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公开(公告)号：KR101049220B1
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：KR1020080034300
申请日：2008-04-14
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명에 따른 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법은 원통 형상의 몸체에 알루미늄층을 도포하는 단계와, 상기 알루미늄층을 양극 산화 시켜서 상기 알루미늄층에 미세 패턴을 갖는 패턴 형성 단계와, 에칭에 의하여 상기 미세 패턴을 상기 몸체로 전사하는 전사 단계, 및 상기 알루미늄층을 상기 몸체에서 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
임프린트 리소그래피, 스탬프, 양극산화, 알루미늄Abstract translation: 目的：通过氧化圆柱体的表面并产生卷状的印模，提供了用于印刷光刻的印模的制造方法以形成图案。 构成：用于生产用于压印光刻的印模的方法包括：将铝层施加到圆柱体（110）上的步骤; 氧化铝层以形成微图案的步骤; 一步蚀刻体; 以及从身体隔离铝层的步骤。
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公开(公告)号：KR101042385B1
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090069633
申请日：2009-07-29
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 저밀도 패터닝 방법을 이용하여 고밀도의 나노 패턴 및 복합 패턴을 형성할 수 있는 고밀도 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 고밀도 미세 패턴 형성 방법은, 기판 위에 제1 고분자 패턴을 형성하는 단계와, 기판과 제1 고분자 패턴 위로 제1 패턴 대상물을 도포하는 단계와, 제1 고분자 패턴을 리프트-오프시켜 제1 미세 패턴을 형성하는 단계와, 기판 위에 제2 고분자 패턴을 형성하는 단계와, 기판과 제2 고분자 패턴 위로 제2 패턴 대상물을 도포하는 단계와, 제2 고분자 패턴을 리프트-오프시켜 제2 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 제2 고분자 패턴은 제1 고분자 패턴과 다른 위치에 형성된다.
고분자패턴, 미세패턴, 나노패턴, 복합패턴, 리프트오프, 임프린트, 포토리소그래피-
公开(公告)号：KR1020110030740A
公开(公告)日：2011-03-24
申请号：KR1020090088302
申请日：2009-09-18
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A resin composition for preparing a reversal imprint mold is provided to ensure excellent durability of nano patterns, to facilitate the manufacture of a reversal imprint mold with a high resolution of 50nm or less, and to increase a transcription rate of a polymer resin thin film or pattern due to uniform contact with a substrate. CONSTITUTION: A resin composition for preparing a reversal imprint mold includes 10 ~ 30 weight% of a photoreactive polymer, 60 ~ 90 weight% of a photoreactive monomer, and 1 ~ 10 weight% of photoinitiator, wherein the viscosity of the reversal imprint mold is 5 ~ 1000 cp. The resin composition further includes 1 ~ 50 parts by weight of release agent based on 100 parts by weight of the sum of three kinds of components.
Abstract translation: 目的：提供用于制备反转印模的树脂组合物，以确保纳米图案的优异的耐久性，以便于制造具有50nm以下的高分辨率的反转印模，并提高聚合物树脂薄片的转录速度 由于与基板的均匀接触，膜或图案。 构成：用于制备反转印模的树脂组合物包括10〜30重量％的光反应性聚合物，60〜90重量％的光反应性单体和1〜10重量％的光引发剂，其中反转印模具的粘度为 5〜1000 cp。 基于100重量份的三种成分的总和，树脂组合物还包含1〜50重量份的脱模剂。
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公开(公告)号：KR1020110012083A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020090069633
申请日：2009-07-29
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/0035 , G03F7/2022 , G03F7/70466 , H01L21/0331
Abstract: PURPOSE: A high density fine pattern forming method is provided to easily form the complex pattern of various shapes on a large substrate by repeating the low density patterning process without using expensive apparatus. CONSTITUTION: A first polymer pattern(12) is formed on a substrate(10). A first pattern objects(14) is spread on the substrate and the first polymer pattern. A first polymer pattern is formed by lifting off the first polymer pattern. A second polymer pattern(18) is formed on the substrate. A second pattern objects(20) is spread on the substrate and the second polymer pattern.
Abstract translation: 目的：提供高密度精细图案形成方法，通过重复低密度图案化工艺而不使用昂贵的装置，在大的基板上容易地形成各种形状的复杂图案。 构成：第一聚合物图案（12）形成在基底（10）上。 第一图案对象（14）被扩散在基板和第一聚合物图案上。 通过剥离第一聚合物图案形成第一聚合物图案。 在基板上形成第二聚合物图案（18）。 第二图案对象（20）被扩散在基板和第二聚合物图案上。
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公开(公告)号：KR1020110002705A
公开(公告)日：2011-01-10
申请号：KR1020090060308
申请日：2009-07-02
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , H01L21/0331
Abstract: PURPOSE: A method for forming a fine pattern is provided to increase the density of the fine pattern by repeating a process forming an additional pattern in a space between adjacent patterns which are formed through a preceding process. CONSTITUTION: A polymer pattern(12) is formed on a substrate(10) based on thermoplastic polymer resin. A space with a first gap between adjacent polymer patterns is maintained. The polymer pattern is heated to form a polymer mold(14) with a second gap. The second gap is narrower than the first gap. An object to be patterned(16) is applied on the polymer mold and the substrate. The polymer mold is lifted off, and a fine pattern(18) is formed.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成精细图案的方法，通过在通过前述工艺形成的相邻图案之间的空间中重复形成附加图案的工艺来增加精细图案的密度。 构成：聚合物图案（12）基于热塑性聚合物树脂形成在基底（10）上。 维持相邻聚合物图案之间具有第一间隙的空间。 聚合物图案被加热以形成具有第二间隙的聚合物模具（14）。 第二个差距比第一个差距窄。 将待图案化的物体（16）施加在聚合物模具和基底上。 提起聚合物模具，形成精细图案（18）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100976866B1
公开(公告)日：2010-08-23
申请号：KR1020080120670
申请日：2008-12-01
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명에 따른 유기 발광 표시장치는 이미지 번짐 현상을 방지하고 광효율을 향상시키기 위하여 애노드 전극, 캐소드 전극 및 상기 애노드 전극과 상기 캐소드 전극 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하는 발광부, 및 상기 발광부 상에 위치하며, 불규칙적인 나노 패턴을 갖는 반사 방지 필름을 포함한다.
유기 발광, 반사 방지 필름, 나노 패턴, 불규칙-
公开(公告)号：KR1020100088866A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：KR1020090007999
申请日：2009-02-02
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A high efficient quantum-based light emitting device and a method for manufacturing the same are provided to improve the combination possibility of electrons and holes by forming a nano-pattern with fine concavo=convex structures on the light emitting diode layer which is composed of nano-quantum-dots. CONSTITUTION: A hole-transferring layer(20) is formed in a first electrode(10). A pre-set thickness of the quantum-dot layer is formed on the hole-transferring layer. The nano-quantum-dot layer is pattern to form a light emitting layer(30a) which is composed of a plurality of nano-patterns(31) with fine concavo-convex structure. A second electrode layer(40) is formed on the light emitting layer.
Abstract translation: 目的：提供一种高效量子基发光器件及其制造方法，以通过在组成的发光二极管层上形成具有细小凹凸结构的纳米图案来改善电子和空穴的组合可能性 的纳米量子点。 构成：在第一电极（10）中形成空穴转移层（20）。 在空穴转移层上形成量子点层的预设厚度。 纳米量子点层是形成由多个具有精细凹凸结构的纳米图案（31）组成的发光层（30a）的图案。 在发光层上形成第二电极层（40）。
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公开(公告)号：KR100970265B1
公开(公告)日：2010-07-16
申请号：KR1020080127249
申请日：2008-12-15
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명에 따른 유기 발광 표시장치는 광효율을 향상시킬 수 있도록 상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치는 제1 전극과, 상기 제1 전극에 대향하도록 배치된 제2 전극과, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하는 발광부, 및 상기 제1 전극과 상기 발광부 사이에 배치되어 나노 패턴을 형성하며, 표면 플라즈몬 공명을 갖는 금속 나노 입자를 포함한다.
유기 발광, 플라즈몬, 금속 나노 입자, 금속 나노층, 나노 패턴-
公开(公告)号：KR1020100068777A
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：KR1020080127249
申请日：2008-12-15
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H01L21/3142 , B82Y20/00 , B82Y30/00 , H01L2251/558
Abstract: PURPOSE: A metal nano particle having organic light emitting diode and manufacturing method thereof silver surface plasma having surface plasma resonance structure is formed between the anode electrode and lighting-emitting area. CONSTITUTION: A first electrode(120) is formed on the transparent substrate(110). A second electrode(160) is arranged in order to face with the first electrode. A lighting-emitting area(130) comprises the organic light-emitting layer locating between the first electrode and the second electrode. A metal nano particle(170) locates between the first electrode and lighting-emitting area. The metal nano particle has the surface plasma resonance.
Abstract translation: 目的：在阳极电极和发光区域之间形成具有有机发光二极管的金属纳米颗粒及其表面等离子体共振结构的银表面等离子体的制造方法。 构成：在透明基板（110）上形成第一电极（120）。 布置第二电极（160）以便与第一电极相对。 发光区域（130）包括位于第一电极和第二电极之间的有机发光层。 金属纳米颗粒（170）位于第一电极和发光区域之间。 金属纳米颗粒具有表面等离子共振。
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公开(公告)号：KR1020100058019A
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：KR1020080116668
申请日：2008-11-24
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B32B37/10 , B32B38/04 , B32B2255/10 , B32B2255/26 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of an ultraviolet control film using a nano pattern, and products using thereof are provided to improve ultraviolet transmission deterrent effect under 400nm wavelength using the nano pattern, and to maintain the transparency of the film. CONSTITUTION: A manufacturing method of an ultraviolet control film using a nano pattern comprises the following steps: forming a resin layer by spraying a resin on the upper side of a polymer substrate(S1); pressing the resin layer with a nano pattern engraved stamp(S2); and transcripting the nano pattern on the substrate by curing the resin layer(S3). The curing process of the resin layer is performed by adding heat or radiating ultraviolet rays.
Abstract translation: 目的：提供使用纳米图案的紫外线控制膜的制造方法及其使用的产品，以使用纳米图案提高400nm波长下的紫外线透射阻止效果，并保持膜的透明性。 构成：使用纳米图案的紫外线控制膜的制造方法包括以下步骤：通过在聚合物基材的上侧喷涂树脂来形成树脂层（S1）; 用纳米图案刻印树脂层（S2）; 并通过固化树脂层在基片上转录纳米图案（S3）。 树脂层的固化过程通过加热或辐射紫外线进行。
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