광모드 크기 변환기, 그 제조방법 및 광모드 크기 변환기집적 광검출소자
    82.
    发明授权
    광모드 크기 변환기, 그 제조방법 및 광모드 크기 변환기집적 광검출소자 有权
    点尺寸转换器,制造方法和点尺寸转换器集成光电检测器

    公开(公告)号:KR100471383B1

    公开(公告)日:2005-03-10

    申请号:KR1020020080112

    申请日:2002-12-16

    CPC classification number: G02B6/1228

    Abstract: 본 발명은 광모드 크기 변환기(spot size converter : SSC)를 집적한 광소자와 그 제작 방법에 관한 것으로, SSC 영역의 테이퍼 도파로를 형성할 때 선택적 습식 식각 방법을 사용해서 폭과 두께를 정확히 조절하며, 특히 테이퍼 도파로의 시작부분을 메사 구조 또는 역메사 구조로 형성한다. 이를 통하여 공정 변수를 재현성 있게 조절할 수 있도록 하고, 광정렬을 위한 비용을 절감하고 광결합 효율 및 양자효율을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

    광모드 크기 변환기, 그 제조방법 및 광모드 크기 변환기집적 광검출소자
    83.
    发明公开
    광모드 크기 변환기, 그 제조방법 및 광모드 크기 변환기집적 광검출소자 有权
    SPOT SIZE转换器,其制造方法和点尺寸转换器IC

    公开(公告)号:KR1020040052272A

    公开(公告)日:2004-06-23

    申请号:KR1020020080112

    申请日:2002-12-16

    CPC classification number: G02B6/1228

    Abstract: PURPOSE: A spot size converter, a fabricating method thereof, and a spot size converter IC are provided to enhance the optical coupling efficiency by coupling easily an optical fiber to an optical detection device. CONSTITUTION: A spot size converter includes a semiconductor substrate, a first waveguide, and a second waveguide. The first waveguide(32) is laminated on the semiconductor substrate(31) in order to form a shape of ridge. The first waveguide is coupled to an optical fiber. The second waveguide(33) is formed on the first waveguide. The second waveguide has a tapering structure. The width of the second waveguide is increased to the second waveguide. A starting part of the second waveguide is formed with a mesa structure or an inverse mesa structure.

    Abstract translation: 目的:提供光斑尺寸转换器,其制造方法和光点尺寸转换器IC,以通过将光纤容易地耦合到光学检测装置来提高光耦合效率。 构成:点尺寸转换器包括半导体衬底,第一波导和第二波导。 第一波导(32)层叠在半导体基板(31)上,以形成脊状。 第一波导耦合到光纤。 第二波导(33)形成在第一波导上。 第二波导具有锥形结构。 第二波导的宽度增加到第二波导。 第二波导的起始部分形成有台面结构或逆台面结构。

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