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公开(公告)号：CN201665703U
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201020140647.1
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 本实用新型公开了一种蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置,一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本实用新型蒸镀腔体机构强度高，成本低并且轻便；另，本实用新型还提供了一种具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置。
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公开(公告)号：CN201639063U
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201020140627.4
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种密封式供电装置，适用于安装在真空腔体上以对所述真空腔体的内部供电，所述密封式供电装置包括绝缘体和导电体，所述绝缘体包括主绝缘体及由所述主绝缘体下端向外侧延伸而成的绝缘体凸台，所述导电体包括主导电体及从所述主导电体向外延伸而成的导电体凸台，所述真空腔体上开设有绝缘体安装孔，所述绝缘体上开设有导电体安装孔，所述绝缘体安装于所述绝缘体安装孔上并紧贴所述绝缘体安装孔的内壁，所述导电体套于所述导电体安装孔内并紧贴所述导电体安装孔的内壁，所述绝缘体凸台和所述导电体凸台通过紧固螺钉紧密地固定于所述真空腔体上。本实用新型密封式供电装置结构简单、密封性较好且安全性能较高。
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公开(公告)号：CN201638797U
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201020150373.4
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型提供一种缓冲装置，包括密封腔、工件传动单元及真空度控制单元，密封腔呈水平放置，密封腔的右侧面开设有工件进口，工件进口处设置有工件进口阀门，密封腔的左侧面开设有工件出口，工件出口处设置有工件出口阀门；工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于密封腔体内的若干传动滚轮，传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间，滚轮驱动装置驱动传动滚轮转动；真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度测量仪器，气管与密封腔连通且气管具有进气分管及出气分管，进气阀门装设于进气分管上，出气阀门装设于出气分管上。本实用新型能够很好的防止真空连续生产线上因交叉污染而造成的工件良品率下降的问题。
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公开(公告)号：CN201634054U
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201020140637.8
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B65D53/02
Abstract: 本实用新型公开了一种多层密封装置，适用于对真空腔体的腔体口与腔盖的连接进行密封，包括若干橡胶密封圈，正对腔盖的真空腔体处开设有环绕腔体口的容置槽，橡胶密封圈一一对应的收容于容置槽内且凸出容置槽，相邻的容置槽之间开设有正对腔盖的冷却槽，冷却槽内一一对应的收容呈中空结构的冷却管，真空腔体的侧壁上还开设有抽气通道，抽气通道的一端与外部抽真空设备连通，抽气通道的另一端分别与冷却槽连通。本实用新型的目的在于提供一种结构简单紧凑、防渗漏性能好且使用寿命长的具有多层密封效果的多层密封装置。
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公开(公告)号：CN201699058U
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201020150364.5
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56
Abstract: 本实用新型提供了一种自动剥离回收装置，用于对有机发光二极管行业中干燥片的剥离与干燥片带的回收，自动剥离回收装置包括基座、驱动机构、干燥片带盘、回收带盘、剥离机构以及回收机构，干燥片带盘、回收带盘、回收机构及剥离机构安装于基座上，驱动机构驱动干燥片带盘转动贴有干燥片的干燥片带，驱动机构驱动回收带盘旋转回收被剥离干燥片后的干燥片带；剥离机构包括依次排列于干燥片带盘之后的第一导向轮、第一张紧轮及剥离部件，干燥片带盘，剥离部件包括至少一个适用于剥离所述干燥片的剥离导轮；回收机构包括依次排列于剥离导轮与回收带盘之间的第二导向轮和第二张紧轮。本实用新型还提供了一种具有该自动剥离回收装置的封装设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN201689873U
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201020188748.6
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01L51/56
Abstract: 本实用新型公开了一种气体环境过渡设备，设于两个不同气体环境设备之间以将基片从第一气体环境设备过渡到第二气体环境设备，包括控制装置、传感器、真空室、连接所述真空室与第一气体环境设备的第一闸阀、连接真空室与第二气体环境设备的第二闸阀、设于真空室内的传输机构及与真空室连通的抽气充气机构，该控制装置分别与第一闸阀、第二闸阀、传感器及抽气充气机构电连接，该控制装置控制第一闸阀打开并控制传输机构将基片送入真空室，传感器检测基片完全进入真空室内并通过控制装置控制第一闸阀关闭及传输机构停止传输所述基片，同时控制装置控制抽气充气机构对真空室依次进行抽气和充气，直到真空室的气压与第二气体环境设备内的压力相同后，控制装置控制第二闸阀打开并控制传输机构将所述基片送出真空室。
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公开(公告)号：CN201654448U
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201020150362.6
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G03F1/00
Abstract: 本实用新型提供了一种掩膜存储清洗设备，包括腔体、输送装置、装载盒、升降装置、控制装置、抽真空装置及离子清洗器。腔体开设有工作腔、第一通口和第二通口。输送装置的输送件收容于工作腔内，且其后端与第二通口对接。装载盒的装载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且装载框体的后端开设有传输口。升降装置驱动装载盒沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与输送件对接。控制装置控制升降装置驱动装载盒的存储槽逐一与输送件的前端对接。抽真空装置为腔体的工作腔提供真空环境。离子清洗器对装载盒内的掩膜进行清洗。本实用新型能集掩膜存储和清洗于一体以提高生产效率。
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公开(公告)号：CN201647933U
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201020140619.X
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种手动升降平台，包括支撑架、传动机构、滑动机构及升降支架，传动机构包括第一传动组件、第二传动组件、设于支撑架上的固定座、及穿过固定座且两端分别固定连接第一传动组件和第二传动组件的传动轴，第一传动组件包括穿过支撑架并与支撑架枢接的手柄、固定连接手柄的一端的蜗杆及固定连接于传动轴的一端并与蜗杆啮合的蜗轮，第二传动组件包括垂直设于升降支架上的齿条及固定连接于传动轴的另一端并与齿条啮合的齿轮；滑动机构包括设于支撑架上并与齿条平行的导轨及设于升降支架上并与导轨滑动卡接的滑块。所述手动升降平台升降平稳、安全可靠、升降精度高且行程大，使用时没有噪音且不会污染环境，同时结构简单、体积轻巧。
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公开(公告)号：CN201877408U
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201020555915.6
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/68
Abstract: 本实用新型公开了一种平板抓取释放组件，其固定板呈水平放置，驱动气缸与固定板固定连接，驱动气缸的连杆与内抓手驱动板连接，内抓手驱动板及外抓手驱动板均呈滑动的连接于固定板上且相互平行，内抓手驱动齿条呈垂直的与内抓手驱动板固定连接，外抓手驱动齿条呈垂直的与外抓手驱动板固定连接，齿轮枢接于固定板上且位于内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条之间，内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条分别与齿轮啮合，外抓手凸伸出与外抓手驱动板固定连接，内抓手凸伸出与内抓手驱动板固定，凸伸出的外抓手与内抓手之间形成平板夹持区。本实用新型的内外抓手能够同时移动，快速抓取及释放平板。
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公开(公告)号：CN201825559U
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201020555910.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种对基片承载盒传输和变向的旋转式平台传输设备，包括机架、垂直升降机构及承载平台。机架具有移动腔，垂直升降机构包括导向件、垂直驱动组件、推动件、下升降板和上升降板。垂直驱动组件设于机架上，其输出端与下升降板连接，下升降板收于移动腔内。导向件上端与机架上端固定，下端滑动穿过下升降板。推动件下端与下升降板固定，上端滑动穿过机架并与上升降板固定，导向件与推动件均与下升降板垂直。承载平台包括承载基片承载盒的底板，底板与上升降板平行且呈转动的连接。垂直驱动组件通过下升降板和推动件带动底板上下移动，底板受水平力时可在上升降板上转动实现变向。本实用新型能提高基片传输质量及精度并降低传输成本。
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