온도 균일화 장치 및 이를 구비한 반도체 제조 장치
    3.
    发明公开
    온도 균일화 장치 및 이를 구비한 반도체 제조 장치 有权
    用于制造温度均匀装置的设备和使用其制造半导体器件的设备

    公开(公告)号:KR1020110040655A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:KR1020100080602

    申请日:2010-08-20

    Inventor: 문석환 김제하

    CPC classification number: H01L21/67098 H01L21/324 H01L21/67248 H01L21/68735

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for making a temperature uniform and equipment for fabricating a semiconductor device using the same are provided to apply a heat spreader driven by a gas-liquid phase change heat transfer mechanism to a device for making a temperature uniform in a semiconductor deposition device, thereby making temperature distribution in the wafer uniform. CONSTITUTION: A chamber(100) provides a vacuum internal condition. A heater(102) is installed in the upper part of the chamber. A holder(105) supports a wafer(104) at a location facing the heater in the chamber. A heat spreader(103) is arranged between the heater and the wafer. The heat spreader makes a heat flux generated in the heater uniform by a gas-liquid phase change.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造温度均匀的装置和用于制造使用其的半导体器件的设备,以将由气液相变传热机构驱动的散热器应用于在半导体沉积设备中使温度均匀的器件 从而使晶片中的温度分布均匀。 构成:室(100)提供真空内部条件。 加热器(102)安装在腔室的上部。 保持器(105)在朝向腔室中的加热器的位置处支撑晶片(104)。 散热器(103)布置在加热器和晶片之间。 散热器使加热器中产生的热通量由气 - 液相变而均匀。

    광증폭 듀플렉서
    4.
    发明授权
    광증폭 듀플렉서 失效
    光学增强电吸收双工器

    公开(公告)号:KR100759805B1

    公开(公告)日:2007-09-20

    申请号:KR1020060014685

    申请日:2006-02-15

    Abstract: 광 증폭기, 광 검출기 및 광 변조기가 모노리식 집적되어 RoF 링크 광전송기술에서 높은 RF 이득을 얻을 수 있는 광증폭 듀플렉서를 제공한다. 그 광증폭 듀플렉서는 기판; 기판 상에 형성된 적어도 1개의 물질층으로 이루어진 제1 에피층으로 형성되고, 제1 광도파로를 포함하는 분리영역; 제1 에피층 상에 형성된 적어도 1개의 물질층으로 이루어진 제2 에피층으로 형성되고, 광신호를 검출하고 변조하며 제2 광도파로를 포함하는 광검출변조부; 및 제2 에피층 상부로 형성된 적어도 1개의 물질층으로 이루어진 제3 에피층으로 형성되고, 광신호를 증폭하며 제2 및 제3 광도파로를 포함하는 광증폭부;를 구비하고, 광증폭부와 광검출변조부는 상기 분리 영역에서 전기적으로 분리되며, 광증폭부가 광검출변조부의 적어도 어느 일측으로 형성된다.
    광증폭 듀플렉서

    광 모듈 및 광 모듈 패키지
    5.
    发明公开
    광 모듈 및 광 모듈 패키지 有权
    光模块和光模块包

    公开(公告)号:KR1020070024115A

    公开(公告)日:2007-03-02

    申请号:KR1020050078708

    申请日:2005-08-26

    Abstract: An optical module and an optical module package are provided to transmit a high frequency signal input from an external circuit to an optical element without loss and to apply for a high frequency band. An optical module is composed of an optical element(43); a signal line(42) for transmitting a high frequency signal input from an external circuit(50) to the optical element; a filter(45) formed by a pattern of the signal line and disconnecting the signal line at regular intervals; a resistance(47) of which one end is connected with the optical element, positioned independently of the signal line; and an inductor(60) restricting the high frequency signal from being transmitted to the external circuit supplying driving power to the optical element. Input impedance is matched in the signal line by the resistance.

    Abstract translation: 提供光学模块和光学模块封装以将从外部电路输入的高频信号传输到光学元件而不会损失并且施加高频带。 光学模块由光学元件(43)组成。 信号线(42),用于将从外部电路(50)输入的高频信号发送到所述光学元件; 通过所述信号线的图案形成并且以规则的间隔断开所述信号线的滤波器(45) 其一端与光学元件连接的电阻(47),独立于信号线定位; 以及限制高频信号被发送到向光学元件提供驱动电力的外部电路的电感器(60)。 输入阻抗在信号线上由电阻匹配。

    광 모듈
    6.
    发明授权
    광 모듈 失效
    光模块

    公开(公告)号:KR100668410B1

    公开(公告)日:2007-01-16

    申请号:KR1020040099479

    申请日:2004-11-30

    CPC classification number: G02F1/0356

    Abstract: 본 발명은 광 모듈에 관한 것이다.
    본 발명에 따른 광모듈은 마이크로스트립 라인과, 상기 마이크로스트립 라인의 종단 부분에 위치하는 트래블링 웨이브 유형의 광소자와, 상기 마이크로스트립 라인에 결합된 적어도 하나의 밸런스드 오픈 스터브를 포함하며, 상기 광소자와 상기 마이크로스트립 라인 사이에 전이영역이 형성되며, 상기 마이크로스트립 라인과 대향하여 상기 광소자를 사이에 두고 종단 저항이 형성되는 광 모듈을 제공한다.
    이러한 구성에 의하여, 본 발명은 스터브의 수 또는 종단 저항 값을 조정함으로 원하는 주파수에서의 대역폭을 조정할 수 있다.
    마이크로스트립 라인, 오픈 스터브, 정합, 광소자, 종단 저항, 광 모듈

    다중양자우물을 갖는 전계흡수형 광 변조기
    7.
    发明授权
    다중양자우물을 갖는 전계흡수형 광 변조기 失效
    具有多个量子阱的电吸收光学调制器

    公开(公告)号:KR100605372B1

    公开(公告)日:2006-07-28

    申请号:KR1020030067338

    申请日:2003-09-29

    CPC classification number: B82Y20/00 G02F1/01708 G02F2001/0175

    Abstract: 본 발명은 전계흡수형 반도체 광 변조기에 관한 것이다. 반도체를 이용한 전계흡수형 광 변조기는 소자에 인가되는 바이어스 전압에 따른 흡수곡선의 이동에 기인한 광 흡수 변화를 이용한다. 이 때 바이어스 전압에 따른 광 흡수 정도는 인가되는 바이어스에 대한 출력광의 전달함수로 표시되며, 전달함수는 재료의 특성상 비선형적인 모양을 갖는다. 디지털 광통신 시스템의 신호변조와는 달리 아날로그 광 전송 시스템에서는 광 변조기의 전달함수가 지닌 비선형적인 특성이 전기신호를 광신호로 바꾸어 줄 때 신호왜곡을 발생시켜 시스템의 성능 저하를 일으킬 수 있다. 통상적인 광 변조기의 흡수층은 동일한 너비를 갖는 양자우물로 구성된 반면, 본 발명에 따른 광 변조기의 흡수층은 서로 다른 너비를 갖는 양자우물의 조합으로 이루어져 선형성이 양호하다.
    광 변조기, 흡수층, 양자우물, 전달함수, 선형성

    광 모듈
    8.
    发明公开
    광 모듈 失效
    光学模块

    公开(公告)号:KR1020060060416A

    公开(公告)日:2006-06-05

    申请号:KR1020040099479

    申请日:2004-11-30

    CPC classification number: G02F1/0356 G02B6/421 H05K1/0274

    Abstract: Provided is an optical module including a microstrip line, a traveling wave type optical device positioned in the end of the microstrip line, and at least one balanced open stub connected to the microstrip line for the impedance matching at a specific frequency such as 40 GHz and 60 GHz. For the fine tuning, laser trimming can be applied to the stub. A transition region is formed between the optical device and the microstrip line. A termination resistor is formed to face the microstrip line with the optical device therebetween. A bandwidth can be controlled at a specific frequency by adjusting a number of the stubs or a value of the termination resistor.

    다중양자우물을 갖는 전계흡수형 광 변조기
    9.
    发明公开
    다중양자우물을 갖는 전계흡수형 광 변조기 失效
    具有多个量子阱的电吸收光学调制器

    公开(公告)号:KR1020050031476A

    公开(公告)日:2005-04-06

    申请号:KR1020030067338

    申请日:2003-09-29

    CPC classification number: B82Y20/00 G02F1/01708 G02F2001/0175

    Abstract: An electro-absorption optical modulator having multiple quantum wells is provided to improve linearity of the modulator by forming an absorption layer thereof as the quantum wells which have different width so as to vary characteristics of an electric-optical transfer function. An upper clad layer(41) and a lower clad layer(43) are formed at under and lower parts of an absorption layer(42), respectively. A plurality of electrodes for applying an electric field to the absorption layer. The absorption layer is comprised of two quantum wells which have different width.

    Abstract translation: 提供具有多个量子阱的电吸收光调制器,以通过形成其吸收层作为具有不同宽度的量子阱以改变电光传递函数的特性来改善调制器的线性。 在吸收层(42)的下部和下部分别形成上覆盖层(41)和下覆盖层(43)。 用于向吸收层施加电场的多个电极。 吸收层由具有不同宽度的两个量子阱组成。

    파장 가변 레이저 광원
    10.
    发明公开
    파장 가변 레이저 광원 失效
    光源激光源

    公开(公告)号:KR1020030048683A

    公开(公告)日:2003-06-25

    申请号:KR1020010078658

    申请日:2001-12-12

    Inventor: 류상완 김제하

    Abstract: PURPOSE: A light source of a tunable laser is provided to form the oscillation wavelength of stable laser regardless of temperature, driving current, and external environment by using an optical fiber. CONSTITUTION: A light source of a tunable laser is formed with an optical fiber(100) and a semiconductor device(200). The optical fiber is used for forming a multiple-reflection peak. A nonreflective coating layer(32) is formed on one side of the semiconductor device. The semiconductor device includes a mode size converter region(20), a gain region(30), and a Bragg mirror region(40) in order to vary oscillation wavelength of laser. The optical fiber and the semiconductor device are coupled to each other by an optical coupling method. The oscillation wavelength of laser is determined according to the multiple-reflection peak of the optical fiber.

    Abstract translation: 目的:提供可调谐激光器的光源,通过使用光纤与温度,驱动电流和外部环境无关地形成稳定激光器的振荡波长。 构成:可调激光器的光源由光纤(100)和半导体器件(200)形成。 光纤用于形成多重反射峰。 在半导体器件的一侧上形成非反射涂层(32)。 半导体器件包括模式尺寸转换器区域(20),增益区域(30)和布拉格反射镜区域(40),以便改变激光器的振荡波长。 光纤和半导体器件通过光耦合方法彼此耦合。 根据光纤的多重反射峰值确定激光器的振荡波长。

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