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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100437117C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200710061739.3
申请日：2007-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种复合梁压阻加速度计。解决了现有高g加速度计的结构不能满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，同时抗冲击性能较差的问题，该加速度计包括硅基支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于硅基支撑框体中间的质量块，弹性梁的端部扩散有压敏电阻，硅基支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，质量块由框体和通过连接梁固定于框体内的质量芯块构成。本发明结构合理，能同时满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，并且具有高抗过载能力。
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公开(公告)号：CN101034094A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710061739.3
申请日：2007-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种复合梁压阻加速度计。解决了现有高g加速度计的结构不能满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，同时抗冲击性能较差的问题，该加速度计包括硅基支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于硅基支撑框体中间的质量块，弹性梁的端部扩散有压敏电阻，硅基支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，质量块由框体和通过连接梁固定于框体内的质量芯块构成。本发明结构合理，能同时满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，并且具有高抗过载能力。
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公开(公告)号：CN100468063C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200710061738.9
申请日：2007-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种三轴压阻微加速度计。解决了现有三轴压阻加速度计制作工艺、结构复杂、体积和质量较大、不易在高温场合使用的问题，包括支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于支撑框体中间的质量块，质量块四边分别通过两根平行弹性梁与支撑框体固定，支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，弹性梁与质量块、支撑框体的固定端部设置有阻值相等的应变压敏电阻，支撑框体上还设置有六个阻值相等的基准压敏电阻，压敏电阻连接构成三个分测三轴方向加速度的惠斯通电桥，结构合理，体积微小，易于加工，可应用于一些高温场合，可测得三个轴向的加速度。
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公开(公告)号：CN101118249A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200710139293.1
申请日：2007-08-25
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种压阻式高g值加速度计。解决了现有压阻式加速度计结构不能同时满足固有频率高、灵敏度高、能承受较高的横向加速度等特性要求的问题，该加速度计包括固定于玻璃底板上的硅基框架、弹性梁、以及通过弹性梁支悬于硅基框架中央的质量块，弹性梁端部设有构成惠斯通电桥的压敏电阻，弹性梁的梁宽与质量块的宽度相等，而弹性梁的梁厚小于质量块的厚度，且质量块背部开有凹槽。本发明结构合理、简单，同时具有良好的抗过载能力等特性要求，避免了在恶劣冲击环境下失效的问题；且制作工艺比较简单，适用于高量程的加速度计。
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公开(公告)号：CN101042411A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710061738.9
申请日：2007-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种三轴压阻微加速度计。解决了现有三轴压阻加速度计制作工艺、结构复杂、体积和质量较大、不易在高温场合使用的问题，包括支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于支撑框体中间的质量块，质量块四边分别通过两根平行弹性梁与支撑框体固定，支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，弹性梁与质量块、支撑框体的固定端部设置有阻值相等的应变压敏电阻，支撑框体上还设置有六个阻值相等的基准压敏电阻，压敏电阻连接构成三个分测三轴方向加速度的惠斯通电桥，结构合理，体积微小，易于加工，可应用于一些高温场合，可测得三个轴向的加速度。
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