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公开(公告)号：KR1020100027456A
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：KR1020080086389
申请日：2008-09-02
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a biosensor having a nano-gap is provided to form pattern having different materials at three sides and simplify manufacturing process. CONSTITUTION: A method for manufacturing a biosensor comprises: a step of forming a semiconductor layer for applying the semiconductor layer on a substrate; a step of forming a metal layer for applying the metal layer on the semiconductor layer; a step of forming a resist layer for applying the resist layer on the metal layer; a step of multi-stage patterning to form pattern containing a first protrusion and second protrusion; a step of etching; and a step of dopping the silicon layer with impurities.
Abstract translation: 目的：提供一种制造具有纳米间隙的生物传感器的方法，以在三面形成具有不同材料的图案，并简化制造工艺。 构成：生物传感器的制造方法，包括：在基板上形成用于将半导体层涂敷的半导体层的工序; 在所述半导体层上形成用于施加所述金属层的金属层的工序; 形成用于在金属层上施加抗蚀剂层的抗蚀剂层的步骤; 多级图案化以形成包含第一突起和第二突起的图案的步骤; 蚀刻步骤 以及用杂质掺杂硅层的步骤。
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公开(公告)号：KR100928330B1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：KR1020080040865
申请日：2008-04-30
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A transparent substrate and a manufacturing method thereof are provided to prevent the reflection of emitted light by forming a anti-reflection nano patterns at both sides of a main substrate. CONSTITUTION: A transparent substrate(200) comprises a main substrate(210) which is faced with a light source. The main substrate comprises the first surface facing the light source and the second surface facing the first surface. Nano-patterns(213,215) for preventing the reflection of light are arranged on the first and second surfaces and consist of a plurality of protrusions. The nano patterns have a pitch of 20 to 500nm. An ITO(Indium Tin Oxide) substrate(230) is attached to the first side of the substrate.
Abstract translation: 目的：提供透明基板及其制造方法，以通过在主基板的两侧形成抗反射纳米图案来防止发射光的反射。 构造：透明基板（200）包括面对光源的主基板（210）。 主基板包括面向光源的第一表面和面向第一表面的第二表面。 用于防止光反射的纳米图案（213,215）布置在第一和第二表面上并且由多个突起组成。 纳米图案的间距为20至500nm。 ITO（氧化铟锡）衬底（230）附着到衬底的第一侧。
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公开(公告)号：KR100923249B1
公开(公告)日：2009-10-27
申请号：KR1020070135567
申请日：2007-12-21
IPC: H01L23/488
CPC classification number: H05K3/3457 , B23K1/0016 , B23K3/0638 , H01L21/6835 , H01L24/742 , H01L2224/11003 , H01L2924/01006 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01093 , H05K2203/0113 , H05K2203/0126 , H05K2203/0338
Abstract: 템플릿의 캐버티들에 용융된 솔더를 주입하는 방법 및 이를 수행하기 위한 장치에 있어서, 프로세스 챔버 내에는 상기 용융된 솔더를 제공하기 위한 노즐이 배치되며, 상기 노즐은 상기 템플릿의 표면 부위에 접촉된다. 상기 프로세스 챔버 내부의 압력은 노즐 내부의 압력보다 낮게 조절되며, 구동부는 상기 템플릿과 상기 노즐 사이에서 상대적인 미끄러짐 운동을 발생시킨다. 따라서, 상기 용융된 솔더는 상기 프로세스 챔버와 상기 노즐 사이의 차압 및 상기 상대적인 미끄러짐 운동에 의해 상기 템플릿의 캐버티들에 순차적으로 주입될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090067791A
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：KR1020070135567
申请日：2007-12-21
IPC: H01L23/488
CPC classification number: H05K3/3457 , B23K1/0016 , B23K3/0638 , H01L21/6835 , H01L24/742 , H01L2224/11003 , H01L2924/01006 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01093 , H05K2203/0113 , H05K2203/0126 , H05K2203/0338
Abstract: A method for injecting melted solder and an apparatus for implementing the same are provided to include a nozzle having an improved structure in order to inject the molten solder into cavities of a template. Molten solder(10) is injected into cavities of a template(20). The template has inner space which is tightly sealed. A plurality of cavities are formed on the surface of the template. A nozzle(110) is contacted with the surface of the template and provides the template with molten solder. The molten solder is sequentially injected into the cavities.
Abstract translation: 提供了熔融焊料的注入方法及其实施方法，其特征在于，包括具有改善结构的喷嘴，以便将熔融焊料注入到模板的空腔中。 将熔融焊料（10）注入模板（20）的空腔中。 模板具有密封密封的内部空间。 在模板的表面上形成多个空腔。 喷嘴（110）与模板的表面接触并向模板提供熔融焊料。 将熔融的焊料顺序地注入腔中。
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公开(公告)号：KR100894736B1
公开(公告)日：2009-04-24
申请号：KR1020070084558
申请日：2007-08-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명은 롤가압 및 연속수지도포가 가능한 대면적 임프린트장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 중심축을 갖으며 롤러지지대에 의해 지지되어 회전운동하는 두 개의 롤러와, 두 개의 롤러를 연결하도록 체결되며, 상기 몰드를 이송하는 벨트와, 롤러지지대와 수평으로 설치되는 선형지지대에 의해 지지되어 선형운동하는 선형구동부와, 하나의 롤러와 근거리 이격되어 수지를 공급하는 노즐, 및 수지의 잔류층을 최소화하는 간격으로 몰드와 일정간격 이격되어 상기 노즐로부터 도포되는 수지량을 조절하는 블레이드를 포함한다. 따라서, 본 발명은 대면적 기판에 균일한 압력 전달을 용이하게 하고, 고점성 수지의 적용 시에도 패턴전사 및 잔류층 두께의 균일성을 확보할 수 있는 효과를 제공한다.
대면적, 임프린팅, 롤가압, 연속수지도포-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070042309A
公开(公告)日：2007-04-23
申请号：KR1020050098080
申请日：2005-10-18
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명은 미세 임프린트 리소그래피 공정 기술에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 UV 미세임프린트 리소그래피 공정기술이나, 가열방식의 미세임프린트 리소그래피 공정기술에 사용되는 스탬프와 이 스탬프의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 스탬프 제조방법은, 기판 위에 다이아몬드상 카본(DLC, diamond-like carbon) 박막을 증착하는 단계와, 상기 다이아몬드상 카본 박막 위에 레지스트를 도포하는 단계와, 상기 레지스트를 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 레지스트를 보호막으로 하여 상기 다이아몬드상 카본 박막을 에칭하는 단계, 및 상기 레지스트를 제거하는 단계를 포함한다.
미세임프린트 리소그래피, 다이아몬드상 카본필름, 친수성, 소수성Abstract translation: 本发明涉及一种印章和UV压印光刻工艺技术或精细，精细加热方法压印光刻工艺技术涉及制造用于图章在更具体地，微压印光刻工艺技术的方法。
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公开(公告)号：KR100612292B1
公开(公告)日：2006-08-11
申请号：KR1020050023532
申请日：2005-03-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00
Abstract: 대면적의 패턴 복제를 위한 스탬프의 제조를 위하여 본 발명은 디스펜서를 이용하여 기판에 액적을 패터닝하는 단계, 상기 액적을 열이나 빛(가시광선 또는 자외선)을 조사(照査)하여 경화(curing)하는 단계를 포함한다.
디스펜서, 마이크로 렌즈, 대면적 스탬프, 액적Abstract translation: 为了生产邮票对于大面积本发明与包含分配器的图案复制：图案化的液滴到所述基板，所述溶液是发热少，光（可见光或紫外光）照射（照查）硬化（固化） 等等。
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公开(公告)号：KR101827814B1
公开(公告)日：2018-02-12
申请号：KR1020160046280
申请日：2016-04-15
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은나노임프린트방식으로수 나노미터내지수십나노미터크기로패터닝된기능층을다수적층시킴으로써, 고강도이고, 초경량이며, 고기능성인 3차원구조체를쉽고용이하게형성할수 있는나노임프린트방식을이용한 3차원구조체의제조방법에관한것이다. 이를위해나노임프린트방식을이용한 3차원구조체의제조방법은요철부가가공된스탬프를준비하는스탬프준비단계와, 요철부를포함한스탬프에이형층을형성하는이형층형성단계와, 이형층형성단계를거친요철부에기능층을형성하기위해하나이상의재료를수십나노미터내지수백나노미터의크기로형성하는재료형성단계와, 기판상에요철부에형성된재료를적층하는재료적층단계및 재료에압력, 열과압력, 빛과압력중 어느하나를가하여재료를하단의재료에접합시키는기능층고정단계를포함하고, 상술한단계를순차적으로반복실시하여내부에다수의기공이형성되는 3차원구조체를제조할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170119022A
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：KR1020160046280
申请日：2016-04-15
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/00 , G03F7/20 , G03F9/00 , G03F7/0002 , G03F7/0037 , G03F7/70 , G03F9/7042
Abstract: 본발명은나노임프린트방식으로수 나노미터내지수십나노미터크기로패터닝된기능층을다수적층시킴으로써, 고강도이고, 초경량이며, 고기능성인 3차원구조체를쉽고용이하게형성할수 있는나노임프린트방식을이용한 3차원구조체의제조방법에관한것이다. 이를위해나노임프린트방식을이용한 3차원구조체의제조방법은요철부가가공된스탬프를준비하는스탬프준비단계와, 요철부를포함한스탬프에이형층을형성하는이형층형성단계와, 이형층형성단계를거친요철부에기능층을형성하기위해하나이상의재료를수십나노미터내지수백나노미터의크기로형성하는재료형성단계와, 기판상에요철부에형성된재료를적층하는재료적층단계및 재료에압력, 열과압력, 빛과압력중 어느하나를가하여재료를하단의재료에접합시키는기능층고정단계를포함하고, 상술한단계를순차적으로반복실시하여내부에다수의기공이형성되는 3차원구조체를제조할수 있다.
Abstract translation: 通过本发明的一些使用纳米压印法层压用的银纳米压印法图案化，几纳米到几十在尺寸，强度高，重量轻纳米的功能层，和所述三维结构，其能够容易地且容易地形成一个高性能的成人的三维结构 及其制造方法。 使用纳米压印方法来完成这一任务的三维结构的制造方法进行盖章准备阶段，释放层形成工序中，形成含有凹凸的部分的印模eyihyeong层的剥离层形成工序制备冲压凹凸部加工的凹凸 为了形成层叠形成于一种或多种材料数十个方纳米的凸部材料形成工序的材料在材料中，热和压力，光功能层材料层叠工序，和在基板至几百尺寸纳米，并且所述压力 并且它可通过上升到所述三维结构，其包括所述材料结合到底的材料中，通过重复序列中的压力的一个步骤的上述实施方式在其中形成的多个孔中的一个功能层设置步骤来制备。
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公开(公告)号：KR1020160099995A
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：KR1020150022402
申请日：2015-02-13
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01J1/42
Abstract: 본발명의한 실시예에따른자외선검출기는자외선이입사되는광 필터부, 광필터부를통과한자외선을가시광으로변환시키는파장변환부, 가시광의광량을측정하기위한광전변환부를포함하고, 광필터부는복수의나노홀을가지는금속층으로이루어진다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，一种紫外线检测器包括：照射紫外线的滤光单元; 波长转换单元，其将通过所述滤光单元的紫外线转换为可见光; 以及光电转换单元，其测量可见光的辐射强度。 滤光单元由具有多个纳米孔的金属层构成。 因此，本发明能够提高紫外线测定的分辨率，能够定量地测定紫外线。
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