公开(公告)号：CN212515216U

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202020647960.8

申请日：2020-04-26

Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司

Inventor： 黄向向 ,  杨敏 ,  道格拉斯·雷·斯巴克斯 ,  关健 ,  孙斯佳

IPC: G02B26/08

Abstract: 一种压电式微镜的结构，包括衬底晶圆，空腔，反射镜金属表面，悬臂梁结构，金属连接线，压电薄膜，盖板晶圆，键合界面，吸气剂盒；衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，空腔在沉积晶圆上，为凹槽结构；反射镜金属表面通过悬臂梁结构连接微镜与衬底晶圆；金属连接线为薄膜状连接线，压电薄膜与金属连接相连；键合界面是盖板晶圆与衬底晶圆键合后的键合界面，盖板晶圆与衬底晶圆通过共晶键合，微镜在空腔中，受到压电驱动而运动，吸气剂盒设置在空腔内。本实用新型的优点：加工简单，采用悬臂梁结构，悬臂梁结构上沉积压电材料和利用金属表面作为反射镜，可封装一个或多组排列的镜面，具有光学开关作用及较高的偏转角度，位移控制精确。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN212489872U

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202020613949.X

申请日：2020-04-22

Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司

Inventor： 黄向向 ,  杨敏 ,  道格拉斯·雷·斯巴克斯 ,  关健 ,  白羽

IPC: A61B5/01 ,  G01K13/00 ,  G01N33/00

Abstract: 一种医疗用温度和化学传感器结构，其特征在于：所述的医疗用温度和化学传感器结构，包括温度传感器和湿度传感器；温度传感器和湿度传感器均包括由金属薄膜，玻璃衬底，钝化层组成；其中：在金属薄膜和玻璃衬底之间，带有一层金属粘附层，温度传感器外部带有金属薄膜，湿度传感器外面带有金属薄膜，玻璃衬底设置在温度传感器和湿度传感器下面，钝化层设置在金属薄膜侧面。本实用新型的优点：本实用新型所述的医疗用温度和化学传感器结构，将传感器安装在医院的病床和轮椅上可以监测病人的体温，判断是否发烧；监测病床上的湿度，以更换床单或床垫。传感器器件可以将温度和湿度集成起来，传感器的测量可以无线或是远程的，使用更加方便。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN212111857U

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN202020633630.3

申请日：2020-04-24

Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司

Inventor： 黄向向 ,  杨敏 ,  道格拉斯·雷·斯巴克斯 ,  关健 ,  张晓磊

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02B6/136

Abstract: 一种堆叠式光波导结构，包括衬底晶圆，光波导层，光纤，光纤底座，键合界面；衬底晶圆之间带有键合界面，衬底晶圆上带有光波导层，在衬底晶圆上带有光纤底座，光纤固定在光纤底座上，多层衬底晶圆为整体结构，实现堆叠式多光波导器件；在衬底晶圆上利用刻蚀方法，制作出光纤底座，光纤固定在光纤底座上，利用晶圆键合方法，将多层衬底晶圆，通过硅‑硅直接键合、等离子激活硅硅键合、氧化层‑氧化层键合、氮化层‑氮化层键合的方法结合成整体，实现堆叠式多光波导器件。本实用新型的优点：应用于平面光波方向改变，光束分裂，以及光束干涉，从而传递光信号，结构和工艺性能稳定，传输损耗小。