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公开(公告)号：KR100605941B1
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：KR1020010074698
申请日：2001-11-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L1/20
CPC classification number: H04L47/10 , H04L29/06 , H04L47/14 , H04L47/24 , H04L47/263 , H04L67/322 , H04W28/08 , H04W28/22 , H04W28/24 , Y02D50/10
Abstract: A data transmitting method and apparatus with QoS guaranteed in a communication system supporting services with different QoS requirements. The services are classified into a QoS service and a non-QoS service and discriminately processed according to the classification. To maximize the efficiency of transmission links, the data rate of a service is dynamically controlled according to the state of the transmission links. Furthermore, the transmission links are prioritized to guarantee the quality of the QoS service even when data congestion occurs and data burstness is regulated to minimize a congestion period during data transmission. Therefore, QoS guarantee is maximized according to services in a communication system supporting data service.
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公开(公告)号：KR1020060052281A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050102055
申请日：2005-10-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04L47/2441 , H04L49/15 , H04L49/3009 , H04L49/351 , H04L49/50 , H04L69/22
Abstract: A data processing apparatus connected to a core network in a communication system and a data processing method therefor are provided. In the data processing apparatus, at least one slow packet processing shelf performs a lower layer operation on traffic received through the low-rate data line. At least one fast packet processing shelf performs a lower layer operation on traffic received through the high-rate data line. If the traffic processed in the packet processing shelves needs high-performance data processing, the traffic is transmitted to at least one data processing shelf. The data processing shelf performs an upper layer operation on the traffics received from the packet processing shelves. A cell switch switches between the packet processing shelves and the data processing shelf.
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公开(公告)号：KR100480257B1
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：KR1020020060346
申请日：2002-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04L47/10 , H04L47/125 , H04L47/14 , H04L47/34 , H04W92/12
Abstract: 본 발명에 따른, 기지국 제어기(BSC)와 기지국(BTS)이 복수개의 링크들로 연결되어 있는 이동통신시스템에서, 상기 복수개의 물리링크들을 통해 패킷을 송신하기 위한 방법이, 특정 서비스에 대하여 전송할 패킷이 발생할 시 상기 서비스가 적어도 2개의 링크들을 사용하는지 검사하는 과정과, 상기 적어도 2개의 링크들을 사용하는 경우 상기 전송할 패킷에 시퀀스 번호를 설정하는 과정과, 상기 패킷을 적어도 2개의 링크들중 선택된 링크를 통해 전송하는 과정을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019990027220A
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019970049645
申请日：1997-09-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트가 안착되는 탑재부에 복수개의 센서를 설치하고, 각각의 센서들을 직렬로 연결함으로써, 탑재부에 불량으로 안착된 카세트를 감지할 수 있게 된다. 즉, 카세트가 탑재부에 들떠 있거나 위치 불량으로 있을 때, 복수개의 센서들 중 작동되지 않는 센서에 의해서 경고음과 함께 다음 작업이 진행이 되지 않기 때문에, 카세트가 탑재부에 정확히 안착되지 않은 상태에서 웨이퍼 이송시 발생하는 웨이퍼의 떨어짐이나 깨짐, 긁힘 등을 방지할 수 있으며, 안전하게 웨이퍼를 이송할 수 있어 생산성과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있게 된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980026258A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960044626
申请日：1996-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 카세트에 로딩된 웨이퍼의 중심부를 기준으로 후방부측으로 치우쳐진 영역을 감지하여 웨이퍼의 로딩 불량 상태를 정확하게 감지하도록 한 웨이퍼 캐리어 엘리베이터에 관한 것이다
본 발명의 목적은 웨이퍼 캐리어에 로딩된 웨이퍼들의 불량 로딩상태를 보다 정확하게 감지하여 불량 로딩된 웨이퍼의 파손을 방지하도록 한 웨이퍼 캐리어 엘리베이터를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 센서를 웨이퍼 캐리어에 로딩된 웨이퍼의 중심부를 기준으로 후방부로 치우쳐 위치하도록 제어부에 설치하여 웨이퍼의 불량 로딩상태를 정확하게 감지함으로써 상기 불량 로딩상태의 웨이퍼 캐리어의 이송을 중단시켜 웨이퍼의 파손과 주변 웨이퍼의 오염을 방지한다.-
公开(公告)号：KR1019970069255A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960012551
申请日：1996-04-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B25J19/00
Abstract: 반도체 제조 장비의 로봇 암을 조절하는 작업시 관찰부가 깨지는 것을 방지할 수 있는 조절 기구를 제공하다. 본 발명은 중심에 기준점을 가지는 원기둥 모양의 쿼츠로 형성된 관찰부; 상기 관찰부의 일부분을 감싸면서 직경에 따라 길이가 다른 원통 모양으로 형성된 몸체부와 상기 몸체부의 중앙 부분을 띠 모양으로 감싸는 돌출부를 포함하는 조절 기구에 있어서, 구르는 것을 방지하기 위하여 상기 돌출부가 잘리진 원형으로 형성된 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명의 조절기구는 반도체 제조 장비의 로봇 암을 조절하는 경우 상기 조절 기구가 구르는 것을 방지하고, 조절 기구가 떨어져 상기 관찰부가 깨지는 것을 방지한다.
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公开(公告)号：KR1019970030450A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950042865
申请日：1995-11-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/306
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼의 에칭을 위해 마련되는 챔버 설비의 슬로우 펌핑 장치에 관한 것으로, 특히 에칭챔버의 내부 재질인 투명한 석영(QUARTZ)유리가 대기압과의 급격한 압력 차에 의하여 깨어지는 것을 방지하도록 아이솔레이션 밸브와 스로틀 밸브 사이에 소프트 펌핑시스템을 설치한 개선된 웨이퍼 에칭 챔버의 슬로우 펌핑 장치에 관한 것으로 에칭 챔버와, 상기 챔버의 진공 상태 유지를 위하여 스로틀 밸브와 아이솔레이션 밸브를 설치한 메인 펌프로 구성된 드라이 에칭 챔버의 펌핑 장치에 있어서, 상기 소로를 밸브와 아이솔레이션 밸브 사이에 설치된 소프트 펌프와, 상기 소프트 펌프를 메인 펌프의 인가된 신호에 의해 적정시간 지연후 구동시키도록 하는 지연 타이머와, 상기 지연 타이머의 시간제어에 따라 소프트 펌프를 구동하는 제1솔 레노이드 밸브와, 상기 지연타이머에 연결되어 일정 시간 후에 아이솔레이션 밸브를 개방하기 위한 제2솔레노이드 밸브로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 챔버의 슬로우 펌핑 장치.
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