Abstract in simplified Chinese:用于电性测试在一电迁移测试结构中的电迁移之系统及方法系在此被揭示。该些系统系包含一电压控制部分、一电流控制部分、以及一电流调节结构。该些系统进一步包含一电流侦测器、一第一系统连接、以及一第二系统连接。该些系统亦包含一电压侦测器、以及一控制器。在该些方法的某些实施例中,一电压控制部分系调节一高侧的信号电流以维持一电压差低于一电压设置点,而一电流控制部分系维持该高侧的信号电流低于一临界电流值。在该些方法的某些实施例中,该电压差以及该高侧的信号电流的一大小中之一系被选择作为一主要的控制参数,而另一个系被选择作为一兼容的控制参数。
Abstract in simplified Chinese:空间变换器、用于空间变换器的平坦化层、制造空间变换器的方法、以及平坦化空间变换器的方法系在此被揭示。在一实施例中,该些空间变换器系包含一空间变换器组件,其系包含一第一刚性空间变换器层、一第二刚性空间变换器层、以及一延伸在该第一刚性空间变换器层以及该第二刚性空间变换器层之间的附接层。在另一实施例中,该空间变换器系包含一空间变换器主体以及一弯曲电缆线组件。该平坦化层系包含一中介体、一弹性介电层、一平坦化的刚性介电层、复数个孔洞、以及一延伸在该复数个孔洞之内的导电膏。在一实施例中,该些方法系包含制造该空间变换器组件之方法。在另一实施例中,该些方法包含平坦化一空间变换器之方法。
Abstract in simplified Chinese:探针头组件以及用于测试集成电路设备的探针系统系在此被揭示。在一实施例中,该些探针头组件系包含一接触结构以及一空间变换器组件。在另一实施例中,该些探针头组件系包含一接触结构、一悬吊系统、一弯曲电缆线界面、以及一空间变换器,其系包含一空间变换器主体以及一弯曲电缆线组件。在另一实施例中,该些探针头组件系包含一接触结构、一空间变换器、以及一平坦化层。在另一实施例中,该些探针头组件系包含一接触结构、一空间变换器、一悬吊系统、一平台、一印刷电路板、第一复数个信号导体,其系被配置以在该空间变换器的外部传递第一复数个信号、以及第二复数个信号导体,其系被配置以经由该空间变换器来传递第二复数个信号。该些探针系统系包含该些探针头组件。
Abstract:
具有基準標記之探針、包含該等探針的探針系統、以及相關方法。該等探針包含一傳動杆部分和一探針針頭,該探針針頭被組構成用以接觸一待測裝置(device under test;DUT),且另包含一基準標記,形成於所述傳動杆部分之上,被組構成用以促成探針與DUT之對齊。該基準標記被組構成可被一光學組件看見,且在該光學組件的一景深之內落入該光學組件的成焦範圍,其中該光學組件之該景深小於該傳動杆部分在其上落入該光學組件成焦範圍的一景深。所述方法包含使用及/或製造該等探針的方法。
Abstract in simplified Chinese:具有基准标记之探针、包含该等探针的探针系统、以及相关方法。该等探针包含一传动杆部分和一探针针头,该探针针头被组构成用以接触一待测设备(device under test;DUT),且另包含一基准标记,形成于所述传动杆部分之上,被组构成用以促成探针与DUT之对齐。该基准标记被组构成可被一光学组件看见,且在该光学组件的一景深之内落入该光学组件的成焦范围,其中该光学组件之该景深小于该传动杆部分在其上落入该光学组件成焦范围的一景深。所述方法包含使用及/或制造该等探针的方法。