公开(公告)号：KR1019970053241A

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR1019950055685

申请日：1995-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남상호 ,  강동길

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 스텝퍼 장치의 플랫-존 검출회로 및 플랫-존 검출 제어방법에 관한 거스올, 웨이퍼의 플랫-존을 검출하기 위해 사용되는 광다이오드의 발광량이 광다이오드의 자연열화에 따라 감소하여도, 중점전압을 한계전압으로 설정하고, 플랫
-존 검출회로에 입력되는 신호가 한계전압보다 큰 신호이면, 입력 신호에 대하여 소정의 일정한 신호를 플랫-존 정렬 제어부로 출력하여 올바르게 플랫-존을 검출하여 정렬할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970067756A

公开(公告)日：1997-10-13

申请号：KR1019960007073

申请日：1996-03-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남상호 ,  강동길 ,  이명석 ,  김성일

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027

Abstract: 램프어뎁터와 고정장치가 일체로 이루어지는 반도체장치 제조용 스테퍼의 램프어댑터 고정장치에 관한 것이다. 본 발명은 스테퍼의 램프에 전압을 인가하는 램프어댑터를 고정시키는 반도체장치 제조용 스테퍼의 램프어댑터 고정장치에 있어서, 상기 램프에 상기 램프어댑터를 고정하는 고정부가 상기 램프어댑터와 일체로 구성되어 일어진다. 따라서 램프어댑터는 고정부와 일체형으로 이루어져서 램프이 열전달로 인하여 램프어댑터 고정부가 열팽창되어도 램프로 전압을 향상 인가시킬 수 있고 또한 램프의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100609013B1

公开(公告)日：2006-08-03

申请号：KR1020040009935

申请日：2004-02-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강동길 ,  최대용

IPC: H01L21/02

CPC classification number: G01F11/021 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

Abstract: 반도체 소자 제조용 화학 액체로 고점도의 화학 액체를 이용하는 경우에 고점도 화학 액체를 효과적으로 공급하는 반도체 소자 제조용 화학 액체 공급 장치 및 방법이 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 소자 제조용 화학 액체 공급 장치는 화학 액체 탱크부, 화학 액체 배출부, 충전 유로, 공급 유로 및 유로 조절부를 포함하며, 충전 유로가 화학 액체 배출부와 연결되는 소정의 부분 및 공급 유로가 화학 액체 배출부와 연결되는 소정의 부분은 일체화되어 형성되어 있고, 유로 조절부를 조절하여 일체화되어 형성되어 있는 부분을 충전 유로로 이용하거나 공급 유로로 이용한다.
반도체 제조, 고점도, 충전

公开(公告)号：KR1020050081604A

公开(公告)日：2005-08-19

申请号：KR1020040009935

申请日：2004-02-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강동길 ,  최대용

IPC: H01L21/02

CPC classification number: G01F11/021 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

Abstract: 반도체 소자 제조용 화학 액체로 고점도의 화학 액체를 이용하는 경우에 고점도 화학 액체를 효과적으로 공급하는 반도체 소자 제조용 화학 액체 공급 장치 및 방법이 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 소자 제조용 화학 액체 공급 장치는 화학 액체 탱크부, 화학 액체 배출부, 충전 유로, 공급 유로 및 유로 조절부를 포함하며, 충전 유로가 화학 액체 배출부와 연결되는 소정의 부분 및 공급 유로가 화학 액체 배출부와 연결되는 소정의 부분은 일체화되어 형성되어 있고, 유로 조절부를 조절하여 일체화되어 형성되어 있는 부분을 충전 유로로 이용하거나 공급 유로로 이용한다.

公开(公告)号：KR1020000043448A

公开(公告)日：2000-07-15

申请号：KR1019980059827

申请日：1998-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이형우 ,  강동길 ,  권오현

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A side slide part of a loader is provided to minimize a noise and a vibration of a side slide part of a loader installed at a stepper used in an exposure process for forming an IC on a semiconductor wafer. CONSTITUTION: A side slide part of a loader comprises a side transfer arm, a side slide roller(17), and a vertical movement drive axis(16). The side transfer arm loads a semiconductor wafer. The side slide roller is combined with the side transfer arm. The vertical movement axis performs an ascent movement and a descent movement of the side transfer arm. The slide roller is formed with a curved surface portion(18) stuck to the vertical movement drive axis at its outer circumference.

Abstract translation: 目的：提供装载机的侧滑动部件，以最小化安装在用于在半导体晶片上形成IC的曝光处理中所使用的步进机上的装载机的侧滑动部件的噪音和振动。 构成：装载机的侧滑动部件包括侧传送臂，侧滑动辊（17）和垂直运动驱动轴（16）。 侧转移臂装载半导体晶片。 侧滑轮与侧传送臂组合。 垂直移动轴执行侧传送臂的上升运动和下降运动。 滑动辊在其外圆周处形成有粘附到垂直运动驱动轴的弯曲表面部分（18）。

公开(公告)号：KR1019970067559A

公开(公告)日：1997-10-13

申请号：KR1019960007074

申请日：1996-03-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강동길 ,  남상호 ,  이명석 ,  김성일

IPC: H01L21/027

Abstract: 반도체 노광설비에서 웨이퍼의 정위치에서 벗어난 회전을 감지하는 센서가 설치된 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다.
본 발명은 원판형의 가장자리에 3개 이상의 홈을 가진 웨이퍼 홀더, 상기 홈에 대응되는 해머, x축 정렬유니트 및 y측 정렬유니트를 구비하는 반도체 노광설비의 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기 정렬유니트들은, 상기 웨이퍼 홀더의 중심에서 방사상을 이루는 선을 따라 왕복운동이 가능하며 상기 홀더의 홈에 들어가서 웨이퍼와 접촉하는 롤러를 구비하고, 상기 y축 정렬 유니트는 상기 웨이퍼 홀더 위쪽에서 정렬된 웨이퍼 플랫존의 바로 아래쪽이며 상기 웨이퍼 홀더 상면에 복수개 설치되는 신호기에 대응하여 신호를 검출하는 복수개의 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 노광의 제1단계에서도 웨이퍼가 정위치에서 회전된 것을 감지하여 이후의 공정에서 웨이퍼의 리워크나 폐기를 경감하는 효과를 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR100193735B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019950055685

申请日：1995-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남상호 ,  강동길

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 스텝퍼 장치의 플랫-존 검출회로의 플랫-존 검출을 위한 제어방법에 관한 것으로, 웨이퍼의 플랫-존을 검출하기 위해 사용되는 광다이오드의 발광량이 광다이오드의 자연열화에 따라 감소하여도, 중점전압을 한계전압으로 설정하고, 플랫-존 검출회로에 입력되는 신호가 한계전압 보다 큰 신호이면, 입력신호에 대하여 소정의 일정한 신호를 플랫-존 정렬 제어부로 출력하여 올바르게 플랫-존을 검출하여 정렬할 수 있다.