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发明公开
异物检查方法和装置、成型方法、成型装置及物品制造方法审中-公开

公开(公告)号：CN119535904A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411194709.X

申请日：2024-08-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 , 今村成希 , 松岛雏子 , 胜田健

IPC: G03F7/20 , G03F7/00 , G03F1/84

Abstract: 本发明提供了异物检查方法和装置、成型方法、成型装置及物品制造方法。一种用于检查异物的异物检查方法包括：使第一基板的第一表面与第二基板的第二表面接触，以使第一表面和第二表面彼此面对；获得来自相互接触的第一表面和第二表面的反射光的图像；以及基于所获得的图像确定异物存在、异物不存在或者异物位置。

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