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公开(公告)号:CN109471145A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201811210954.X
申请日:2018-10-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于四元声阵列平台的双声定位定姿法,实现对地面微小机器人群体的网域化定位定姿。本发明利用每台机器人的四元声阵列平台来实现,所述四元声阵列平台包括平台,平台上搭载有中心设置的声源、四角上各设置有一个声接收器,声源周围设置有电子罗盘和GPS模块,通过两个标准声源依次发声,通过一定的算法,计算非原点标准声源的坐标,然后再计算移动平台处声源的坐标,同时通过电子罗盘测得方位角,再进行计算后,实现对移动平台的定位定姿。本发明实现了网域化地面微小机器人群的精确定位,即避免外界电磁干扰的影响,又提高修正低成本GPS定位误差。而且不需要每一平台均使用高精度的GPS,降低了成本。
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公开(公告)号:CN108376838A
公开(公告)日:2018-08-07
申请号:CN201810322093.8
申请日:2018-04-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于新型柔性超材料吸波器的制作领域,具体为基于PDMS封装技术的微流体超材料结构,其设计思路包括以下步骤:结合常规的“三明治”吸波结构,将原有的介质层替换为PDMS封装的微流体结构;在封装的微流体中选取介电常数与正切角损耗较大的液体进行填充;在封装层的两侧使用溅射工艺,将介质基板与金属图案溅射到两侧,得到柔性吸波材料。本发明中工艺流程,以PDMS封装工艺为基础,可以做到更薄的尺寸;与传统的吸波材料结构相比,PDMS封装的微流体超材料吸波器有更薄的尺寸,制作的材料也具有柔性。
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公开(公告)号:CN104816292A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201510241866.6
申请日:2015-05-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明具体为一种可伪装微型变色机器人,解决了现有机器人变色需人工远端控制存在操控性能较差的问题。包括聚二甲基硅氧烷壳体,聚二甲基硅氧烷壳体的中间层设置有聚二甲基硅氧烷微流通道,聚二甲基硅氧烷壳体内设置有位于其中心的两个腔体,其中一个腔体内设置有三个颜料盒和与伺服电机,另一个腔体内设置有TCS230颜色传感器、单片机,伺服电机的输出端与颜料盒连接,TCS230颜色传感器的输出端与单片机的输入端连通,单片机的输出端与伺服电机的输入端连接。本发明变色不再人工控制,不需要携带大量输入输出管道,变色过程采用三基色变色原理,操控性能得到了大幅提升,具有简单方便、实时变色的优点。
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公开(公告)号:CN103592468A
公开(公告)日:2014-02-19
申请号:CN201310571038.X
申请日:2013-11-16
Applicant: 中北大学
IPC: G01Q60/52
Abstract: 本发明涉及磁性材料表面信息测量工具,具体是一种铁磁共振磁交换力显微镜测试系统。本发明解决了现有磁性材料表面信息测量工具应用范围受限、测量精确性差、以及无法直接区分表面形貌信息和表面自旋磁信息的问题。铁磁共振磁交换力显微镜测试系统,包括非接触式原子力显微镜系统、微波发生器、载波器、锁相放大器、微波照射机构;所述非接触式原子力显微镜系统包括扫描器、磁性探针、激光器、四象限光电二极管探测器、锁相环、自动增益回路、压电体、反馈回路;其中,微波发生器的信号输入端与载波器的信号输出端连接;载波器的信号输入端与锁相放大器的信号输出端连接。本发明适用于磁性材料表面信息测量。
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公开(公告)号:CN101949712B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN201010274552.3
申请日:2010-09-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及陀螺惯性器件,具体是一种关于光学陀螺效应验证的简易结构。本发明解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题。一种关于光学陀螺效应验证的简易结构包括中空转台、固定于中空转台表面圆心处的环形谐振腔、以及与环形谐振腔耦合的双波导;双波导贯穿中空转台表面,中空转台的上下两侧分别设有三通道光纤旋转互连装置和四通道光纤旋转互连装置。本发明有效解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题,适于作为惯导系统中的核心部件。
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公开(公告)号:CN100468063C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN200710061738.9
申请日:2007-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术,具体是一种三轴压阻微加速度计。解决了现有三轴压阻加速度计制作工艺、结构复杂、体积和质量较大、不易在高温场合使用的问题,包括支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于支撑框体中间的质量块,质量块四边分别通过两根平行弹性梁与支撑框体固定,支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖,弹性梁与质量块、支撑框体的固定端部设置有阻值相等的应变压敏电阻,支撑框体上还设置有六个阻值相等的基准压敏电阻,压敏电阻连接构成三个分测三轴方向加速度的惠斯通电桥,结构合理,体积微小,易于加工,可应用于一些高温场合,可测得三个轴向的加速度。
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公开(公告)号:CN101118249A
公开(公告)日:2008-02-06
申请号:CN200710139293.1
申请日:2007-08-25
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术领域,具体是一种压阻式高g值加速度计。解决了现有压阻式加速度计结构不能同时满足固有频率高、灵敏度高、能承受较高的横向加速度等特性要求的问题,该加速度计包括固定于玻璃底板上的硅基框架、弹性梁、以及通过弹性梁支悬于硅基框架中央的质量块,弹性梁端部设有构成惠斯通电桥的压敏电阻,弹性梁的梁宽与质量块的宽度相等,而弹性梁的梁厚小于质量块的厚度,且质量块背部开有凹槽。本发明结构合理、简单,同时具有良好的抗过载能力等特性要求,避免了在恶劣冲击环境下失效的问题;且制作工艺比较简单,适用于高量程的加速度计。
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公开(公告)号:CN101042411A
公开(公告)日:2007-09-26
申请号:CN200710061738.9
申请日:2007-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术,具体是一种三轴压阻微加速度计。解决了现有三轴压阻加速度计制作工艺、结构复杂、体积和质量较大、不易在高温场合使用的问题,包括支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于支撑框体中间的质量块,质量块四边分别通过两根平行弹性梁与支撑框体固定,支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖,弹性梁与质量块、支撑框体的固定端部设置有阻值相等的应变压敏电阻,支撑框体上还设置有六个阻值相等的基准压敏电阻,压敏电阻连接构成三个分测三轴方向加速度的惠斯通电桥,结构合理,体积微小,易于加工,可应用于一些高温场合,可测得三个轴向的加速度。
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公开(公告)号:CN101038299A
公开(公告)日:2007-09-19
申请号:CN200710061740.6
申请日:2007-04-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/14
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术,具体是一种基于单质量块的单轴集成惯性测量器件。解决了现有单轴微惯性测量组合存在结构相对复杂、体积和质量相对较大等问题,包括质量块、玻璃盖底,质量块通过支撑梁支悬于玻璃盖底上方,质量块由质量芯块、和通过弹性梁分别与质量芯块四边相固定的四块支撑体构成,Y向相对的支撑体外侧固定有检测活动梳齿,X向相对的支撑体外侧固定有驱动活动梳齿,检测固定梳齿和驱动固定梳齿固定于玻璃盖底上,质量芯块的下端面与玻璃盖底上对应地固定有构成电容的电极。本发明结构合理,易于加工,具有可靠性高、体积小、抗干扰能力强、精度高、检测向量平行和正交精度高等显著特点。
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公开(公告)号:CN114890375B
公开(公告)日:2025-04-22
申请号:CN202210525272.8
申请日:2022-05-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种CMOS‑MEMS集成声换能器及其制备方法。该传感器既能作为麦克风传感器又能作为超声换能器,其由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层,第n层介质层上刻蚀有空腔,空腔顶部形成振膜及上电极、底部形成下电极。制备时,使用COMS工艺的后端(BEOL)层作为MEMS器件的结构层,COMS电子层在MEMS器件层下方集成,各金属层间通过钨塞互连,最后通过干法刻蚀在介质层上形成空腔。本发明传感器具有可靠性好、体积小、频带宽、灵敏度高、易于批量生产等特点,可以应用于医学、军事、工业、农业等众多领域。
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