分光传感器
    63.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103221792B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201180056291.0

    申请日:2011-09-21

    CPC classification number: G01J3/51 G01J3/26 G01J3/513

    Abstract: 分光传感器(1)具备:多个干涉滤波部(20A,20B,20C),具有腔体层(21)以及经由腔体层(21)而相对的第1和第2镜面层(22,23),并使规定的波长范围的光根据入射位置选择性地透过;光透过基板(3),配置在第1镜面层(22)侧,使入射至干涉滤波部(20A,20B,20C)的光透过;以及光检测基板(4),配置在第2镜面层(23)侧,检测透过了干涉滤波部(20A,20B,20C)的光。第2镜面层(23),在每个干涉滤波部(20A,20B,20C)被分离。腔体层(21)遍及干涉滤波部(20A,20B,20C)的各个而一体地形成,腔体层(21)的一部分进入相邻的第2镜面层(23,23)间的区域。

Patent Agency Ranking