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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020000043448A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980059827
申请日：1998-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A side slide part of a loader is provided to minimize a noise and a vibration of a side slide part of a loader installed at a stepper used in an exposure process for forming an IC on a semiconductor wafer. CONSTITUTION: A side slide part of a loader comprises a side transfer arm, a side slide roller(17), and a vertical movement drive axis(16). The side transfer arm loads a semiconductor wafer. The side slide roller is combined with the side transfer arm. The vertical movement axis performs an ascent movement and a descent movement of the side transfer arm. The slide roller is formed with a curved surface portion(18) stuck to the vertical movement drive axis at its outer circumference.
Abstract translation: 目的：提供装载机的侧滑动部件，以最小化安装在用于在半导体晶片上形成IC的曝光处理中所使用的步进机上的装载机的侧滑动部件的噪音和振动。 构成：装载机的侧滑动部件包括侧传送臂，侧滑动辊（17）和垂直运动驱动轴（16）。 侧转移臂装载半导体晶片。 侧滑轮与侧传送臂组合。 垂直移动轴执行侧传送臂的上升运动和下降运动。 滑动辊在其外圆周处形成有粘附到垂直运动驱动轴的弯曲表面部分（18）。
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公开(公告)号：KR1020000043447A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980059826
申请日：1998-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01S3/10
Abstract: PURPOSE: A laser beam axis compensating apparatus is provided to extend the life span of facilities and to reduce the product cost by automatically replacing with a new laser source with the detection of the beam amount. CONSTITUTION: A support(11) supports a laser source(11) to slant the laser source(11) at a certain angle by a deviation between a laser beam axis and a reference position in order to compensate the dislocation of the laser beam axis. A reflecting mirror(15) changes a laser beam path. A laser beam is finally focused on a reference marker(17). A laser beam reflected through the reflecting mirror(15) is irradiated on the reference marker(17) to measure the deviation from a position set as a reference. The support(13) automatically moves by the deviation to change the slant of the laser source(11).
Abstract translation: 目的：提供激光束轴补偿装置，延长设备的使用寿命，并通过检测光束量自动更换新的激光源，降低产品成本。 构成：支撑件（11）支撑激光源（11）以通过激光束轴线和参考位置之间的偏差以一定角度倾斜激光源（11），以补偿激光束轴线的位错。 反射镜（15）改变激光束路径。 激光束最终聚焦在参考标记（17）上。 通过反射镜（15）反射的激光束被照射在基准标记（17）上，以测量与设定为基准的位置的偏差。 支撑件（13）自动移动偏移以改变激光源（11）的倾斜。
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公开(公告)号：KR200148086Y1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR2019960021076
申请日：1996-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 이형우
IPC: H04N5/645
Abstract: 본 고안은 모니터케이스의 결합구조에 관한 것으로,
비디오인쇄회로기판이 구비된 음극선관과 메인인쇄회로기판이 각각 장착되는 프론트케이스와 이와 착탁가능하게 고정되는 리어케이스로 이루어지는 모니터케이스의 결합구조에 있어서, 상기 프론트케이스 상부 내측면에 대향되게 형성되며 체결부재의 체결위치가 가변적인 리브와, 상기 리브를 수용하도록 상기 리어케이스에 형성되는 소정형상의 브라킷을 구비하여, 상기 체결부재 고정시 외측으로 확장되는 상기리브와 압착 지지되어 고정됨을 특징으로 하는 모니터케이스의 결합구조를 제공한다. -
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