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公开(公告)号：CN118471761A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410647955.X
申请日：2024-05-23
Applicant: 广州赛隆增材制造有限责任公司
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明属于电子枪技术领域，尤其涉及一种阴极抗蒸镀装置及电子枪。阴极抗蒸镀装置包括第一真空室、第二真空室、分子泵和机械泵，阴极置于第一真空室内；第二真空室与第一真空室连通并形成差分真空系统，第一真空室的真空度能随第二真空室的真空度升高而升高，且第一真空室的真空度大于第二真空室的真空度；分子泵包括第一分子泵和第二分子泵，第一分子泵能选择性地和第一真空室连通，第二分子泵能选择性地和第二真空室连通；机械泵包括第一机械泵和第二机械泵，第一分子泵和第一机械泵级联第二分子泵和第二机械泵级联。使用第二分子泵使第二真空室达到中等真空度，从而通过第一分子泵使第一真空室达到高真空状态，避免阴极蒸镀。
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公开(公告)号：CN117790260B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410203243.9
申请日：2024-02-23
Applicant: 成都菲奥姆光学有限公司
IPC: H01J3/02
Abstract: 一种调节电磁变量保护放电灯丝的装置，涉及调节电磁变量的技术领域，通过采用风洞和氩气，控制电子枪中放电灯丝的温度，并用氩气封闭电子枪的电子通道，调节直流电的变化，进而调节磁场变化，控制带负电荷的电子和带正电荷的氩原子的运动轨迹，避免放电灯丝被污染，提高保护放电灯丝的能力，提高控制放电灯丝温度的能力，延长放电灯丝的使用寿命。
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公开(公告)号：CN111712898B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN201880089189.2
申请日：2018-12-14
Applicant: 阿尔卡姆公司
Inventor： 马蒂亚斯·法杰
IPC: H01J1/13 , H01J1/16 , H01J3/02 , B33Y30/00 , B29C64/153
Abstract: 提供一种用于产生电子束的电子束源，该电子束源包括阴极、阳极和用于调节电子束电流的栅极。阴极具有基部和具有侧壁和顶表面的突起。基部表面和顶表面基本上是平坦的。基部表面和顶表面彼此以预定距离布置。基部大于突起。电子束源还包括控制单元，用于改变施加到栅极的电压，以在至少第一斑点大小和第二斑点大小之间切换电子束在目标表面上的斑点大小，第一斑点大小对应于仅从阴极的顶表面的发射，第二斑点大小对应于从阴极的顶表面和基部表面的发射。
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公开(公告)号：CN113745075B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202010477613.X
申请日：2020-05-29
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请公开了一种片上微型电子源及其制造方法、电子源系统、电子设备，其中片上微型电子源可以包括衬底，衬底上形成有驱动电极对，驱动电极对存在间隙，间隙中形成有导体盘和电子隧穿结，电子隧穿结由阻变材料层发生软击穿形成，导体盘与电子隧穿结中的导电区域接触，驱动电极对用于驱动电子隧穿结发出电子束。这样，在电子隧穿结中的导电区域的导体盘，可以在对阻变材料层进行软击穿形成电子隧穿结时表面出现等电势，因此在一定程度上缩短了需要击穿的阻变材料层的宽度，相比于未形成有导体盘的器件而言，需要更小的驱动的电压，且降低了对驱动电极对的间隙的工艺要求。
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公开(公告)号：CN117790260A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410203243.9
申请日：2024-02-23
Applicant: 成都菲奥姆光学有限公司
IPC: H01J3/02
Abstract: 一种调节电磁变量保护放电灯丝的装置，涉及调节电磁变量的技术领域，通过采用风洞和氩气，控制电子枪中放电灯丝的温度，并用氩气封闭电子枪的电子通道，调节直流电的变化，进而调节磁场变化，控制带负电荷的电子和带正电荷的氩原子的运动轨迹，避免放电灯丝被污染，提高保护放电灯丝的能力，提高控制放电灯丝温度的能力，延长放电灯丝的使用寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114512379B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210099674.6
申请日：2022-01-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米间隙电子源及其制备方法。所述纳米间隙电子源是在平面绝缘基片上制备纳米间隙电子源，结构是由基底(1)、介质层(2)，电子发射极(3)，控制电子发射的栅极等特性的电子光学系统(7)，以及收集极(8)组成。其制备方法结合了高精度的刻蚀或电子束曝光工艺，以及转移手段和薄膜工艺。本发明设计结合现有的半导体加工工艺，获得小型化和集成化的电子源器件的方案，以期获得高频和快速响应的技术优势，在新型电子元器件和微纳机电系统中具有较高的应用潜力，为未来实现片上集成的真空电子器件奠定技术基础。(4)，绝缘层(5)，电子提取极(6)，控制电子聚焦
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公开(公告)号：CN116978763A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311235269.3
申请日：2023-09-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种便于电子枪电极中心对准的装配方法及装配固定结构，涉及电子行业电真空的技术领域，解决了现有电子枪内电极在装配过程中操作复杂，同时不能很好的解决装夹治具自身存在的精度误差，容易影响电极的装配精度的技术问题。该结构包括陶瓷环和金属环；金属环为一个或两个，与陶瓷环相互匹配；金属环固定在陶瓷环的端面；第一装配固定结构设置在第一电极、第二电极之间，用于连接固定第一电极、第二电极。本发明通过装配固定结构直接连接固定第一电极、第二电极，操作方便，同时避免了使用装夹治具对第一电极、第二电极进行装夹，不方便调整第一电极、第二电极位置和装夹治具自身存在精度误差的问题，保证电极的装配精度。
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公开(公告)号：CN116190178B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310424755.3
申请日：2023-04-20
Applicant: 能量奇点能源科技(上海)有限公司
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明涉及一种冷阴极电子枪，包括电子枪枪体、枪口触持极结构，以及安装于电子枪枪体外部的外部保护层和枪体尾部封闭部分；所述电子枪枪体包括阴极、阳极组件和枪体级联结构；所述阴极、阳极组件在阴极和阳极产生的高电压差，产生电子，输入枪体级联结构，通过枪体级联结构的级联电极和枪口阳极栅正电位引出电子束。上述冷阴极电子枪装配难度低，有效减小了制造成本；代替了传统热阴极来保证发射电子束的流强，从而提升电子枪整体性能和效果。
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公开(公告)号：CN107359098B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201710722920.8
申请日：2017-08-22
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种光阴极微波电子枪，包括第一圆柱腔、第二圆柱腔、同轴腔、圆环孔、矩形波导、耦合孔、中空盘片以及截止波导，其中第一圆柱腔分别与第二圆柱腔和同轴腔连接，第二圆柱腔末端带有截止波导，同轴腔通过耦合孔与矩形波导连接实现耦合。本发明结构紧凑，将微波功率耦合孔由圆柱腔侧面移至同轴腔一端，保持圆柱腔体的旋转对称性，避免了由于非对称性耦合孔产生多极场，使得具有降低束流发射度，提高束流品质的良好效果。
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