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公开(公告)号：CN105493236A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047347.X
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
CPC classification number: C08F2/50 , C09D4/00 , G02B1/12 , G03F7/0002 , G03F7/031 , H01L21/31144 , H01L21/31155 , C08F2220/1875 , C08F2220/185 , C08F2222/1013 , C08F2222/102
Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN104640884A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380048923.8
申请日：2013-09-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/004 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , B29L2011/00 , B29L2031/3425 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F2/48 , C08F22/105 , C08F222/1006 , C09D4/00 , C09D7/47 , G03F7/0002 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/20 , G03F7/38 , G03F7/40 , H05K3/06
Abstract: 要用于制造具有高生产性的膜的本发明的光固化性组合物是一种光固化性组合物，其要用于在所述光固化性组合物与在其表面上具有凹凸图案的模具接触的状态下，通过将所述光固化性组合物使用光来固化而制造具有预定图案形状的膜，所述光固化性组合物包括：聚合性化合物；光聚合引发剂；用于通过光刺激来产生气体的感光性气体产生剂；和用于增加在所述模具和所述光固化性组合物之间的界面处的产生自所述感光性气体产生剂的所述气体的聚集速率的气体产生促进剂，其中所述气体产生促进剂包括没有聚合性取代基的含氟原子的表面活性剂。
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公开(公告)号：CN104039836A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280062769.5
申请日：2012-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/50 , H01L21/027 , C07C271/12 , C07C271/24
CPC classification number: B29C59/026 , B29L2031/3425 , C08F2/50 , H01L21/266 , H01L21/3081 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。X1和X2选自由氢原子、烷基、苯基、萘基、和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。X1和X2可相同或不同。R1-R10独立地选自由氢原子、卤素原子、烷基、烃氧基、苯基、萘基和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。R1-R10可相同或不同。
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公开(公告)号：CN101872030B
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201010167956.2
申请日：2010-04-22
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树
IPC: G02B3/00
CPC classification number: B29D11/00355 , B29D11/00442
Abstract: 光学部件的制备方法包括用放射线照射放射线敏感的可聚合组合物的照射工序。该放射线敏感的可聚合组合物至少包括可聚合化合物(a)和可聚合或不可聚合的组分(c)。该照射工序至少包括用放射线只照射第一照射区域的第一步骤和用放射线只照射第二照射区域的第二步骤，该第一照射区域为放射线敏感的可聚合组合物的一部分，该第二照射区域为放射线敏感的可聚合组合物的一部分并且在尺寸和位置的至少一个上不同于该第一照射区域。当组分(c)可聚合时，在该第一和第二步骤中将组分(c)的聚合速率控制为低于可聚合化合物(a)的聚合速率。
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公开(公告)号：CN101086618B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200710110313.2
申请日：2007-06-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/20 , G03F7/28 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: C07C205/34 , G03F7/0045 , G03F7/023 , G03F7/039
Abstract: 本发明涉及形成光刻胶图案的方法，包括以下步骤：在衬底上施加含有至少一种溶于有机溶剂中的感光化合物的感光组合物以形成光刻胶层，感光化合物在分子中具有两个或更多个C6R2-6-CHR1-OR7或C6R2-6-CHR1-COOR7所示的重复单元，其中R1为氢原子或烷基；R2、R3、R4、R5和R6中的至少一个为硝基，其它为选自下组的基团：氢原子、卤素原子、烷基、烷氧基、苯基、萘基和部分或全部氢原子被氟原子取代的烷基；并且R7为取代或未取代的亚苯基或亚萘基，使用射线选择性辐照光刻胶层，和使射线辐照的部分显影以形成光刻胶图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101256357B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810004856.0
申请日：2008-02-04
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F112/14 , C08F8/28 , C07C49/84 , C08G8/36
CPC classification number: G03F7/039 , C07C37/055 , C07C49/84 , C07C225/22 , C08G8/28 , C08L61/14 , C07C39/04
Abstract: 本发明提供了能形成具有低LER(线边缘粗糙度)的光刻胶图案的感光化合物。本发明还提供了其中感光化合物溶解于溶剂中的感光组合物，使用该感光组合物的光刻胶图案形成方法，和使用该光刻胶的器件制造方法。本发明的感光化合物是在分子中具有两个或更多个由下面的通式(1)表示的结构单元的感光化合物：其中R1-R10选自氢原子、卤素原子、烷基、烷氧基、苯基、萘基和部分或全部氢原子被氟原子取代的烷基；且X是取代或未取代的亚苯基或者取代或未取代的亚萘基。
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公开(公告)号：CN101038436A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710088522.1
申请日：2007-03-14
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/165 , C07F7/12 , C07F7/1804 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明提供使用更少数量的处理步骤形成低缺陷的微粒图案，点阵图案或孔阵图案的光敏硅烷偶联剂，以及使用这种光敏硅烷偶联剂的构图方法，其中所使用的是具有被邻－硝基苄氧羰基保护的仲氨基的光敏硅烷偶联剂。
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公开(公告)号：CN119535904A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411194709.X
申请日：2024-08-29
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供了异物检查方法和装置、成型方法、成型装置及物品制造方法。一种用于检查异物的异物检查方法包括：使第一基板的第一表面与第二基板的第二表面接触，以使第一表面和第二表面彼此面对；获得来自相互接触的第一表面和第二表面的反射光的图像；以及基于所获得的图像确定异物存在、异物不存在或者异物位置。
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公开(公告)号：CN108885975B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201780021961.2
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 刘卫军 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 , 大谷智教 , 田边正幸
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm2的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。
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公开(公告)号：CN109075031B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201780022065.8
申请日：2017-03-23
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 千叶启子 , 伊藤俊树 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 , 刘卫军
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 包括含有聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)的层形成于基板的表面上，包括含有聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴以离散的方式滴落至包括固化性组合物(A1)的层上，将由固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)部分地混合形成的混合层夹持在模具与基板之间，将混合层通过从模具侧用光照射混合层来固化，并且使模具与固化后的混合层脱离，由此在基板上形成固化材料的图案。通过固化性组合物(A1)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为40mPa·s以上且小于500mPa·s且通过固化性组合物(A2)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为1mPa·s以上且小于40mPa·s，在基板上在多轮区域中以均匀的精度借助上述方法形成了固化材料的图案。
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