公开(公告)号：KR1019970071128A

公开(公告)日：1997-11-07

申请号：KR1019960012545

申请日：1996-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영 ,  김용진

IPC: G03F7/00

Abstract: 알루미나를 식각용마스크로 이용하는 반도체 장치의 패턴형성방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 반도체 기판 상에 고전도성막을 형성하는 단계와, 상기 고전도성막 상에 산화막을 형성하는 단계와, 상기 산화막 상에 알루미늄막을 형성하는 단계와, 상기 알루미늄막 상에 감광막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 감광막 패턴을 마스크로 상기 알루미늄막을 식각하여 알루미늄막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 알루미늄막 패턴의 표면을 산화시켜 식각마스크용 알루미나층을 형성하는 단계와, 상기 알루미나층을 이용하여 상기 산화막 및 고전도성막을 식각하여 산화막 패턴 및 고전도성막 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 고전도성막 패턴형성방법을 제공한다. 본 발명은 알루미나층을 식각마스크로 사용하여 고전도성막을 신뢰성있게 패터닝할 수 있다.

公开(公告)号：KR2019970052824U

公开(公告)日：1997-09-08

申请号：KR2019960002797

申请日：1996-02-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR1019970052768A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950057203

申请日：1995-12-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영 ,  정찬욱

IPC: H01L21/3065

Abstract: 본 발명은 저온식각장치에 관한 것으로, 시간 변조 RF제너레이터를 사용하여 시간이 경과함에 따라서 고주파를 ON/OFF를 조절함으로써 플라즈마 발생을 제어하여 식각되는 기판의 온도가 지나치게 상승하는 것을 방지한다. 즉, 기판의 온도가 지나치게 상승하는 것을 방지한다. 즉, 기판의 온도가 저온 상태를 유지하도록 하으로써 식각 속도를 향상시키고 선택성과 이방성을 개선할 뿐 아니라 열에 의한 웨이퍼 손상을 방지하는 효과를 나타내는 저온 식각 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1019970023764A

公开(公告)日：1997-05-30

申请号：KR1019950034563

申请日：1995-10-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영 ,  이철규

IPC: H01L21/302

Abstract: 가변 RF(Radio Frequency) 제너레이터를 이용하여 주파수를 변환하여 식각하는 주파수 변환 식각장치에 관한 것으로 기존의 직류전압원(DC Bias Source)에 가변 RF 제너레이터(Variable Radio Frequency Generator)를 사용하여 주파수를 변환하고 종말점 검출기(End-Point Detector)와 컨트롤러(CONTROLLER)를 사용한다.
즉, 플라즈마(Plasma) 식각 장치의 가변 주파수 전압 공급기(Variable Frequency Power Supply)를 이용하여 에칭 선택비를 높게 하기 위해서는 고주파수를 선택하고, 에칭 선택비를 낮게 하기 위해서는 저주파수를 선택할 수 있게 되어, 기존의 직류전압원(DC Bias Source)에서처럼 각각의 필요 주파수에 따라 제너레이터(generater)를 따로 부착하는 것에 비해 비용과 크기면에서 불리한 면을 크게 보완할 수 있는 장점이 있다.

公开(公告)号：KR1019970018049A

公开(公告)日：1997-04-30

申请号：KR1019950031114

申请日：1995-09-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영

IPC: H01L21/28

Abstract: 본 발명은 패턴 형성 방법에 관한 것으로서, 특히 보조 패턴을 이용한 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다.
보조 패턴 방법을 이용한 미세 패턴 형성 방법에 있어서, 통상의 방법으로 실리콘기판상에 소자 분리를 위한 필드옥사이드와 게이트 패턴을 형성후 결과물위에 하부 절연물층으로 평탄화한 다음 제1감광막을 도포하고 이어서 상부 절연물층을 형성한 후 제2감광막을 형성하여 MLR(multi layer resist : 다층감광막) 구조를 형성하는 공정; 각각의 감광막을 단계적으로 계단형으로 패턴닝하고 식각하여 보조 턴을 형성하고 최종적으로 실리콘기판까지 엔드 포인트 방법으로 식각하여 좁고 미세한 패턴을 형성함을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 보조 패턴 방법을 이용한 미세 패턴 형성 방법은 부분적 식각 및 MLR 방법을 상요함으로써 게이트(110)를 손상시키지 않고 좁고 깊은 컨택트 홈을 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR100804650B1

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：KR1020060006363

申请日：2006-01-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영 ,  김영민

IPC: H03F3/45 ,  H03L7/08

CPC classification number: H03F3/45183 ,  H03F1/02 ,  H03F2203/45318 ,  H03F2203/45352 ,  H03K3/0322 ,  H03K3/356113 ,  H03K5/133 ,  H03K2005/00026 ,  H03K2005/00208 ,  H03L7/0995

Abstract: 전력소모를 줄일 수 있고 듀티비 특성이 우수한 차동-단일 컨버터 및 이를 구비한 위상동기루프 회로가 개시되어 있다. 차동-단일 컨버터는 차동증폭기 및 래치회로를 구비한다. 차동증폭기는 차동입력신호를 증폭하여 차동출력신호를 발생시킨다. 래치회로는 차동출력신호를 래치시켜 단일 출력신호를 발생시킨다. 전압제어 발진기의 지연 셀에 공급되는 지연 셀 전압에 비례하는 바이어스 전압에 응답하여 차동증폭기의 바이어스 전류가 결정될 수 있다.

公开(公告)号：KR100693901B1

公开(公告)日：2007-03-12

申请号：KR1020050074395

申请日：2005-08-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영

IPC: H03L7/085

CPC classification number: H03K3/0372

Abstract: 대칭적 디-플립플롭 및 이를 구비하는 위상 주파수 검출기가 개시되어 있다. 대칭적 디-플립플롭은, 외부로부터 입력되는 데이터 신호를 래치하는 제 1 래치부; 및 상기 제 1 래치부로부터 상기 래치된 데이터를 전달받아 출력 신호 및 반전 출력 신호를 출력하며, 상기 출력 신호를 출력하기 경로와 상기 반전 신호를 출력하기 위한 경로가 서로 대칭적인 구조를 가지는 제 2 래치부로 구성된다. 따라서, 대칭적 디-플립플롭은 출력 신호와 반전 출력 신호의 출력 경로에 존재하는 소자의 수가 동일하여 상호 대칭적인 구조를 가짐으로써, 출력 신호와 반전 출력 신호간의 위상차를 제거할 수 있다.

公开(公告)号：KR100505695B1

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：KR1020030047539

申请日：2003-07-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조상연 ,  정우영

IPC: G06F12/08

CPC classification number: G06F12/0888

Abstract: 동적으로 할당 또는 해제되는 버퍼를 가지는 캐쉬 메모리 장치, 이를 구비한 디지털 데이터 처리 시스템 및 그 방법이 개시된다. 상기 캐쉬 메모리 장치, 또는 디지털 데이터 처리 시스템은, 버퍼의 주소나 크기에 상관없이 동적으로 캐쉬 메모리의 일부가 버퍼로 할당 및 해제되고, 이에 따라 캐쉬 메모리를 사용하는 시스템에서 효율적으로 접근될 수 있는 버퍼를 가진다. 즉, 캐쉬 메모리 내부에 위치하게 되는 버퍼에 쓰기 동작에 의해서 버퍼의 내용이 정의된 후, 버퍼의 내용이 다른 연산에 사용되기 위해서 읽혀지는 동작을 할 때에, 캐쉬의 동작 특성에 의해서 불필요하게 생기는 메인 메모리로의 접근을 없앨 수 있다. 따라서, 유저(user)에게 직관적이고 친화적인 프로그래밍 인터페이스를 제공하는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020040076393A

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：KR1020030011730

申请日：2003-02-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영

IPC: G06F12/00

CPC classification number: Y02D10/13

Abstract: PURPOSE: A device and a method for controlling a read access of a RAM storing a lookup table are provided to reduce the power consumption of a logic circuit by decreasing a read access frequency for an input value of the RAM. CONSTITUTION: The RAM(120) stores the lookup table respectively matched with result values. A controller including a delay(111), a comparator(112), and a first inverter(114) receives the input value by synchronizing with a reception clock and provides the input value to the RAM. If the received input value is identical with the previous input value, the controller disenables the RAM. If not, the controller enables the read of the RAM.

Abstract translation: 目的：提供一种用于控制存储查找表的RAM的读取访问的装置和方法，用于通过减小RAM的输入值的读取访问频率来降低​​逻辑电路的功耗。 构成：RAM（120）分别存储与结果值匹配的查找表。 包括延迟（111），比较器（112）和第一反相器（114）的控制器通过与接收时钟同步来接收输入值，并将输入值提供给RAM。 如果接收到的输入值与以前的输入值相同，则控制器禁用RAM。 如果没有，控制器可以读取RAM。

公开(公告)号：KR100306421B1

公开(公告)日：2001-12-28

申请号：KR1019980038176

申请日：1998-09-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정우영

IPC: B41J2/195

Abstract: 본 발명은 잉크젯프린터를 이용한 문서나 화상의 출력시 잉크카트리지에 저장되어 있는 잉크의 잔량을 측정하여 표시하기 위한 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 잉크카트리지가 장착된 캐리지를 구동하기 위한 캐리지리턴 모터인 DC모터에 일정한 전류를 인가한 후 캐리지의 배면에 장착된 엔코더리더를 통해 엔코더스트립바의 값을 읽어들여 캐리지의 이동거리를 측정한 후 미리 실험치로 정해저 기억장치부에 저장되어 있는 예제 테이블을 통해 비교함으로서 잉크의 잔량을 측정하여 표시장치부를 통해 유저에게 알려주기 위한 장치에 그 특징이 있다.