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公开(公告)号：CN103998901A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201180075369.3
申请日：2011-12-07
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/6842 , F02D41/187 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F5/00 , H01L35/34
Abstract: 本发明提供一种测量精度高的空气流量测定装置。该空气流量测定装置包括：副通路，其取入吸气管内流过的流体流量的一部分；传感元件，其配置在副通路，测量流体流量；电路部，其将传感元件检测出的流体流量转换为电信号；连接器部，其具有与电路部电连接并将信号输出到外部的连接器；和壳体，其支承传感元件和电路部，传感元件配置在吸气管内，传感元件具有形成于半导体衬底的空洞部、和以覆盖空洞部的方式形成的由薄膜部构成的隔膜，传感元件安装于引线框，传感元件和引线框的表面以传感元件的隔膜部和引线框的一部分露出的方式用树脂模塑封装，在上述引线框，形成有至少一个以上的将空洞部与模塑封装的外部连结的孔。
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公开(公告)号：CN103994794A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410244748.6
申请日：2011-09-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/698 , G01F5/00 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/10157 , H01L2924/15151 , H01L2924/15153
Abstract: 本发明提供能够抑制每个流量传感器的性能偏差的技术。在本发明的流量传感器(FS1)中，形成为在使形成在半导体芯片(CHP1)上的流量检测部(FDU)露出的状态下利用树脂(MR)覆盖半导体芯片(CHP1)的一部分的结构。在与空气的流动方向平行的方向，树脂(MR)密封半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))的一部分，从而树脂(MR)的上表面(SUR(MR))的高度比半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))高，因此能够在流量检测部(FDU)使空气的流动稳定。而且，通过半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的接触面积增加，能够防止半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的界面剥离。
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公开(公告)号：CN102162744B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201010589428.6
申请日：2010-12-09
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F15/16 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/692 , H01L23/495 , H01L29/84 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/49171 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及流量传感器及其制造方法及流量传感器组件，提供用树脂封固半导体元件的一部分与电气控制回路表面的流量传感器的结构。使用如下空气流量传感器的结构，具备：半导体元件，其形成有空气流量检测部和流量孔板；以及基板或引线框，其配置有用于控制半导体元件的电气控制回路部，在使空气流量检测部露出的状态下，包含半导体元件的一部分表面在内，电气控制回路部的表面用树脂覆盖。提供树脂模型、基板、预模制的预模制部件等的面在不与半导体元件的和空气流量检测部分的设置面正交的三个面连续接触的状态下，包围半导体元件的流量传感器的结构，或通过弹簧的变形或弹性体薄膜在壁厚方向的变形而能够吸收半导体元件的尺寸偏差的制造方法。
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公开(公告)号：CN101852631B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201010118121.8
申请日：2010-02-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/69
CPC classification number: G01F1/6842
Abstract: 本发明提供一种热式流量测定装置，其具有弯曲的副通路且厚度方向尺寸小。在分离壁两侧形成第一副通路部(10A)和第二副通路部(10B)，在如下范围构成第三副通路部(10C)的直线通路部：与流动于该直线通路部的流体流动方向垂直的横截面，在与分离第一副通路部的层和第二副通路部的层的分离壁的壁面垂直的方向上相对于该分离壁跨两侧；连通第一副通路部和第三副通路部的第一连通通路部(10AC)描绘曲线而改变方向，由倾斜面连接由分离壁构成的第一副通路部的通路壁面和相对于分离壁位于第二副通路侧的第三副通路部的侧壁，在连通第二副通路部和第三副通路部的第二连通通路部(10BC)上具有贯通分离壁的贯通路(10C2)。
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公开(公告)号：CN102575955A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201180003582.3
申请日：2011-09-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/698 , G01F5/00 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/10157 , H01L2924/15151 , H01L2924/15153
Abstract: 本发明提供能够抑制每个流量传感器的性能偏差的技术。在本发明的流量传感器(FS1)中，形成为在使形成在半导体芯片(CHP1)上的流量检测部(FDU)露出的状态下利用树脂(MR)覆盖半导体芯片(CHP1)的一部分的结构。在与空气的流动方向平行的方向，树脂(MR)密封半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))的一部分，从而树脂(MR)的上表面(SUR(MR))的高度比半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))高，因此能够在流量检测部(FDU)使空气的流动稳定。而且，通过半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的接触面积增加，能够防止半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的界面剥离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110672171B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201910910727.6
申请日：2013-01-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 为了提供热响应性好的流量测定装置，包括温度检测用的温度检测元件(2)和对上述温度检测元件进行支承固定的导电性的金属引线框架(3)，在上述金属引线框架中用于安装上述温度检测元件的金属引线框架的一部分，具有比其它的金属引线框架的板厚薄或者比其它的金属引线框架的宽度细的部分。
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公开(公告)号：CN110672170A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910910710.0
申请日：2013-01-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 提供热响应性好的传感器芯片封装，包括：温度检测元件；第一导电性引线框架，支承固定温度检测元件并且与温度检测元件电连接；和第二导电性引线框架，第一导电性引线框架由导电上独立的多个部分构成，温度检测元件以跨越多个部分的方式配置，具有导电性部件，将第一导电性引线框架的多个部分和第二导电性引线框架分别电连接，其截面积比第一导电性引线框架和第二导电性引线框架小；和树脂封装，其以通过树脂将第一导电性引线框架、第二导电性引线框架、导电性部件和温度检测元件包在内部的方式进行覆盖，树脂封装的外周的第一导电性引线框架或第二导电性引线框架的截断面被封闭。
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公开(公告)号：CN107076590B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201580048333.4
申请日：2015-07-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明通过降低在副通路流动的被测量气体的流速分布的偏离而提供测量精度良好的热式流量计。摄取在主通路(124)流动的被测量气体(IA)的一部分的副通路(330)具有朝向流量测量元件(602)弯曲的弯曲通路(32a)。在弯曲通路(32a)形成有以在弯曲通路(32a)的外周侧(CO)流动的被测量气体(IA)的压力损失相比弯曲通路(32a)的内周侧(CI)变高的方式来对在外周侧(CO)流动的被测量气体(IA)的流动施加阻力的阻力部(50)。
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公开(公告)号：CN107101685B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201610991536.3
申请日：2012-11-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计，其包括流量检测元件，该热式流量计的特征在于：包括通过树脂密封驱动流量检测元件的驱动电路、保护驱动电路的保护元件、和用于安装驱动电路的引线框的芯片封装，保护元件通过导电性粘接材料直接安装在引线框上。
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公开(公告)号：CN105190255B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201480016388.2
申请日：2014-01-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明用于获得防止污染物对流量检测部的附着的热式流量计，本发明的热式流量计(300)包括流量检测部(602)，该流量检测部(602)通过在用于流动从主通路(124)取入的被计测气体(30)副通路与在该副通路流动的被计测气体(30)之间经由热传递面(437)进行热传递，计测上述被计测气体(30)的流量。流量检测部(602)设置成，在副通路内在沿被计测气体(30)的流动方向配置的露出面(402)中露出，在露出面(402)，以包围流量检测部(602)的周围的方式形成有台阶部(407)，被台阶部包围的内侧区域比台阶部的外侧区域突出。
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