公开(公告)号：KR1020070046687A

公开(公告)日：2007-05-03

申请号：KR1020050124174

申请日：2005-12-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송기봉 ,  조두희

IPC: H01L29/786 ,  H01L27/146

Abstract: 본 발명은 유리 기판 상에 칼코게나이드계 원소를 포함하는 GST막으로 형성되고 광을 흡수하여 광전류를 발생시킬 수 있는 광전도층과, 상기 광전도층의 양측에 형성되고, 상기 광전도층과 연결되어 상기 광에 의해 발생하는 광전류의 도통을 위해 형성된 소오스 전극 및 드레인 전극과, 상기 광전도층 상에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상에 형성되고 상기 광전류의 온오프를 위해 형성된 게이트 전극을 포함하여 이루어진다. 이상과 같이 본 발명은 칼코나이드계 원소를 포함하는 비정질 상태의 GST막을 광전도층으로 이용하여 아주 높은 광전도성을 가질 수 있다.

公开(公告)号：KR100499029B1

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020020064662

申请日：2002-10-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송기봉 ,  김은경 ,  이성규 ,  박강호 ,  김준호

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/1387 ,  G01Q60/22 ,  G01Q80/00 ,  G11B7/22 ,  H01L21/30608 ,  H01L21/31116

Abstract: 본 발명은 광 정보 저장장치의 헤드에 적용 가능한 캔티레버형 근접장 탐침 구조 및 그 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명은 윗부분과 아랫부분에 유전체 박막이 마스크 층으로 형성되고 위쪽 마스크 층에 유전체 원형 박막이 형성되어 홀더(Holder) 역할을 하는 실리콘 기판에 산화막을 형성하고, 이때 상기 유전체 원형 박막에 의해 발생하는 산화막의 성장률 차이에 기인하는 새부리(bird's beak) 효과에 의해 탐침의 끝부분이 포물선 구조가 되는 초기 탐침을 형성한 후, 이 초기 탐침에서 상기 유전체 원형 박막을 제거한 다음 실리콘 기판의 바닥면을 제거하여 고투과율을 가지는 근접장 에퍼처가 형성된 탐침을 완성하도록 되어 있으며,
이에 따라서, 차세대 고밀도 광 정보 저장장치의 헤드에 적용하면 광 손실 영역을 최대한 짧게 할 수 있으며, 광 정보의 기록 및 재생에 필요한 탐침의 광 투과율을 기존의 광섬유 탐침의 투과율보다 수천 배 이상 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

公开(公告)号：KR1020050065902A

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：KR1020030097064

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김준호 ,  박강호 ,  송기봉 ,  김은경 ,  이성규

IPC: G03F7/00 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00

CPC classification number: C25D11/022 ,  G01Q80/00

Abstract: 본 발명은 화학(chemistry)에서의 분자전자(molecular electronics) 분야, 생물학(biology)에서의 분자역학(molecular dynamics) 분야에서 연구되고 있는 나노(nano) 스케일의 포어(pore) 형성 방법에 관한 것으로, 원자현미경(AFM)을 이용한 아노딕 나노 산화(anodic nano-oxidation) 방법으로 마스크 박막에 선택적으로 산화 패턴을 형성한 후 산화 패턴을 선택적으로 식각하여 나노 스케일의 포어를 형성한다. 본 발명을 이용하면 간단한 공정으로 용이하게 나노 포어 어레이를 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR100441894B1

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：KR1020020004628

申请日：2002-01-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박강호 ,  송기봉 ,  이성규 ,  김정용

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/122 ,  G11B7/0937 ,  G11B7/124 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/14

Abstract: 근접장 광기록(Near Field Recording : NFR) 방식의 고밀도 광 정보 기록/재생을 위한 마이크로 집적 탐침형(probe type) 헤드 및 이를 이용한 광기록 장치를 개시한다. 본 발명은 실리콘 공정을 이용한 수십 nm 크기의 개구(aperture)가 형성된 탐침에 광도파로(wave guide)와 마이크로 렌즈 및 거울을 통한 광 집속 그리고 반사된 광의 검출을 통한 정보의 기록/재생이 가능한 헤드의 개념을 도입한다. 이러한 헤드를 디스크 구동 구조에서 구동함으로써 현재의 ODD(Optical Disc Drive) 또는 HDD(Hard Disc Drive)의 트래킹 기술이 사용 가능한 형태로 기록 크기 50 ~ 100 nm의 고밀도 및 고속의 근접장 광 정보 기록/재생이 가능하다.

Abstract translation: 提供了一种微集成探针型头和使用其的光记录系统，用于以近场记录（NFR）方式记录/读出高密度光信息。 提供的微集成探头型头和使用其的光记录系统使用通过波导，微透镜和微镜将光束聚焦到探头来记录/再现信息的头的概念，以及 通过检测反射光束。 在这种情况下，通过硅工艺形成探针以具有数十纳米大小的孔径。 通过在磁盘驱动结构中驱动磁头，以可能使用光盘驱动器的传统跟踪技术的方式高速记录/再现具有50至100nm记录尺寸的高密度近场光信息 （ODD）或硬盘驱动器（HDD）。

公开(公告)号：KR1020030064140A

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：KR1020020004628

申请日：2002-01-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박강호 ,  송기봉 ,  이성규 ,  김정용

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/122 ,  G11B7/0937 ,  G11B7/124 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/14

Abstract: PURPOSE: A micro integrated near-field optical recording head and an optical recording system using the near-field recording head are provided to improve the structure of an aperture probe and an optical construction required for inspecting/detecting lights. CONSTITUTION: A micro integrated near-field optical recording head includes a micro optical unit, a cantilever(120), an aperture probe(110), and a gap controller. The micro optical unit has a light guide, a micro-lens(130) and a micro-mirror(140). The cantilever is placed under the micro optical unit. The aperture probe is formed under the cantilever. The gap controller maintains a uniform gap between the aperture probe and media so that a beam inputted through the micro optical unit passes through the aperture probe to become near-field beam having resolution of less than 10nm to record information on the media.

Abstract translation: 目的：提供微型集成近场光学记录头和使用近场记录头的光学记录系统，以改善孔径探针的结构和检查/检测光所需的光学结构。 构成：微集成近场光记录头包括微光学单元，悬臂（120），孔径探针（110）和间隙控制器。 微型光学单元具有导光体，微透镜（130）和微反射镜（140）。 将悬臂放置在微型光学单元下方。 孔径探针形成在悬臂下。 间隙控制器在孔径探针和介质之间保持均匀的间隙，使得通过微光学单元输入的光束通过孔径探针，成为具有小于10nm的分辨率的近场光束，以在介质上记录信息。

公开(公告)号：KR1020030044141A

公开(公告)日：2003-06-09

申请号：KR1020010074731

申请日：2001-11-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송기봉 ,  김정용 ,  박강호

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/1387 ,  B82Y10/00 ,  B82Y20/00 ,  G11B7/22 ,  Y10S29/016 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49165

Abstract: PURPOSE: An optical information recording/reproducing head and a method for fabricating the head are provided to effectively excite near field to an aperture of the end of a probe to improve throughput of the optical information recording/reproducing head. CONSTITUTION: An optical information recording/reproducing head includes a silicon substrate(21) used as a holder, a silicon layer(23), and a metal thin film(27). One end of the silicon layer is fixed to the silicon substrate. A plurality of apertures(25) are formed in the silicon layer. The metal thin film is formed on the silicon layer under the apertures and has a probe shape. The apertures are filled with a nonlinear material(28). The nonlinear material includes As2S3. The metal thin film is made out of aluminum.

Abstract translation: 目的：提供一种光学信息记录/再现头和用于制造头部的方法，以有效地激发靠近探针端部的孔径的场，以提高光学信息记录/再现头的生产能力。 构成：光信息记录/再现头包括用作保持器的硅衬底（21），硅层（23）和金属薄膜（27）。 硅层的一端固定在硅衬底上。 在硅层中形成多个孔（25）。 金属薄膜形成在孔下方的硅层上并具有探针形状。 孔被非线性材料（28）填充。 非线性材料包括As2S3。 金属薄膜由铝制成。