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公开(公告)号:KR100225016B1
公开(公告)日:1999-10-15
申请号:KR1019930003260
申请日:1993-03-05
Applicant: 닛본 이따 가라스 가부시끼가이샤
CPC classification number: G01N21/896 , G01N2201/1085
Abstract: 기포, 이물, 마디뿐만 아니라, 투과광의 광학적 변화가 적은 마디줄기, 리모가 같은 결정을 검출할 수 있는 결점 걸출 장치를 제공한다. 라인을 주행하는 유리판에 라인과 직교하는 방향에 빔 스포트를 주사한다. 유리판을 투과한 투과광을 라인과 직교하는 방향에 배열된 광 파이버 어레이를 수광한다. 광 파이버 어레이의 광 파이버는 사이크릭에 있는 복수개의 광전자 증배관에 접속되어 있고, 광 파이버가 수광한 빛을 과전자 증배관이 전기 신호로 변환한다. 이들 전기 신호에서, 아날로그 처리부에서 결점 정보 신호가 꺼내지고, 마스크 처리부에서 마스크 처리되어 결점 신호가 생성된다. 이들 결점 신호에서, 결점 입력 처리부에서 결점 패턴과 결점이 존재하는 위치를 나타내는 위치 정보가 생성된다.
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公开(公告)号:TW228569B
公开(公告)日:1994-08-21
申请号:TW082101819
申请日:1993-03-11
Applicant: 日本板硝子股份有限公司
CPC classification number: G01N21/896 , G01N2201/1085
Abstract: 提供一種不但可檢查泡、異物、結,而且可檢查透過光之光學變化少的結筋、條紋之類的缺陷的缺陷檢查裝置。對在線路移動的玻璃板朝與線路正交的方向掃描射束光點。將透過玻璃板的透過光以排列在與線路正交方向的光纖陣列受光。光纖陣列的光纖周期地連接多數個光電倍增管,將光纖受光的光由光電倍增管變換成電信號。從這些電信號在類比處理部取出缺陷資訊信號,在遮蔽處理部遮蔽處理,生成缺陷信號。從這些缺陷信號在缺陷輸入處理部生成顯示缺陷圖樣和缺陷存在位置的位置資訊。
Abstract in simplified Chinese: 提供一种不但可检查泡、异物、结,而且可检查透过光之光学变化少的结筋、条纹之类的缺陷的缺陷检查设备。对在线路移动的玻璃板朝与线路正交的方向扫描射束光点。将透过玻璃板的透过光以排列在与线路正交方向的光纤数组受光。光纤数组的光纤周期地连接多数个光电倍增管,将光纤受光的光由光电倍增管变换成电信号。从这些电信号在模拟处理部取出缺陷信息信号,在屏蔽处理部屏蔽处理,生成缺陷信号。从这些缺陷信号在缺陷输入处理部生成显示缺陷图样和缺陷存在位置的位置信息。
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