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公开(公告)号：TWI638164B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW106117892
申请日：2017-05-31
Applicant: 美商加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 施曼 傑 , SALMON, JAY , 斯沃特 羅伊E , SWART, ROY E. , 劉 布蘭登 , LIEW, BRANDON
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公开(公告)号：TWI628736B
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW104106626
申请日：2015-03-03
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 英格蘭 古柏 羅比 , INGRAM-GOBLE, ROBBIE , 賽門斯 麥克E , SIMMONS, MICHAEL E. , 沃夫 菲利浦 , WOLF, PHILIP , 蓋瑞森 萊恩 , GARRISON, RYAN , 史多姆 克理斯多弗 , STORM, CHRISTOPHER
IPC: H01L21/683 , H01L21/677
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公开(公告)号：TWI628442B
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106110834
申请日：2017-03-30
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 泰赫 麥寇 , TEICH, MICHAEL , 史托 卡特 , STOLL, KARSTEN , 克勞斯 華特 馬提斯 , CLAUSS, WALTER MATTHIAS , 舒彌沉 史文 , SCHMIEDCHEN, SWEN
IPC: G01R1/18
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公开(公告)号：TWI619947B
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW105108954
申请日：2016-03-23
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 波爾特 布萊恩 康瑞德 , BOLT, BRYAN CONRAD , 佛蘭克爾 約瑟夫 喬治 , FRANKEL, JOSEPH GEORGE
CPC classification number: G01R1/06794 , G01R31/2891
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公开(公告)号：TW201809707A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106117606
申请日：2017-05-26
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 麥克穆倫 提姆 艾倫 , MCMULLEN, TIMOTHY ALLEN , 哈利 布蘭 戴爾 , HARRY, BRENT DALE , 威考克 艾瑞克 詹姆斯 , WILCOX, ERIC JAMES , 東琳 詹姆斯J , DONLIN, JAMES J.
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2858 , G01R31/2818
Abstract: 用於電性測試在一電遷移測試結構中的電遷移之系統及方法係在此被揭示。該些系統係包含一電壓控制部分、一電流控制部分、以及一電流調節結構。該些系統進一步包含一電流偵測器、一第一系統連接、以及一第二系統連接。該些系統亦包含一電壓偵測器、以及一控制器。在該些方法的某些實施例中，一電壓控制部分係調節一高側的信號電流以維持一電壓差低於一電壓設定點，而一電流控制部分係維持該高側的信號電流低於一臨界電流值。在該些方法的某些實施例中，該電壓差以及該高側的信號電流的一大小中之一係被選擇作為一主要的控制參數，而另一個係被選擇作為一相容的控制參數。
Abstract in simplified Chinese: 用于电性测试在一电迁移测试结构中的电迁移之系统及方法系在此被揭示。该些系统系包含一电压控制部分、一电流控制部分、以及一电流调节结构。该些系统进一步包含一电流侦测器、一第一系统连接、以及一第二系统连接。该些系统亦包含一电压侦测器、以及一控制器。在该些方法的某些实施例中，一电压控制部分系调节一高侧的信号电流以维持一电压差低于一电压设置点，而一电流控制部分系维持该高侧的信号电流低于一临界电流值。在该些方法的某些实施例中，该电压差以及该高侧的信号电流的一大小中之一系被选择作为一主要的控制参数，而另一个系被选择作为一兼容的控制参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：TW201801428A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106115455
申请日：2017-05-10
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 施曼 傑 , SALMON, JAY , 斯沃特 羅伊E , SWART, ROY E. , 劉 布蘭登 , LIEW, BRANDON
CPC classification number: H01F27/2804 , G01R1/073 , H01F41/041 , H01L23/49822 , H05K3/368 , H05K3/4007 , H05K2201/10378
Abstract: 空間變換器、用於空間變換器的平坦化層、製造空間變換器的方法、以及平坦化空間變換器的方法係在此被揭示。在一實施例中，該些空間變換器係包含一空間變換器組件，其係包含一第一剛性空間變換器層、一第二剛性空間變換器層、以及一延伸在該第一剛性空間變換器層以及該第二剛性空間變換器層之間的附接層。在另一實施例中，該空間變換器係包含一空間變換器主體以及一彎曲電纜線組件。該平坦化層係包含一中介體、一彈性介電層、一平坦化的剛性介電層、複數個孔洞、以及一延伸在該複數個孔洞之內的導電膏。在一實施例中，該些方法係包含製造該空間變換器組件之方法。在另一實施例中，該些方法包含平坦化一空間變換器之方法。
Abstract in simplified Chinese: 空间变换器、用于空间变换器的平坦化层、制造空间变换器的方法、以及平坦化空间变换器的方法系在此被揭示。在一实施例中，该些空间变换器系包含一空间变换器组件，其系包含一第一刚性空间变换器层、一第二刚性空间变换器层、以及一延伸在该第一刚性空间变换器层以及该第二刚性空间变换器层之间的附接层。在另一实施例中，该空间变换器系包含一空间变换器主体以及一弯曲电缆线组件。该平坦化层系包含一中介体、一弹性介电层、一平坦化的刚性介电层、复数个孔洞、以及一延伸在该复数个孔洞之内的导电膏。在一实施例中，该些方法系包含制造该空间变换器组件之方法。在另一实施例中，该些方法包含平坦化一空间变换器之方法。
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公开(公告)号：TW201800764A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106117892
申请日：2017-05-31
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 施曼 傑 , SALMON, JAY , 斯沃特 羅伊E , SWART, ROY E. , 劉 布蘭登 , LIEW, BRANDON
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R1/07378
Abstract: 探針頭組件以及用於測試積體電路裝置的探針系統係在此被揭示。在一實施例中，該些探針頭組件係包含一接觸結構以及一空間變換器組件。在另一實施例中，該些探針頭組件係包含一接觸結構、一懸吊系統、一彎曲電纜線介面、以及一空間變換器，其係包含一空間變換器主體以及一彎曲電纜線組件。在另一實施例中，該些探針頭組件係包含一接觸結構、一空間變換器、以及一平坦化層。在另一實施例中，該些探針頭組件係包含一接觸結構、一空間變換器、一懸吊系統、一平台、一印刷電路板、第一複數個信號導體，其係被配置以在該空間變換器的外部傳遞第一複數個信號、以及第二複數個信號導體，其係被配置以經由該空間變換器來傳遞第二複數個信號。該些探針系統係包含該些探針頭組件。
Abstract in simplified Chinese: 探针头组件以及用于测试集成电路设备的探针系统系在此被揭示。在一实施例中，该些探针头组件系包含一接触结构以及一空间变换器组件。在另一实施例中，该些探针头组件系包含一接触结构、一悬吊系统、一弯曲电缆线界面、以及一空间变换器，其系包含一空间变换器主体以及一弯曲电缆线组件。在另一实施例中，该些探针头组件系包含一接触结构、一空间变换器、以及一平坦化层。在另一实施例中，该些探针头组件系包含一接触结构、一空间变换器、一悬吊系统、一平台、一印刷电路板、第一复数个信号导体，其系被配置以在该空间变换器的外部传递第一复数个信号、以及第二复数个信号导体，其系被配置以经由该空间变换器来传递第二复数个信号。该些探针系统系包含该些探针头组件。
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公开(公告)号：TW201736854A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：TW106110833
申请日：2017-03-30
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 麥克穆倫 提姆 艾倫 , MCMULLEN, TIMOTHY ALLEN , 雪普勒 傑夫 艾倫 , SHEPLER, JEFFERY ALLAN , 范德 吉爾森 肯特 , VANDER GIESSEN, CLINT
CPC classification number: G01R31/003 , G01R31/2863 , G01R31/2874
Abstract: 本發明揭示用於在延伸溫度範圍上之晶圓級測試的探針系統、儲存媒體和方法。所述方法係配置以測試出現在一基板上的複數個待測裝置(DUT)。所述探針系統係程式化以執行所述方法。所述儲存媒體包括電腦可讀取指令其指示一探針系統以執行所述方法。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示用于在延伸温度范围上之晶圆级测试的探针系统、存储媒体和方法。所述方法系配置以测试出现在一基板上的复数个待测设备(DUT)。所述探针系统系进程化以运行所述方法。所述存储媒体包括电脑可读取指令其指示一探针系统以运行所述方法。
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公开(公告)号：TW201725394A
公开(公告)日：2017-07-16
申请号：TW105108954
申请日：2016-03-23
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 波爾特 布萊恩 康瑞德 , BOLT, BRYAN CONRAD , 佛蘭克爾 約瑟夫 喬治 , FRANKEL, JOSEPH GEORGE
CPC classification number: G01R1/06794 , G01R31/2891
Abstract: 具有基準標記之探針、包含該等探針的探針系統、以及相關方法。該等探針包含一傳動杆部分和一探針針頭，該探針針頭被組構成用以接觸一待測裝置(device under test；DUT)，且另包含一基準標記，形成於所述傳動杆部分之上，被組構成用以促成探針與DUT之對齊。該基準標記被組構成可被一光學組件看見，且在該光學組件的一景深之內落入該光學組件的成焦範圍，其中該光學組件之該景深小於該傳動杆部分在其上落入該光學組件成焦範圍的一景深。所述方法包含使用及/或製造該等探針的方法。
Abstract in simplified Chinese: 具有基准标记之探针、包含该等探针的探针系统、以及相关方法。该等探针包含一传动杆部分和一探针针头，该探针针头被组构成用以接触一待测设备(device under test；DUT)，且另包含一基准标记，形成于所述传动杆部分之上，被组构成用以促成探针与DUT之对齐。该基准标记被组构成可被一光学组件看见，且在该光学组件的一景深之内落入该光学组件的成焦范围，其中该光学组件之该景深小于该传动杆部分在其上落入该光学组件成焦范围的一景深。所述方法包含使用及/或制造该等探针的方法。
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公开(公告)号：TWI534444B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW102140257
申请日：2013-11-06
Applicant: 加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
Inventor： 巴克 丹尼爾M , BOCK, DANIEL M. , 史密斯 肯尼斯R , SMITH, KENNETH R.
CPC classification number: G01R31/31715 , G01R31/28
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