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公开(公告)号：CN101335166A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200710118004.X
申请日：2007-06-27
Applicant: 中国科学院电子学研究所
Abstract: 本发明一种阴极三元合金膜及制备覆膜浸渍扩散阴极的方法，涉及微波电真空器件制造技术。阴极三元合金膜，为钨铼锇三元合金膜。一种制备覆膜浸渍扩散阴极的方法，A.在浸渍发射材料之前，用表面溅射法在阴极表面先溅射沉积铼膜，再溅射沉积锇钨膜，接下来浸渍发射材料，利用发射材料的高温浸渍过程，实现阴极表面膜层的合金化；B.浸渍发射材料之后，利用钨铼锇三元合金靶，在阴极表面溅射沉积钨铼锇三元合金膜。用本发明的阴极三元合金膜制备的阴极，可使阴极发射电流密度成倍提高，加大了阴极发射能力，并可较容易地制备成各种规格并易于实现批量生产。本发明阴极可应用于各类微波电真空器件，也可在电视机的电子管以及电子显微镜中使用。
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公开(公告)号：CN101221869A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710190664.9
申请日：2007-11-28
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明涉及一种高电流密度电子发射体材料及制备方法，尤其涉及一种含锆钨基的高电流密度电子发射体材料及制备方法；本发明材料的基体为二氧化锆和钨，称取钨粉于氢炉内退火，粉碎，过80目筛后与ZrO2一起研磨混匀，成型，置于铝酸盐粉末中，氢气气氛中浸渍，清除浸渍后的浮盐，制得电子发射体材料。本发明所制得的锆钨基体的平均孔径变小，孔径分布变窄；阴极在工作温度1050℃时，发射电流密度为传统钡钨阴极的1.73－1.86倍。
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公开(公告)号：JP2020009777A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：JP2019168023
申请日：2019-09-17
Applicant: エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
Inventor： ディヌ−グールトレル、ローラ , ホガーボルスト、エリック・ペトルス
IPC: H01J37/305 , H01J1/146 , H01J37/06 , H01J3/02 , H01L21/027 , G03F7/20 , H01J1/20
Abstract: 【課題】陰極構成体、陰極構成体を有する電子銃、及び電子銃を有するリソグラフィシステムに関し、陰極構成体内の表面からの仕事関数低下粒子の放出を調節する。 【解決手段】本発明は、長手方向(Z)に電子を放出するための、放出周縁(35)で境界が定められた放出表面(32)を収容している陰極本体(22)と、横断方向(X、Y)に陰極本体を少なくとも部分的に囲み、放出表面によって放出された電子を集束させるための、アパーチャ周縁(45)で境界が定められた電子透過アパーチャ(44)を有する集束電極(40)とを具備し、陰極本体は、アライメントされた位置(R0)から最大横断距離(d1)を超えて集束電極内に移動可能に配置され、アパーチャ周縁は、最大横断距離(d1)を超えるオーバーラップ距離(d2)にわたって、放出周縁を超えて放出表面の上に横断方向に延びている陰極構成体(20)に関する。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP6805306B1
公开(公告)日：2020-12-23
申请号：JP2019159586
申请日：2019-09-02
Applicant: 株式会社コベルコ科研
Abstract: 【課題】電子放出特性に優れて、電子ビームのパワー増大といった高性能化を図ることのできる、電子ビーム生成用カソード部材の作製に最適な溶製材または焼結材と、それらの製造方法を提供する。 【解決手段】本発明の電子ビーム生成用カソード部材用の溶製材または焼結材は、イリジウムとセリウムからなる化合物を90質量%以上含み、酸素濃度が0.055質量%以下である。前記溶製材の製造方法は、金属セリウム原料の変質部を機械的に除去した後、酸洗処理と水洗処理を1回以上行う金属セリウム原料の前処理工程と、前記前処理後の金属セリウム原料と、金属イリジウム原料を溶解して溶製材を得る溶解工程とを含む。前記焼結材の製造方法は、更に、前記溶製材を粉砕して粉砕物を得る粉砕工程と、前記粉砕物を高温高圧雰囲気で焼結する焼結工程とを含む。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2019527918A
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：JP2019506099
申请日：2017-07-31
Applicant: エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
Abstract: 電子エミッタ及びその電子エミッタを製作する方法が開示される。特定の実施形態により、電子エミッタは、約(0.05〜10)マイクロメートルの範囲内の直径を有する平面領域を備えた先端部を含む。電子エミッタ先端部は、電界放出電子を解放するように構成される。この電子エミッタは、先端部上にコーティングされた仕事関数低下材料を更に含む。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017195172A
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：JP2017038313
申请日：2017-03-01
Applicant: アジレント・テクノロジーズ・インク , AGILENT TECHNOLOGIES, INC.
Inventor： ジェイ.ダニエル ガイスト , ジョン カルフーン
CPC classification number: H01K1/18 , H01J1/15 , H01J1/18 , H01K1/14 , H01J3/026 , H01K1/04 , H01K3/02 , H01K3/06
Abstract: 【課題】電子の発生を必要とする用途で利用されるフィラメントの寿命を延ばすことに貢献することができ、電子流の安定性を増加させることができる。安定フィラメントアセンブリを提供する。 【解決手段】フィラメントアセンブリ200は、コア204およびフィラメント208を含んでいる。フィラメント208の少なくとも中央部228Cが、コア204上に配置されている。中央部228Cは、直線状であってもよく、または、方向を変える経路にフィラメント208が従う形状(高抵抗構成)を有していてもよい。電子放出層112が、少なくとも中央部228を封入するように、コア204上に配置されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2002527855A
公开(公告)日：2002-08-27
申请号：JP2000575144
申请日：1999-10-01
Abstract: A cathode material of an electron beam device comprising 0.5 to 9.0% by weight of a rare-earth metal of the cerium group, 0.5 to 15.0% by weight of tungsten and/or rhenium, 0.5 to 10% by weight of hafnium and the balance of iridium is provided. Since the cathode material has excellent plasticity, it is easy to manufacture small-size emitters. Also, since the density of the electron emission of the cathode material is high and the working temperature is low, a long lifetime can be ensured. Also, the cathode material is useful as a cathode material of an electron beam device.
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公开(公告)号：CN215342488U
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202121392707.3
申请日：2021-06-23
Applicant: 淄博华祥钨钼制品有限公司
Inventor： 毕会永
Abstract: 本实用新型公开了一种喷涂效果好的钨电极生产用上漆机，包括机床、装料罐、电极棒、支架、机械框架和均液管，所述机床的上端固定有底板，所述底板的外侧四周固定有机械框架，所述机械框架的一侧中间位置固定有安装板，所述安装板内部的限位槽内卡合固定有十个转动轴，所述转动轴位于机械框架外的一侧固定有齿轮，十个齿轮之间通过齿链一起转动，所述转动轴位于机械框架内的一侧安装有固定夹，所述固定夹内的两个吸盘上固定有电极棒，所述电极棒的另一端卡合在支架上端的固定槽内。本实用新型钨电极生产用上漆机喷涂效果好，电极棒能够自主转动，均匀喷涂，喷涂装置能够实现定量喷涂，防止浪费，降低损耗，节约成本，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN206541789U
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201720039318.X
申请日：2017-01-05
Applicant: 武汉科技大学
Abstract: 本实用新型涉及电极材料领域，具体涉及一种低逸出功阴极，固定在基底上，包括阴极本体1和固定杆2，所述固定杆2顶端与阴极本体1固定连接，所述阴极本体1由钨构成，所述固定杆2由SiC构成；本实用新型结构简单，其中固定杆具备低逸出功、耐高温和不易形变的特点，具备稳定性，同时钨制成的阴极本体也具备耐高温性，使整个低逸出功阴极结构稳定。
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