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公开(公告)号：KR1019980026595A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960045095
申请日：1996-10-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 청정실내의 대기풍속에 대응하여 최적의 파티클 측정을 할 수 있도록 개선된 파티클 카운터가 개시되어 있으며, 샘플링 프로브와 카운터 본체를 구비하여 공기중의 파티클수를 계수하는 파티클 카운터에 있어서, 샘플링 공기를 흡입하는 상기 샘플링 프로브의 취입구의 단면적이 순차적으로 증감하며 동일한 형상을 갖는 복수개의 뿔대가 프로브의 전체 길이가 연장 또는 단축이 가능하도록 상호 삽입되는 형태로 구성된다.
따라서, 다양한 대기풍속에 대하여 최적의 측정을 손쉽고 용이하게 수행할 수 있다는 효과가 있다.
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