노즐판 상측에 강성 보강을 위한 보강층을 형성하는 단계를 더 포함할 수도 있다. 이에 따르면, 작업 공정이 줄어들어 생산성이 크게 향상되는 동시에 수율도 크게 높아진다.
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公开(公告)号：KR1020000055353A
公开(公告)日：2000-09-05
申请号：KR1019990003936
申请日：1999-02-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B05B7/00
CPC classification number: B41J2/01 , B41J2/135 , B41J2002/0055
Abstract: PURPOSE: A thermal compression type liquid injection apparatus is provided to accomplish an improved quality and reliability of the apparatus while preventing deterioration of performance of membrane caused by an air bubble. CONSTITUTION: An apparatus comprises a driving unit having an operating liquid chamber(111) containing operating liquid and electrodes(112a,112b,112c) and heating element(113) for thermally expanding the operating liquid so as to generate a driving force, a membrane driven by the driving force from the driving unit, a nozzle unit for injecting liquid through a nozzle being driven by the membrane, an operating liquid injection path(117) for injecting operating liquid into the operating liquid chamber(111), an operating liquid injection port connected to a plurality of operating liquid injection path(117), and a member(140) for removing air bubble generated from the plurality of operating liquid chambers(111) and operating liquid injection path.
Abstract translation: 目的：提供一种热压缩型液体注射装置，以实现设备的质量和可靠性的提高，同时防止由气泡引起的膜的性能劣化。 构成：装置包括驱动单元，该驱动单元具有包含工作液体的操作液室（111）和用于使工作液体热膨胀以产生驱动力的电极（112a，112b，112c）和加热元件（113） 由来自驱动单元的驱动力驱动的喷嘴单元，用于通过由膜驱动的喷嘴喷射液体的喷嘴单元，用于将操作液体喷射到操作液体室（111）中的操作液体注入路径（117），操作液体注入 连接到多个操作液体注入路径（117）的端口，以及用于去除从多个操作液体室（111）和操作液体注入路径产生的气泡的构件（140）。
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公开(公告)号：KR1020000038965A
公开(公告)日：2000-07-05
申请号：KR1019980054149
申请日：1998-12-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/04
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/14064 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1643 , Y10S29/001 , Y10S29/016 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401 , Y10T29/4981 , Y10T156/1052
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a fluid injection device is provided to integrally form a nozzle and an injection fluid chamber in a single thin layer, thereby reducing manufacturing procedure and minimizing a difference deviation through a whole board. CONSTITUTION: A method for manufacturing a fluid injection device includes the steps of respectively forming a driving part(110), a membrane(120), and a nozzle part(130), and assembling the formed driving part, membrane and the nozzle part in sequence, wherein assembling the nozzle part is performed by a single nozzle layer(131) made of a silicon material, and includes the sub-steps of laminating the nozzle layer on a board(139) by joining and abrasing the nozzle layer in a predetermined thickness, pre-forming a nozzle(132), forming the nozzle and an injection chamber(133) by anisotropic etching, and separating the board.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造流体注射装置的方法以在单个薄层中一体地形成喷嘴和注射流体室，由此减少制造程序并使通过整个板的差异偏差最小化。 构成：用于制造流体注射装置的方法包括分别形成驱动部分（110），膜（120）和喷嘴部分（130）的步骤，并将形成的驱动部分，膜和喷嘴部分组装在 顺序，其中组装所述喷嘴部分由单个由硅材料制成的喷嘴层（131）进行，并且包括通过以预定的方式将所述喷嘴层接合和磨损而将喷嘴层层压在板（139）上的子步骤 预成形喷嘴（132），通过各向异性蚀刻形成喷嘴和喷射室（133），并分离板。
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公开(公告)号：KR1020000021392A
公开(公告)日：2000-04-25
申请号：KR1019980040447
申请日：1998-09-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B05B15/00
CPC classification number: B05B17/04 , B05B1/24 , H01L21/28 , H01L21/768
Abstract: PURPOSE: A production method of a fluid sprayer is offered to improve quickness and an attachment of a work by minimizing an attachment process while producing a fluid sprayer. CONSTITUTION: A fluid sprayer is composed of: a substrate(100), an insulation layer(101) formed on the substrate(100), a specific size of an emitting body(102) formed to be projected on the insulation layer(101) and an electrode(103), a lower wall(104) formed to cover around a driving fluid chamber(105), a protection layer(106), a membrane(108) formed on the upper end of the protection layer(106), a nozzle plate(114) having a nozzle(115). In this state, a production method of the fluid sprayer contains the steps of: inputting a driving fluid(116) in the driving fluid chamber(105), and attaching the nozzle plate(114) having the nozzle(115) formed to correspond to a vent fluid chamber(112) on an upper wall(110a). Thereby, all the structures except the nozzle plate(114) are produced as an integration form without an attaching process.
Abstract translation: 目的：提供流体喷雾器的生产方法，通过在生产流体喷雾器的同时最小化附着过程来提高工作的快速性和附着性。 构成：流体喷雾器由以下部分组成：基板（100），形成在基板（100）上的绝缘层（101），形成为突出在绝缘层（101）上的发射体（102）的特定尺寸， 以及电极（103），形成为覆盖驱动流体室（105）周围的下壁（104），保护层（106），形成在保护层（106）的上端的隔膜（108） 具有喷嘴（115）的喷嘴板（114）。 在这种状态下，流体喷雾器的制造方法包括以下步骤：在驱动流体室（105）中输入驱动流体（116），并且将具有喷嘴（115）的喷嘴板（114） 在上壁（110a）上的排气流体室（112）。 由此，除了喷嘴板（114）之外的所有结构都作为一体形式生产而没有附着工艺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100243130B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019970042937
申请日：1997-08-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 권순철
IPC: G11B7/09
Abstract: 두께가 서로 다른 디스크형 기록매체를 호환 채용 가능한 호환형 광픽업장치가 개시되어 있다.
이 개시된 호환형 광픽업장치는 광을 생성 출사하는 광원과, 광원에 대해 움직임 가능하게 광원의 광 출사면에 대향되게 설치되며 광을 통과시키는 개구부를 가지는 차폐부재와, 차폐부재와 광원 사이의 거리를 조절하여 개구부를 통과하는 광의 출사각을 변화시킴으로써 디스크의 기록면에 맺혀지는 광스폿의 크기를 조절하는 조절수단과, 디스크의 기록면에 광스폿이 형성되도록 차폐부재를 통과하여 입사되는 광을 수렴하는 대물렌즈와, 광원과 대물렌즈 사이의 광경로 상에 위치되어 광경로를 변환하는 광경로변환수단과, 대물렌즈와 광경로변환수단을 경유한 광을 수광하여 오차신호 및 정보신호를 검출하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019990019549A
公开(公告)日：1999-03-15
申请号：KR1019970042937
申请日：1997-08-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 권순철
IPC: G11B7/09
Abstract: 두께가 서로 다른 디스크형 기록매체를 호환 채용 가능한 호환형 광픽업장치가 개시되어 있다.
이 개시된 호환형 광픽업장치는 광을 생성 출사하는 광원과, 광원에 대해 움직임 가능하게 광원의 광 출사면에 대향되게 설치되며 광을 통과시키는 개구부를 가지는 차폐부재와, 차폐부재와 광원 사이의 거리를 조절하여 개구부를 통과하는 광의 출사각을 변화시킴으로써 디스크의 기록면에 맺혀지는 광스폿의 크기를 조절하는 조절수단과, 디스크의 기록면에 광스폿이 형성되도록 차폐부재를 통과하여 입사되는 광을 수렴하는 대물렌즈와, 광원과 대물렌즈 사이의 광경로 상에 위치되어 광경로를 변환하는 광경로변환수단과, 대물렌즈와 광경로변환수단을 경유한 광을 수광하여 오차신호 및 정보신호를 검출하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
68.发明公开소켓 리드에 연결핀이 삽입될 수 있는 삽입 구멍이 형성된 소켓을 이용한 반도체칩 패키지 테스트 보드 및 테스트 보드 제조 방법 无效半导体芯片封装测试板和使用具有插入孔的插座的测试板制造方法，连接销可以插入插入导线中
公开(公告)号：KR1019970072251A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960013706
申请日：1996-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 권순철
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 소켓을 이용한 반도체 칩 패키지 테스트 보드에 관한 것으로, 인쇄회로기판과 소켓을 전기적·기계적으로 연결하는 연결핀이 삽입될 수 있는 삽입구멍이 형성되어 있으며, 소켓 몸체 밖으로 돌출되지 않게 소켓리드의 전기적 연결부를 설계함으로써, 핀의 망실에 의한 소켓 전체를 교체해야 하는 점을 극복할 수 있으며, 연결핀의 사용으로 비용을 절감할 수 있는 특징이 있다.
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