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公开(公告)号：CN101639488B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200910075247.9
申请日：2009-08-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法，具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式，方便产品研发，改善产品整体性能，步骤如下：1、微加速度计于温度应力下的强化测试步骤；2、微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤；3、微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力，了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况，以便解决微加速度计的缺陷，提高微加速度计的整体性能、可靠性，利于高可靠性微加速度计新产品开发。
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公开(公告)号：CN102095489A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010582248.5
申请日：2010-12-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器用抗流噪声型敏感体。解决了现有矢量水听器抗流噪声能力弱的问题，包括用于敏感水声信号的敏感结构，敏感结构由双框结构支撑固定，双框结构包含外框、内框，内框的两正对边框分别通过折叠式弹簧与外框连接固定；敏感结构悬置于内框内，敏感结构半导体框架的两正对边框分别通过折叠式弹簧与内框连接固定，敏感结构半导体框架与内框间折叠式弹簧的伸缩方向、及外框与内框间折叠式弹簧的伸缩方向呈垂直关系。结构合理、紧凑，应用了芯片级减振弹簧，使得矢量水听器抑制流噪声的能力大为增强，探测距离延长，并能一次集成加工完成，一致性好，性能更加优异，更能适应水下恶劣的环境。
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公开(公告)号：CN101359804B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200810079409.1
申请日：2008-09-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于微型光电子技术器件制造领域，具体为一种掺铒环形微腔激光器。解决了平面环形微腔在激光器上的应用问题。其特征在于：制造方法为，(1)制作平面环形微腔和制作锥形光纤，微环的大小为外径120μm、内径100μm，锥形光纤的锥区直径为5μm，微环的厚度为2μm，(2)锥形光纤耦合：锥形光纤和硅微环腔的耦合距离为0.5μm形成掺铒环形微腔激光器。本发明制作成了微腔激光器，它实现了对光的控制。本发明低阈值的特性减小了对泵浦光的限制，实现了低功耗从而克服了功耗过大引起的硅环变形的缺陷。加工工艺比硅球微腔激光器的可控性要高很多，相比以前的微腔激光器可实施性大大提高。
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公开(公告)号：CN101539127B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910074195.3
申请日：2009-04-15
Applicant: 中北大学
IPC: F03H99/00
Abstract: 本发明涉及微胶体推进器，具体是一种基于MEMS技术的微型阵列式胶体推进器。实现了胶体推进器的微型化、微推力，解决了喷射极喷头供液、喷射控制不易等问题，包括喷射极、抽取极、玻璃支撑框体，喷射极的基板上刻蚀有若干按列设置的管状喷头，喷射极的基板上刻蚀有若干相互平行的条状刻蚀槽，条状刻蚀槽内仅设置一列管状喷头，各刻蚀槽槽底及其内管状喷头顶部溅射有铝层，各刻蚀槽一端分别设有与其槽底铝层连通的接线柱，管状喷头输液通道内采用HF刻蚀工艺加工为多孔硅结构；抽取极为栅栏状，其条形栅缝与喷射极的刻蚀槽正对设置。具有性能稳定、对准精度高、便于加工、供液喷射易于控制等优点，能实现分批控制喷头喷射的目的。
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公开(公告)号：CN101567120B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200910074252.8
申请日：2009-04-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及瓦斯检测领域，具体是一种便携式红外瓦斯报警仪。解决了现有瓦斯红外检测装置的灵敏度和精度未能达到理想的要求等问题，该报警仪包括置于盒体内的检测单元、信号处理电路，盒体上设有功能按钮、显示屏、报警器、报警指示灯，盒体上开有与检测单元正对的通气孔；检测单元为内置有红外光源、红外探测器的集气罐，集气罐包含侧壁上开有通孔的筒体、分别固定于筒体两端的端盖，端盖的内表面为凹镜镜面，红外光源、红外探测器分别通过支撑体与两端盖的内表面固定，并处于端盖内表面凹镜镜面的焦点位置。检测单元结构简单、合理、紧凑，便于加工，便于随身携带，整个报警仪的灵敏度高、响应速度快、稳定性好、测量精度高，应用范围广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101949712A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010274552.3
申请日：2010-09-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及陀螺惯性器件，具体是一种关于光学陀螺效应验证的简易结构。本发明解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题。一种关于光学陀螺效应验证的简易结构包括中空转台、固定于中空转台表面圆心处的环形谐振腔、以及与环形谐振腔耦合的双波导；双波导贯穿中空转台表面，中空转台的上下两侧分别设有三通道光纤旋转互连装置和四通道光纤旋转互连装置。本发明有效解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题，适于作为惯导系统中的核心部件。
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公开(公告)号：CN101105503B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200710062037.7
申请日：2007-06-02
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种测量误差修正方法，具体是一种捷联式惯导测量组合中加速度计装配误差标量修正方法。解决了现有微惯性测量组合误差补偿方案未考虑安装位置误差、且不适用所有类型加速度计的问题，该方法同时考虑安装方位误差与安装位置误差，既适合3陀螺3加速度计又适合全加速度计阵列；并能对微惯性测量组合MIMU中任何一只加速度计进行单独补偿，计算量小，补偿精度高。
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公开(公告)号：CN101858745A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010210155.X
申请日：2010-06-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺，包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器；所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层，利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成；所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层，应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上；其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状，所述输入光栅，通过分光隔离器，输入和输出光波导与环形谐振腔，输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量，可应用于小卫星甚至微型卫星中。
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公开(公告)号：CN1932444B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610048389.2
申请日：2006-09-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为适用于高速旋转体的姿态测量方法，涉及旋转体的姿态测量方法。本发明解决现有载体姿态测量方法无法适用于轴向高速旋转载体的问题。该测量方法是在载体上安装测量轴分别与载体坐标系的纵轴、横轴、竖轴相重合的三个加速度计Ax、Ay、Az和测量轴分别与横轴、竖轴相重合的两个速率陀螺仪Gy、Gz；在载体上还安装有测量轴与横轴的负方向相重合的辅助加速度计A′y；高速旋转体纵轴的角速度ωx由如下计算表达式求得：后续的姿态解算与导航解算便可借助捷联惯性导航系统中的相关理论和方法完成。该方法可实现高速旋转体的姿态测量。
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公开(公告)号：CN101701971A
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200910075807.0
申请日：2009-10-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01R1/20
Abstract: 本发明涉及电子测试领域，具体是一种高精度多通道模拟信号源。满足了当前电子测试领域对模拟信号源的需要。所述模拟信号源包括逻辑控制单元、存储器、波形输出电路，波形输出电路包含D/A转换电路、信号调理电路、多通道切换开关、若干路模拟信号输出模块；波形输出电路输出端与逻辑控制单元之间设有回采测试电路。本发明能独立输出直流量、矩形波等波形模拟信号，能为被测设备的性能测试提供多种波形的高精度模拟信号，直流量信号输出精度可以达到±0.05％FS，矩形波上升沿建立时间小于200ns，满足对航空航天遥测设备——遥测采编器等高端电子产品进行通道带宽测试时的需要，且结构简单、合理，性能稳定，信号有效性和可靠性极高。
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