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公开(公告)号：KR100264378B1
公开(公告)日：2000-08-16
申请号：KR1019970035052
申请日：1997-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: PURPOSE: Apparatus and method of splitting light using a polarizing(Brewster) angle and a method of manufacturing the apparatus are provided for more miniaturized and integrated white light splitting apparatus. CONSTITUTION: White light is incident into an incident face(8) of a medium(2) with a polarizing angle with respect to a direction normal to the incident face. The first dichroic mirror(3) passes the first light beam having the first wavelength in the white light outside the medium and reflects light beams having other wavelengths at a full-reflection angle. A full-reflection face reflects the light beam reflected by the first dichroic mirror at the full-reflection angle. The second dichroic mirror(4) passes the second light beam having the second wavelength in the light beam reflected by the first full-reflection face outside the medium and reflects light beams having wavelengths other than the first wavelength at the full-reflection angle. The full-reflection face again reflects the light beam reflected by the second dichroic mirror at the full-reflection angle. A light passing face(9) of non-reflective coating film passes the third light beam having the third wavelength different from the first and second wavelength outside the medium without light loss.
Abstract translation: 目的：提供一种用于使用偏振（布鲁斯特）角分光的装置和方法以及制造该装置的方法，用于更小型化和集成的白光分束装置。 构成：白光入射到相对于与入射面垂直的方向具有偏振角的介质（2）的入射面（8）中。 第一分色镜（3）将具有第一波长的第一光束穿过介质外的白光，并以全反射角反射具有其它波长的光束。 全反射面以全反射角反射由第一分色镜反射的光束。 第二分色镜（4）将具有第二波长的第二光束在由第一全反射面反射的光束中经过介质外部，并以全反射角反射具有除第一波长以外的波长的光束。 全反射面再次以全反射角反射由第二分色镜反射的光束。 非反射涂膜的光通过面（9）将具有不同于第一和第二波长的第三波长的第三光束穿过介质外部而没有光损失。
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公开(公告)号：KR100244914B1
公开(公告)日：2000-02-15
申请号：KR1019960041358
申请日：1996-09-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/203
Abstract: 반도체 스퍼터설비에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 스퍼터설비는, 스퍼터링이 이루어지는 공정챔버, 공정챔버 벽체에 설치되며 가스를 공급하는 가스공급구, 진공펌프와 연결되는 가스 배출구, 스퍼터링의 재료가 되는 타겟, 타겟을 장착하는 건 어셈블리, 공정웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 홀더 및 상기 공정챔버 내의 공간에서 상기 타겟으로부터 상기 건 어셈블리를 차폐하는 커버 쉴드를 구비하여 이루어지는 반도체 스퍼터설비에 있어서, 상기 커버 쉴드는 상기 공정챔버 본체에 하나 이상의 관통구멍이 형성되어 있어서 스크류에 의해 고정되고, 원형으로 된 일체(一體)형의 부품으로 형성된다.
따라서, 반도체 스퍼터설비에서 커버 쉴드의 분해, 결합 작업이 용이해지고, 파손으로 인한 교체를 방지하여 고가부품의 사용기간을 적정화하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990018068A
公开(公告)日：1999-03-15
申请号：KR1019970041161
申请日：1997-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/11
Abstract: 음향광 변조 장치의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 음향광 변조 장치의 제조방법에서는 광변조장치의 음양광학 매질 광 입/출사 양측면에 증착될 물질인 YF3와 비반응하는 물질 예컨대 아르곤 개스를 플라즈마 상태로 상기 양측면에 분사하면서 상기 YF3 물질을 증착하여 반사 방지막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 제조방법에 따르면, 음양광학 매질의 결정면과 반사 방지막 사이의 접착력이 향상되고, 고출력 광원으로부터 입사되는 빔에 대해서도 출사면에서의 출력효율이 증대된다.
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公开(公告)号：KR1019990013322A
公开(公告)日：1999-02-25
申请号：KR1019980007208
申请日：1998-03-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/295
Abstract: 본 발명은 광분리에 의해 분리된 적, 청, 녹색의 삼색을 하나로 통합시키는 광통합 장치 및 장치의 제조방법 그리고 광통합 방법에 관한 것으로서 적, 청, 녹색 광원을 특수하게 고안된 미러구조에 의해 하나로 통합하는 구조를 갖는다. 이 시스템의 이용예로 각각의 색에서 영상신호에 따라 동작하는 3 채널 음향광학변조기에 의해 광을 독립적으로 변조하고, 변조된 적, 녹, 청 단색의 영상들을 스크린에 투사하는 영상 투사 방법에 사용되는 광통합 장치나 또한 칼라스캐너, 칼라복사기의 광통합용으로도 쓰일 수 있는 소자이다.
본 발명에 의한 광통합 장치는, 서로 다른 파장을 갖고 서로 같은 간격으로 입사면의 수직방향에 대해 제 1 각도로 입사되는 두개 이상의 입사광; 상기 입사광중 제 1 파장의 빛만을 반사없이 투과시키기 위한 비반사 코팅막; 상기 비반사 코팅막으로부터 투과된 제 1 파장의 빛에대해 반사면의 수직방향에 대해 상기 제 1 각도와 다른 제 2 각도로 1 차 반사시키기 위한 광대역 고반사미러; 상기 입사광중 상기 제 1 파장과 다른 제 2 파장의 빛만을 투과시키고 다른파장의 빛에 대해서는 반사시킴과 동시에 상기 1 차 반사된 제 1 파장의 빛을 상기 제 2 각도로 2 차 반사시킴으로서 상기 투과된 제 2 파장의 빛과 상기 2 차 반사된 제 1 파장의 빛을 혼합하여 합성광을 형성하기위한 다이크로익 미러; 상기 합성광에 대해 반사없이 투과시키기 위한 광대역 비반사 코팅막; 및 상기 비반사 코팅막 및 상기 다이크로익 미러로부터 투과된 빛과 상기 광대역 고반사 코팅막 및 상기 다이크로익 미러로부터 반사된 빛이 진행하는 매질을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 광통합 방법은, 적색의 파장과 녹색의 파장과 청색의 파장을 각각 갖는 3 개의 빛이 입사면의 수직방향에 대해 제 1 각도로 평행하게 입사되는 입사광중 제 1 파장의 빛을 매질내로 상기 제 1 각도로 반사없이 투과시키는 단계;
상기 투과된 제 1 파장의 빛을 매질내로 상기 제 1 각도와 다른 제 2각도로 1 차 반사시키는 단계; 상기 입사광중 상기 제 1 파장과 다른 제 2 파장의 빛만을 매질내로 상기 제 1 각도로 투과시키고 다른 파장의 빛에 대해서는 반사시킴과 동시에 상기 1 차 반사된 제 1 파장의 빛을 상기 제 2 파장 빛이 투과되는 지점에서 상기 제 2 각도로 2 차 반사시킴으로써 제 1 합성빛을 만드는 단계; 상기 제 1 합성빛을 상기 제 2 각도로 매질내로 3 차 반사시키는 단계; 상기 입사광중 상기 제 1 파장 및 제 2 파장과 다른 제 3 파장의 빛만을 매질내로 상기 제 1 각도로 투과시키고 다른 파장의 빛에 대해서는 반사시킴과 동시에 상기 3 차 반사된 제 1 합성빛을 상기 제 3 파장 빛이 투과되는 지점에서 상기 제 2 각도로 4 차 반사시킴으로써 제 2 합성빛을 만드는 단계; 및 상기 제 2 합성빛을 반사없이 매질밖으로 투과시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 광통합 장치의 제조 방법은, 두께 t , 굴절율 nG 을 가지고 양 면의 편평도가 우수한 평판 기판상의 한 면 일부 영역에 광원으로부터 제 1 각도로 입사된 제 1 파장의 빛에 대해 반사없이 상기 기판내로 투과시키기 위한 비반사 코팅막을 형성하는 단계; 상기 비반사 코팅막이 형성된 면의 반대면 기판상 일부 영역에 상기 비반사 코팅막으로부터 투과된 제 1 파장의 빛에 대해 상기 제 1 각도와 다른 제 2각도로 1 차 반사시키기 위해 제 1 광대역 고반사 미러를 형성하는 단계; 상기 제 1 파장과 다른 제 2 파장의 빛만을 매질내로 투과시키고 다른 파장에 대해서는 반사시킴과 동시에 상기 제 1 광대역 고반사 미러로부터 1 차 반사된 빛을 상기 제 2 파장의 투과지점에서 상기 제 2 각도로 매질내로 2 차 반사되어 제 1 합성빛을 생성하기 위해 상기 비반사 코팅막이 형성된 기판상의 같은면상에 상기 비반사 코팅막과 이웃하도록 제 1 다이크로익 미러를 형성하는 단계; 상기 제 1 다이크로익 미러로부터 반사된 제 1 합성광을 상기 제 2 각도로 매질내로 3 차 반사시키기 위해 상기 제 1 광대역 고반사 코팅막이 형성된 기판상의 같은 면상에 상기 제 1 광대역 고반사 미러와 이웃하도록 제 2 광대역 고반사 미러를 형성하는 단계; 상기 제 1 파장 및 제 2 파장과 다른 제 3 파장의 빛만을 매질내로 투과 시키고 다른 파장에 대해서는 반사시킴과 동시에 상기 제 2 광대역 고반사미러로부터 3 차 반사된 빛을 상기 제 3 파장의 투과지점에서 상기 제 2 각도로 매질내로 4 차 반사되어 제 2 합성빛을 생성하기 위해 상기 비반사 코팅막 및 제 1 다이크로익 미러가 형성된 기판상의 같은면상에 상기 제 1 다이크로익 미러와 이웃하도록 제 2 다이크로익 미러를 형성하는 단계; 및 상기 제 2 합성빛을 반사없이 매질밖으로 투과시키기 위해 상기 제 1 및 제 2 광대역 고반사 미러가 형성된 기판상의 같은면상에 제 2 광대역 고반사 미러와 이웃하도록 광대역 비반사 코팅막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것이 특징이다.-
公开(公告)号：KR1019990011807A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970035053
申请日：1997-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B27/10
Abstract: 일반적으로 광통합은 장치의 용도에 따라 다양하게 응용되어 구현되고있다. 색통합 필터나 Dichroic Mirror(DM)를 사용하여 분리된 광원을 통합하고 투사부등을 거쳐서 직접 스크린에 투사시켜 대화면을 구현하는 영상투사장치, 특수하게 제작된 색필터에 의해 화상을 구현하는 각종 디스플레이 장치, 칼라 스캐너나 칼라 복사기등 그 각각의 응용에 맞는 색통합 수단이 이용되고있다.
본 발명은 이런 분리된 광원을 통합하여 각각의 용도에 응용될 수 있도록 하기위해 최초 입사된 각각의 광원의 통합에 관한 것으로 보다 쉽고 간단한 소형화의 구조로 청(Blue), 녹(Green), 적(Red)등의 파장 영역을 하나의 광원으로 통합시키고 통합한 빔을 최종 정보를 구현하기위한 부분으로 원활하게 입사시켜주는 구조를 갖는다.
기존의 광응용장치의 일반적인 광의 통합 수단은 특수하게 고안된 미러구조에 의해 입사된 빔을 통합 하였다.
이는 광학적 효율 및 광학계 정렬이 등이 쉽지가않고 광학계가 일정한 크기를 가져야하므로 구조가 커서 그 응용 및 상업화에 한계가 있었다. 또한 각각의 소자의 제작이나 비용의 측면에서 저가격화가 어려웠다.
본 발명에서는 변조된 각각의 빔을 통합하는 통합부의 구조를 개선하여 소형화 및 일체화하여 광학계의 정렬이 쉽고 저가의 제작비용으로 다양한 광통합 기구에 응용이 가능하도록 고안하였다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100159109B1
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019910016384
申请日：1991-09-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박정호
IPC: H04N7/01
CPC classification number: H04N7/0125 , H04N7/0105
Abstract: 본 발명은 9:16의 종횡비에 1050라인 이상의 주사선 수를 갖는 고선명 텔레비젼(High Definition TV:HDTV)의 화상신호로를 수신하여 줌업(zoom-up)모드 혹은 와이드(wide)모드의 NTSC 방식 TV의 화상신호로 변환하는 화상신호의 종횡비 및 주사선 수 변환장치에 관한 것이다. 본 발명은 HDTV 화상신호를 필드메모리(3)에 쓰기 위하여 상기 필드메모리(3)를 제어하는 입력제어수단(6)과, 상기 필드메모리(3)에 쓰기된 HDTV 화상신호를 변환되는 화상의 종횡비 및 주사선 수의 형태에 상응하는 복수의 모드(모드 1~모드 N)별로 선택하여 상기 NTSC TV 화상신호로 출력하기 위하여 상기 필드메모리(2)를 제어하는 출력제어수단(6)을 포함한다. 상기 입력제어수단(6)은 HDTV 수평라인시작신호발생부(6-1)와, 제1수평/제1수직어드레스발생부(6-2; 6-3)와, HDTV 수평제어신호발생 ROM(6-4)과, HDTV 수직제어신호발생 ROM(6-5)과, 제1 내지 제3논리수단(6-6; 6-7; 6-8)을 포함하며, 상기 출력제어수단(7)은 신호선택부(7-1)와, NTSC TV 수평라인시작신호발생부(7-2)와, 제2수평/제2수직어드레스발생부(7-3; 7-4)와, NTSC TV 수평제어신호발생 ROM(7-5)과, NTSC TV 수직제어신호발생 ROM(7-6)과, 제4 및 제5논리수단(7-7; 7-8)을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019980079098A
公开(公告)日：1998-11-25
申请号：KR1019970016764
申请日：1997-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박정호
IPC: H01L21/68
Abstract: 스퍼터링 공정시 웨이퍼의 가장자리부를 고정하거나 고정해제하도록 업,다운되는 클램프가 위치 이탈되지 않도록 업,다운 운동을 지지하는 클램프 가이드 장치에 관한 것으로, 클램프 업,다운용 축(117)의 하단부에 일단이 고정된 가이드(119)와, 상기 가이드의 타단에 수직방향으로 고정된 가이드축(121)과, 상기 가이드축을 직선이동 자유롭게 지지하는 직선베어링(122)과, 상기 직선베어링을 고정체에 고정하는 베어링 서포트(123)로 구성된 것이다.
따라서 클램프 업,다운 동작을 위한 클램프 업,다운용 축의 업,다운동작이 마모없이 정밀하게 이루어짐으로써 마모로 인한 파티클 발생 및 떨림이 방지되는 것이고, 클램프의 이탈 및 핀 업,다운용 축을 통한 리크등이 방지되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980079097A
公开(公告)日：1998-11-25
申请号：KR1019970016763
申请日：1997-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 뚜껑과 챔버도어에 나사로 고정되는 아답터를 사용하여 간접밀착으로 수면이 길고 미세알갱이의 발생이 없고 투명창을 설치하여 육안관리가 가능한 반도체 실링뚜껑에 관한 것이다.
본 발명은 챔버와 외부를 밀폐하며 챔버의 내부를 확인 및 세척하는 것이 가능하도록 챔버도어에 나사체결 되어있는 반도체 실링뚜껑에 있어서, 상기 챔버도어의 내측면에 아답터고정나사로 고정되는 원통형의 아답터와, 상기 아답터의 구부러진 끝단에 뚜껑고정나사로 고정되고 챔버내부를 육안으로 확인하도록 투명창을 설치하며 파지하기 쉽게 외면에 손잡이를 형성한 뚜껑으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
따라서 뚜껑을 해체하지 않고 챔버의 내부를 육안으로 점검할 수 있어서 점검시간을 단축하고 아답터를 사용한 뚜껑의 체결로 고정나사에 작용하는 인장력과 전단력을 골고루 분배하여 마모를 줄이며 챔버도어의 수명을 연장시키고 뚜껑의 체결 및 해체시에 발생하는 미세알갱이의 발생을 줄여 웨이퍼의 수율을 향상시키게 되는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR1019970077153A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960016735
申请日：1996-05-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/203
Abstract: 본 발명은 기준 파장 변경법을 사용하여 고반사 다층 광학 박막(optical thin film)의 두께를 적절하게 조절하여 형성할 수 있는 전자빔에 의한 다중 박막 형성 방법에 관한 것으로, 적어도 하나의 모노크로미터 및 적어도 하나의 광검출기를 구비하여 다중 박막을 형성하는 전자 빔을 사용한 다중 박막 형성 방법에 있어서, 상기 모노크로미터의 파장 영역 내의 임의의 파장을 기준 파장으로 설정하고, 상기 기준 파장의 광에 대응하는 광학특성을 갖도록 적어도 2가지 이상의 서로 다른 물질이 교대로 적층되는 상기 다중 박막들을 형성하되, 상기기준 파장을 적어도 2개 이상 설정하여 상기 다중 박막들의 두께를 제어하는 단계를 포함한다.
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