公开(公告)号：KR1019980079097A

公开(公告)日：1998-11-25

申请号：KR1019970016763

申请日：1997-04-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박정호 ,  허대성

IPC: H01L21/68

Abstract: 뚜껑과 챔버도어에 나사로 고정되는 아답터를 사용하여 간접밀착으로 수면이 길고 미세알갱이의 발생이 없고 투명창을 설치하여 육안관리가 가능한 반도체 실링뚜껑에 관한 것이다.
본 발명은 챔버와 외부를 밀폐하며 챔버의 내부를 확인 및 세척하는 것이 가능하도록 챔버도어에 나사체결 되어있는 반도체 실링뚜껑에 있어서, 상기 챔버도어의 내측면에 아답터고정나사로 고정되는 원통형의 아답터와, 상기 아답터의 구부러진 끝단에 뚜껑고정나사로 고정되고 챔버내부를 육안으로 확인하도록 투명창을 설치하며 파지하기 쉽게 외면에 손잡이를 형성한 뚜껑으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
따라서 뚜껑을 해체하지 않고 챔버의 내부를 육안으로 점검할 수 있어서 점검시간을 단축하고 아답터를 사용한 뚜껑의 체결로 고정나사에 작용하는 인장력과 전단력을 골고루 분배하여 마모를 줄이며 챔버도어의 수명을 연장시키고 뚜껑의 체결 및 해체시에 발생하는 미세알갱이의 발생을 줄여 웨이퍼의 수율을 향상시키게 되는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR1019980050361A

公开(公告)日：1998-09-15

申请号：KR1019960069165

申请日：1996-12-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 허대성

IPC: H01L21/205

Abstract: 본 발명은 에어의 공급에 따라 동작되는 에어장치의 기밀을 유지할 수 있는 반도체소자 제조용 에어장치의 기밀보강장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 제조용 에어장치의 기밀보강장치는, 에어공급에 따라 동작되는 에어장치가 구비된 반도체소자 제조용 에어장치의 기밀보강장치에서, 상기 에어의 흐름을 기준으로 상기 에어장치 전단에 상기 에어와 오일을 혼합시키는 루브리케이터(Lubricator)가 더 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 실린더 및 솔레노이드 밸브 등과 같은 에어장치에 오일이 혼합된 에어가 공급됨에 따라 내부기밀을 더욱 효과적으로 유지시켜 에어장치의 동작불량이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.