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    插座安裝構造及彈簧構件
    71.
    发明专利
    插座安裝構造及彈簧構件 审中-公开
    插座安装构造及弹簧构件

    公开(公告)号：TW201535881A

    公开(公告)日：2015-09-16

    申请号：TW103140404

    申请日：2014-11-21

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

    Inventor： 山田佳男 ,  YAMADA, YOSHIO ,  谷幸央 ,  TANI, YOSHIHISA ,  広中浩平 ,  HIRONAKA, KOHEI ,  仁平崇 ,  NIDAIRA, TAKASHI ,  米田知広 ,  YONEDA, TOMOHIRO

    IPC: H01R13/639 ,  H01R33/76 ,  G01R31/26

    CPC classification number: H01R13/2471 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06722 ,  H01R12/714 ,  H01R2201/20

    Abstract: 本發明之插座安裝構造是具備：從基板的主面延伸出去，且分別插通在設於保持構件的插通孔的複數個支撐構件；以及在將載置於基板上的保持構件朝基板側彈壓的狀態下，安裝在複數個支撐構件的板狀的彈簧構件(板簧5)，在彈簧構件(板簧5)形成有第1貫穿孔(貫穿孔52a至52d)，其係朝板厚方向貫穿，可供支撐構件插通，並且具有固定部，其係形成複數個第1貫穿孔(貫穿孔52a至52d)中的至少一個第1貫穿孔之側壁的一部分，以保持並固定支撐構件。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之插座安装构造是具备：从基板的主面延伸出去，且分别插通在设于保持构件的插通孔的复数个支撑构件；以及在将载置于基板上的保持构件朝基板侧弹压的状态下，安装在复数个支撑构件的板状的弹簧构件(板簧5)，在弹簧构件(板簧5)形成有第1贯穿孔(贯穿孔52a至52d)，其系朝板厚方向贯穿，可供支撑构件插通，并且具有固定部，其系形成复数个第1贯穿孔(贯穿孔52a至52d)中的至少一个第1贯穿孔之侧壁的一部分，以保持并固定支撑构件。

    基板支持裝置
    76.
    发明专利
    基板支持裝置 审中-公开
    基板支持设备

    公开(公告)号：TW201436095A

    公开(公告)日：2014-09-16

    申请号：TW103107950

    申请日：2014-03-07

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

    Inventor： 花待年彥 ,  HANAMACHI, TOSHIHIKO ,  橋本大輔 ,  HASHIMOTO, DAISUKE ,  石岡泰明 ,  ISHIOKA, YASUAKI

    IPC: H01L21/683

    CPC classification number: C23C16/4586 ,  B05C21/00 ,  C23C16/463 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792

    Abstract: 提供基板支持裝置，對晶圓加熱時能均溫加熱板，防止加熱板發生因熱應變所導致之變形，提升晶圓均溫性。本發明之基板支持裝置具有板部及軸部。板部包括於內部具有發熱體之加熱板、具有配置於加熱板下面之第一流道之第一冷卻板及具有配置於加熱板上面之第二流道之第二冷卻板。軸部支持板部且於內部具有接續至發熱體以對其供給電流之配線及對第一及第二流道供給冷媒之配管。第一流道含有從第一冷卻板之中央部朝向外緣部以第一方向環繞之旋渦狀流道。第二流道含有從第二冷卻板之中央部朝向外緣部以相反於第一方向之第二方向環繞之旋渦狀流道。

    Abstract in simplified Chinese: 提供基板支持设备，对晶圆加热时能均温加热板，防止加热板发生因热应变所导致之变形，提升晶圆均温性。本发明之基板支持设备具有板部及轴部。板部包括于内部具有发热体之加热板、具有配置于加热板下面之第一流道之第一冷却板及具有配置于加热板上面之第二流道之第二冷却板。轴部支持板部且于内部具有接续至发热体以对其供给电流之配线及对第一及第二流道供给冷媒之配管。第一流道含有从第一冷却板之中央部朝向外缘部以第一方向环绕之旋涡状流道。第二流道含有从第二冷却板之中央部朝向外缘部以相反于第一方向之第二方向环绕之旋涡状流道。

    複合材料之製造方法及複合材料
    78.
    发明专利
    複合材料之製造方法及複合材料 审中-公开
    复合材料之制造方法及复合材料

    公开(公告)号：TW201323117A

    公开(公告)日：2013-06-16

    申请号：TW101139435

    申请日：2012-10-25

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

    Inventor： 平野智資 ,  HIRANO, SATOSHI ,  山內雄一郎 ,  YAMAUCHI, YUICHIRO ,  花待年彥 ,  HANAMACHI, TOSHIHIKO ,  齋藤慎二 ,  SAITO, SHINJI

    IPC: B22F1/02 ,  C23C24/04

    CPC classification number: C23C24/04

    Abstract: 提供一種複合材料之製造方法，係包括互不相同的數種金屬材料之複合材料之製造方法，可安定地製造均質皮膜的複合材料之製造方法，及由此製造方法製造的複合材料。複合材料之製造方法含有皮膜形成步驟S3，係使複合化粉末與氣體一起加速，至少使複合化粉末表面保持固相狀態而噴附在基材表面並堆積而形成皮膜，其中，前述複合化粉末具有由第1金屬或合金形成的芯材被覆層、以及以反應性比第1金屬或合金低的第2金屬或合金被覆該芯材被覆層而形成的被覆層，且使該被覆層為最外層。

    Abstract in simplified Chinese: 提供一种复合材料之制造方法，系包括互不相同的数种金属材料之复合材料之制造方法，可安定地制造均质皮膜的复合材料之制造方法，及由此制造方法制造的复合材料。复合材料之制造方法含有皮膜形成步骤S3，系使复合化粉末与气体一起加速，至少使复合化粉末表面保持固相状态而喷附在基材表面并堆积而形成皮膜，其中，前述复合化粉末具有由第1金属或合金形成的芯材被覆层、以及以反应性比第1金属或合金低的第2金属或合金被覆该芯材被覆层而形成的被覆层，且使该被覆层为最外层。

    探針單元
    79.
    发明专利
    探針單元 审中-公开
    探针单元

    公开(公告)号：TW201312124A

    公开(公告)日：2013-03-16

    申请号：TW101128191

    申请日：2012-08-01

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

    Inventor： 山田佳男 ,  YAMADA, YOSHIO ,  弓野誠 ,  YUMINO, MAKOTO ,  近藤充博 ,  KONDO, MITSUHIRO ,  莊司哲 ,  SHOJI, SATOSHI

    IPC: G01R1/073

    CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06738 ,  G01R31/2886

    Abstract: 本發明提供一種在與接觸對象之間可獲得確實之導通的探針單元。該探針單元是具有：包括數量在兩個以上的接觸探針(2a)的複數個探針群(2)，各接觸探針(2a)是在長邊方向的一方端部側與被接觸體之一個電極接觸，在另一方端部側與基板之不同的電極分別接觸的探針單元，其中：接觸探針(2a)具有：設在長邊方向的一方端部側，具有複數個形成尖細的前端形狀的爪部(21b)，並藉由爪部(21b)與被接觸體之電極接觸的前端部(21a)；設在長邊方向的另一方端部側，並且與基板之對應的電極接觸的第2接觸部；以及設在前端部(21a)與第2接觸部之間，用來彈推前端部(21a)及第2接觸部的螺旋彈簧(23)。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种在与接触对象之间可获得确实之导通的探针单元。该探针单元是具有：包括数量在两个以上的接触探针(2a)的复数个探针群(2)，各接触探针(2a)是在长边方向的一方端部侧与被接触体之一个电极接触，在另一方端部侧与基板之不同的电极分别接触的探针单元，其中：接触探针(2a)具有：设在长边方向的一方端部侧，具有复数个形成尖细的前端形状的爪部(21b)，并借由爪部(21b)与被接触体之电极接触的前端部(21a)；设在长边方向的另一方端部侧，并且与基板之对应的电极接触的第2接触部；以及设在前端部(21a)与第2接触部之间，用来弹推前端部(21a)及第2接触部的螺旋弹簧(23)。

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