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公开(公告)号:CN106816349A
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201710012788.1
申请日:2017-01-09
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明提供一种光阴极超快电子枪,其中,所述阴极为轴对称结构,包括第一圆柱形侧面、圆形底面以及连接所述第一圆柱形侧面和所述圆形底面的第一连接面,所述圆形底面的中心具有通光孔,以及所述圆形底面的外侧具有用于容纳金属膜的圆形凹槽,所述阳极为轴对称结构,包括圆形顶面、第二圆柱形侧面、圆环形底面、以及连接所述圆形顶面和所述第二圆柱形侧面的第二连接面,所述圆环形底面从所述第二圆柱形侧面的下边缘径向向外延伸,所述圆形顶面中心具有通孔,所述第一连接面具有圆形倒角,以及所述第二连接面具有椭圆形倒角。
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公开(公告)号:CN109411312A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201811284544.X
申请日:2018-10-31
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明公开基于飞秒激光调制的超快电子枪及其验证方法,首创性从改变飞秒激光波形着手,通过对飞秒激光进行调频、分束、干涉等一系列操作以产生脉宽小于10fs的电子脉冲阵列。基于飞秒激光调制的超快电子枪包括:分光镜、第一反光镜、第二反光镜、半透射反射镜、聚焦镜、带孔反射镜、阳极和阴极。本发明超快电子枪结构简单紧凑、设计科学合理,造价低廉、性能稳定、在用于超快电子衍射等泵浦-探测测量时不会带来同步抖动的问题。
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公开(公告)号:CN104008943A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201410066714.2
申请日:2014-02-26
Applicant: FEI公司
Inventor: M.马佐斯
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/10
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/248 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0473 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/1518 , H01J2237/1534 , H01J2237/28 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统,其中,聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压,该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下,减少了色差和库仑相互作用,这使斑点尺寸产生显著改进。
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公开(公告)号:CN104008943B
公开(公告)日:2018-02-16
申请号:CN201410066714.2
申请日:2014-02-26
Inventor: M.马佐斯
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/10
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/248 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0473 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/1518 , H01J2237/1534 , H01J2237/28 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统,其中,聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压,该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下,减少了色差和库仑相互作用,这使斑点尺寸产生显著改进。
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公开(公告)号:CN1208241A
公开(公告)日:1999-02-17
申请号:CN98102904.3
申请日:1998-06-13
Applicant: EEV有限公司
Inventor: D·W·卡尔
IPC: H01J23/02
CPC classification number: H01J25/04 , H01J1/46 , H01J3/026 , H01J23/02 , H01J23/065 , H01J2225/04
Abstract: 一种用于IOT或TWT这样的线形电子束管的栅极,包括:一个栅极部分3和一个安装凸缘4;在栅极部分3与安装凸缘4之间还包含一个调节部分5。在使用期间,栅极部分3变热,然后膨胀。而安装凸缘4由于与较大的机构连接,因而保持较低的温度。调节部分5的可弯曲薄带8允许不同差值热膨胀造成的安装凸缘4与栅极部分3之间的相对移动,这样就使栅极部分的变形降至最小。而如果栅极部分3直接与安装凸缘4连接,则限制了外径长度,从而使栅极部分3发生明显的由热膨胀差值造成的变形。
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公开(公告)号:CN109065421A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201810892313.0
申请日:2018-08-07
Applicant: 核工业理化工程研究院 , 沈阳腾鳌真空技术有限公司
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明公开了一种内置水路式电子枪枪体及冷却方法,所述的内置水路式电子枪枪体包括形成有安装腔的主腔体,以及对应设置在主腔体尾端的过渡板,所述的主腔体的外侧形成有进水口和出水口,在所述的主腔体上形成有主水道,所述的过渡板上形成有将所述的主腔体水道对应连通以构成完整单循环流路的端水道。本发明抛弃了双层水套结构,采用外方内圆形电子枪枪体结构,通过打水孔及串接成具有一定导向的循环水道,避免了冷却死角,提高了冷却效果;采用外钻孔结构,实现了电子枪枪体内部真空腔无焊缝,避免了漏水的安全隐患;采用小孔封堵的焊接形式,焊缝创伤小,电子枪枪体的热应力形变小;电子枪枪体外形可进行二次机械精加工,可满足高精度的安装定位需求。
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公开(公告)号:CN101529550A
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200780038510.6
申请日:2007-10-18
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/06 , H01J37/304 , H01J2237/004 , H01J2237/182
Abstract: 皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中,消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响,使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度,来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置,优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次,也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此,产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。
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公开(公告)号:CN101529550B
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN200780038510.6
申请日:2007-10-18
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/06 , H01J37/304 , H01J2237/004 , H01J2237/182
Abstract: 皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中,消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响,使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度,来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置,优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次,也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此,产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。
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公开(公告)号:CN1208242A
公开(公告)日:1999-02-17
申请号:CN98102926.4
申请日:1998-06-13
Applicant: EEV有限公司
Inventor: A·H·皮克林
IPC: H01J23/02
CPC classification number: H01J25/04 , H01J1/46 , H01J3/026 , H01J23/02 , H01J23/065 , H01J2225/04
Abstract: 一种用于IOT或TWT这样的线型电子束管的栅极,包括:一个栅极部分3和一个聚焦电极4;在栅极部分3与聚焦电极4之间还包含一个调节部分5。用在其外边缘周围的安装凸缘6将栅极安装到管子中。在使用期间,栅极部分3变热,然后膨胀。而安装凸缘6由于与较大的机构连接,因而保持较低的温度。调节部分5的可弯曲薄带9允许不同热膨胀造成的安装凸缘6与栅极部分3之间的相对移动,这样就使栅极部分的变形降至最小。而如果栅极部分3直接与安装凸缘6连接,则限制了外径长度,从而使栅极部分3发生明显的由热膨胀差值造成的变形。
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公开(公告)号:WO2008050670A1
公开(公告)日:2008-05-02
申请号:PCT/JP2007/070352
申请日:2007-10-18
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/06 , H01J37/304 , H01J2237/004 , H01J2237/182
Abstract: ピアス式電子銃の電子ビーム集束の制御において、電子銃内部での空間電荷効果及び空間電荷中和作用の影響を無くし、電子ビームの制御を完全なものとする。前記ピアス式電子銃の内部の温度を直接測定することにより電子銃内部の圧力をフィードバック制御する。前記ピアス式電子銃の内部の温度を直接測定する場所は、アノード(39)、フローレジスター(43)が望ましい。次いで、カソード室(31)、中間室、揺動室(33)のいずれかの出口または入口に設けたリング、絞り、排気筒のいずれかでも可能である。これにより、ビームを作る部分の安定化(電子銃自体の最適化設計)、ビーム輸送部の安定化及びビーム使用部の安定化の全てについて良好になった。
Abstract translation: 在穿透式电子枪的电子束聚焦的控制中,消除了电子枪内的空间电荷效应和空间电荷中和作用的任何影响,从而完全控制电子束。 通过直接测量穿孔式电子枪的内部温度来进行电子枪内压力的反馈控制。 优选地,在阳极(39)和流量寄存器(43)处直接测量穿孔型电子枪的内部温度。 此外,可以在阴极室(31),中间室和振荡室(33)中的任一个的出口或入口处的排气叠层,孔径光阑和环中的任何一个处执行直接测量。 因此,光束产生区域的所有稳定(电子枪本身的优化设计),光束传输区域的稳定和光束使用区域的稳定已经变得合适。
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