公开(公告)号：WO2015164243A1

公开(公告)日：2015-10-29

申请号：PCT/US2015/026633

申请日：2015-04-20

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： ROUSSEV, Rostislav Vatchev ,  YOUNG, Emily Elizabeth

IPC: G02B6/10

CPC classification number: G01J3/42 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01L1/241 ,  G01L1/242 ,  G01N21/4133 ,  G01N21/552 ,  G01N2021/4166

Abstract: A method and apparatus for improving contrast in prism coupling measurements of waveguide mode spectra, wherein the measured waveguide sample has a surface region of rapidly decreasing index, characterized with normalized slope >0.0004. An opaque light-blocking element is placed in the portion of the light beam closest to the plane of the contact between prism and measured sample, on the input side, output side or both sides of the prism. The light blocking element prevents light from the light source to reach a portion of the length of the prism-sample coupling interface along the optical path, prevents light reflected from a portion of the aforementioned length to reach the detector, or both when input and output light-blocking elements are used.

Abstract translation: 一种用于改善波导模式光谱的棱镜耦合测量中的对比度的方法和装置，其中所测量的波导样品具有快速降低指数的表面区域，其特征在于归一化斜率> 0.0004。 在棱镜的输入侧，输出侧或两侧的最靠近棱镜与被测样品的接触平面的光束的部分中放置不透明遮光元件。 遮光元件防止来自光源的光线沿着光路到达棱镜 - 样品耦合界面的长度的一部分，防止从上述长度的一部分反射的光到达检测器，或当输入和输出时两者 使用遮光元件。

公开(公告)号：WO2015034070A1

公开(公告)日：2015-03-12

申请号：PCT/JP2014/073588

申请日：2014-09-05

Applicant: 国立大学法人山口大学 ,  日産化学工業株式会社

Inventor： 川俣　純 ,  鈴木　康孝 ,  松尾　英明 ,  富永　亮 ,  綱島　亮

IPC: C09K9/02 ,  C09D7/12 ,  C09D201/00 ,  C09K11/06 ,  G01L1/00 ,  G01L1/24

CPC classification number: C09K9/02 ,  C09D5/00 ,  C09D7/40 ,  C09D201/00 ,  G01L1/24 ,  G01L1/241

Abstract: 　本発明の目的は、構造体にかかる圧力（応力）を直接測定できる圧力感知材料、その製造方法、及び圧力感知塗料を提供する。蛍光化合物を水に混和する溶媒に溶解して水溶液にし、かつ、粘土化合物の粒子を水に分散して粘土水分散液にする。蛍光化合物が粘土化合物の粒子の表面に吸着した分散液を得る。加熱された分散液と高分子化合物を混合して、濃縮して、ゲル状の圧力感知材料を得る。ゲル状の圧力感知材料は、構造体の表面に塗布して利用される。構造体の表面が応力によってたわむと、圧力感知材料が蛍光し、この蛍光は長い間記憶される。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够直接测量作用在结构上的压力（应力）的压力感测材料，其制造方法和压力感应涂料。 本发明涉及：通过将荧光化合物溶解在与水混合的溶剂中来制备水溶液; 通过将粘土复合颗粒分散在水中制备粘土 - 水分散体; 获得其中荧光化合物粘附到粘土化合物颗粒的表面的分散体; 并将该加热的分散体与高分子化合物混合，冷凝其产物，并获得凝胶状压力感测材料。 凝胶状压敏材料可用于涂覆结构的表面。 当结构的表面由于应力而变形时，压力感测材料发射荧光，并且该荧光保持很长时间。

公开(公告)号：WO2012156050A1

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：PCT/EP2012/002015

申请日：2012-05-10

Applicant: LUDWIG-MAXIMILIANS-UNIVERSITÄT MÜNCHEN ,  PAULITSCHKE, Philipp

Inventor： PAULITSCHKE, Philipp

IPC: G01B11/16 ,  G01L1/25 ,  B82Y15/00

CPC classification number: G01L1/241 ,  B82Y15/00 ,  G01B11/165 ,  G01L1/04

Abstract: Gezeigt werden eine Vorrichtung (26) und ein Verfahren zur Detektion der Auslenkung einer Mehrzahl elastischer Elemente (22), wobei die elastischen Elemente (22) gegen eine Rückstellkraft aus einer Ruhelage auslenkbar sind und als Resonatoren und/oder zur Messung einer auf ein jeweiliges elastisches Element (22) wirkenden Kraft geeignet sind. Die elastischen Elemente (22) sind periodisch angeordnet. Die Anordnung der elastischen Elemente (22) wird mit Licht beleuchtet, dessen Kohärenzlänge größer ist als der mittlere Abstand benachbarter elastischer Elemente (22). Hierdurch wird ein Beugungsbild des an der Anordnung von elastischen Elementen (22) gestreuten Beleuchtungslichtes erzeugt, und zumindest ein Teil des Beugungsbildes wird direkt oder nach Wechselwirkung mit weiteren optischen Komponenten von einem optischen Sensor (32) detektiert. Das detektierte Bild oder Bildsignal wird anschließend weiter analysiert, um daraus Informationen bezüglich des Auslenkungszustandes der elastischen Elemente (22) zu ermitteln.

Abstract translation: 示出的是一个装置（26）和用于检测多个弹性件（22），其中，所述弹性构件（22）可抵抗回复力从静止位置和作为谐振器偏转的偏转和/或用于测量弹性到相应的方法 合适的元件（22）的作用力。 弹性件（22）周期性地排列。 弹性部件（22）的布置与光，其相干长度大于相邻的弹性元件（22）的平均间距更大的照射。 这提供的衍射图像弹性部件（22）产生的散射照明光的结构，并直接或通过用光学传感器（32）的其他光学部件相互作用检测至少衍射图案的一部分。 检测过的图象或图像信号然后进一步分析从与所述弹性构件的Auslenkungszustandes（22）的信息来确定。

公开(公告)号：WO2011062279A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：PCT/JP2010/070744

申请日：2010-11-19

Applicant: 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  坂井 一文 ,  野中 一洋 ,  山口 信介

Inventor： 坂井　一文 ,  野中　一洋 ,  山口　信介

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9505 ,  G01L1/241 ,  G01N21/21 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 　光源装置７からの光にポラライザー８により偏光を与えて被検査体Ｗに対し斜め方向に入射させ、その散乱光を暗視野に配置され偏光分離素子１２を有するＣＣＤ撮像装置１０で撮像し、得られたＰ偏光成分画像とＳ偏光成分画像とについて偏光成分光強度と、それらの比としての偏光方向を求める。被検査体に応力を印加していない状態と、被検査体に静荷重を付加して被検査体の光照射側の面において引っ張り応力となる静応力を印加した状態とでの撮像により得られた画像から偏光成分光強度、偏光方向を求め、所定の閾値と対比することにより欠陥の検出、分類を行う。被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類することができる。半導体素子作製用ウエハについて欠陥を検査し、品質管理を行うことにより、不良品を格段に減少させられる。

Abstract translation: 从光源装置（7）发射的光被偏振器（8）偏振，倾斜地进入待检测的物体（W），其散射光由设置在暗场中的CCD成像器（10）成像 并且具有光束移位元件（12），并且获得所获得的P偏振分量图像和S偏振分量图像的偏振分量光强度以及作为这些强度的比率的偏振方向。 通过在其中没有压力施加到物体的状态下以及将静态载荷添加到物体的状态下从成像捕获的图像中找到偏振分量光强度和偏振方向来检测和分类缺陷， 静态应力成为物体的面对发光的表面上的拉伸应力，然后将得到的偏振分量光强度和偏振方向与预定阈值进行比较。 精确检测物体中的缺陷，如内部沉淀物，腔体缺陷，表面上的异物或划痕以及表面层上的裂纹，并识别每种缺陷的类型，从而可以对缺陷进行分类。 通过检查用于制造半导体元件的晶片的缺陷和进行质量控制，可以显着地减少缺陷产物的数量。

公开(公告)号：WO2009035324A1

公开(公告)日：2009-03-19

申请号：PCT/NL2008/050594

申请日：2008-09-09

Applicant: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO ,  DIETZEL, Andreas Heinrich ,  SCHOO, Harmannus Franciscus Maria ,  KOETSE, Marinus Marc

Inventor： DIETZEL, Andreas Heinrich ,  SCHOO, Harmannus Franciscus Maria ,  KOETSE, Marinus Marc

IPC: G01L1/24 ,  G01L5/22

CPC classification number: G01L1/247 ,  G01L1/241

Abstract: According to one aspect, the invention provides an optical sensor for measuring a force distribution, comprising a substrate; one or more light emitting sources and one or more detectors provided on the substrate, the detectors responsive to the light emitted by the sources; wherein a deformable opto-mechanical layer is provided on said substrate with light responsive properties depending on a deformation of the opto-mechanical layer. The design of the sensor and particularly the use of optical components in a deformable layer make it possible to measure the contact force accurately. The sensor is scalable and adaptable to complex shapes. In one embodiment also a direction of the contact force can be determined.

Abstract translation: 根据一个方面，本发明提供了一种用于测量力分布的光学传感器，其包括基底; 一个或多个发光源和设置在所述衬底上的一个或多个检测器，所述检测器响应于由所述源发射的光; 其中根据所述光机械层的变形，在所述基板上提供具有光响应特性的可变形的光机械层。 传感器的设计，特别是在可变形层中使用光学部件可以准确地测量接触力。 传感器是可扩展的，适用于复杂的形状。 在一个实施例中，也可以确定接触力的方向。

公开(公告)号：WO2006091927A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：PCT/US2006/006797

申请日：2006-02-24

Applicant: UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC. ,  CHEN, Lesishan ,  HUBNER, James, P. ,  LIU, Yao ,  SCHANZE, Kirk, S. ,  IFJU, Peter, G.

Inventor： CHEN, Lesishan ,  HUBNER, James, P. ,  LIU, Yao ,  SCHANZE, Kirk, S. ,  IFJU, Peter, G.

IPC: G01B11/16 ,  G01L1/24

CPC classification number: G01L1/241 ,  G01B11/18

Abstract: An essentially thickness independent luminescent photoelastic coating consists of a single layer of a photoelastic material in which a polarizing preserving luminescent dye, (1), and an excitation absorption dye, (2), are contained therein. The absorption dye limits a penetration depth, (3), of incident radiation, (4). The thickness of the coating is greater than a penetration depth of the excitation radiation. The coating is used to determine strain on an underlying substrate, (5), on which the coating is adhered by measurement and analysis of the emission intensities and patterns from the luminescent dye in the coating upon irradiation at a distinct excitation radiation.

Abstract translation: 基本上不依赖于厚度的发光光弹性涂层由单层光弹性材料组成，其中包含偏振保留发光染料（1）和激发吸收染料（2）。 吸收染料限制入射辐射的穿透深度（3），（4）。 涂层的厚度大于激发辐射的穿透深度。 涂层用于通过在不同的激发辐射照射下通过测量和分析涂层中的发光染料的发光强度和图案来测定其上粘附有涂层的应变（5）。

公开(公告)号：WO2006077756A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：PCT/JP2006/300199

申请日：2006-01-11

Applicant: 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  兵藤 行志 ,  徐 超男

Inventor： 兵藤 行志 ,  徐 超男

IPC: G01L5/00 ,  A61F2/32

CPC classification number: A61F2/4657 ,  A61B5/4504 ,  A61B5/4528 ,  A61F2/36 ,  A61F2/3662 ,  A61F2002/3631 ,  A61F2002/4632 ,  A61F2002/4666 ,  G01L1/241 ,  G09B23/30 ,  G09B23/32

Abstract: 　生体骨、模擬骨、それらへの装着部材の応力分布を漏れ点無く可視化するに際して、安価なシステムにより正確に、種々の態様で計測することができるようにするため、損傷大腿骨自体に対して、或いは損傷大腿骨の模擬骨に対して、人工股関節２の挿入支持部４を損傷大腿骨１の中空内部３に挿入するとき、その挿入支持部４が挿入される部分を含む適宜の範囲の骨材外周表面５に、予め応力発光物質薄膜６を形成しておく。このような人工股関節２の挿入過程及び挿入後の状態等において、外周側からＩＣＣＤカメラ７でその応力発光物質薄膜６部分を、その全周にわたって撮影し、これをコンピュータ１１に入力し受光画像８を得る。それによりコンピュータ１１においては、受光した光の強度をそのまま画像として出力することにより、容易に受光画像８を得ることができ、特に受光した光の強度のデータをほぼそのまま応力・歪みデータとして用いることが可能となる。動的解析にも適した手法である。 　

Abstract translation: 生物骨骼，假骨和附着于其上的部件的应力分布是可视化的，没有任何缺点可以通过廉价的系统以任何各种形式被更准确地测量。 当将人造髋关节（2）的插入支撑部分（4）插入受损的股骨（1）或受损的股骨的虚拟骨头的中空的内部（3）中时，应力发光材料薄膜 6）在包括插入支撑部（4）插入的部分的适当区域中预先形成在外周面（5）上。 在插入人造髋关节（2）和插入后的过程中，应力发光材料薄膜（6）在ICCD照相机（7）从外周侧在整个圆周上成像，并且这个 被输入到计算机（11）中以获得光接收图像（8）。 因此，计算机（11）输出接收到的光的强度作为图像以容易地获得光接收图像（8），并且可以直接使用关于接收光的强度的数据作为应力/应变数据。 该技术适用于动态分析。

公开(公告)号：WO0192843A3

公开(公告)日：2002-06-27

申请号：PCT/US0117377

申请日：2001-05-30

Applicant: UNIV BROWN RES FOUND ,  REVEO INC

Inventor： CRAWFORD GREGORY C ,  CAIRNS DARRAN R ,  BOWLEY CHRISTOPHER C ,  DANWORAPHONG SORASAK ,  FONTECCHIO ADAM K ,  FARIS SADEG M ,  LI LE

IPC: G01B11/16 ,  G01L1/24 ,  G02F1/1334

CPC classification number: G01B11/165 ,  G01B11/18 ,  G01L1/241 ,  G02F1/13342

Abstract: A reflective strain gauge includes an holographically-formed polymer dispersed liquid crystal (H-PDLC) film comprising layers of liquid crystal (LC) droplets in a matrix polymer, the H-PDLC film having a reflection or transmission grating capable of reflecting or transmitting light of a selected wavelength, and means for adhering the film to a surface of a workpiece for monitoring the strain at said surface. A change in the nature of the reflected light is an indication of strain. Also included is a polarizing material having an holographically-formed polymer dispersed liquid crystal (H-PDLC) film comprising layers of liquid crystal (LC) droplets in a matrix polymer, the H-PDLC film having a reflection grating capable of reflecting light of a selected wavelength, wherein the reflection grating of the H-PDLC film is oriented, such that the refractive index parallel to said axis of orientation (ne) is greater than the refractive index perpendicular to said axis no).

Abstract translation: 反射应变计包括在基质聚合物中包含液晶（LC）液滴层的全息形成的聚合物分散液晶（H-PDLC）膜，该H-PDLC膜具有能够反射或透射光的反射或透射光栅 以及用于将膜粘附到工件的表面以用于监测所述表面处的应变的装置。 反射光的性质的变化表明了应变。 还包括具有在基体聚合物中包含液晶（LC）液滴层的全息形成的聚合物分散液晶（H-PDLC）膜的偏振材料，该H-PDLC膜具有能够反射光的反射光栅 选择的波长，其中H-PDLC膜的反射光栅被定向，使得平行于所述取向轴（ne）的折射率大于垂直于所述轴线no）的折射率。

公开(公告)号：WO98055844A1

公开(公告)日：1998-12-10

申请号：PCT/US1998/010238

申请日：1998-05-19

IPC: G01L1/24

CPC classification number: G01L1/241

Abstract: A structural specimen coated with or constructed of photoelastic material, when illuminated with circularly polarized light will, when stressed, reflect or transmit elliptically polarized light, the direction of the axes of the ellipse and variation of the elliptically polarized light from the illuminating lights corresponds to the direction and magnitude of shear stresses for each illuminated point. Stress analyzing apparatus may or may not use multiple rotating optical elements. A simple polariscope has two polarizing filters with a single one-quarter waveplate placed between the polarizing filters. Light is projected through the first polarizing filter and the one-quarter waveplate and is reflected from a sub-fringe birefringent coating on a loaded structure. Reflected light is analyzed with a polarizing filter. The polarizing filters and the one-quarter waveplate may be rotated together or the analyzer alone may be rotated. Computer analysis of the variation in light intensity yields shear stress magnitude and direction.

Abstract translation: 用光弹性材料涂覆或由光弹性材料构成的结构试样，当被圆偏振光照射时，当被应力反射或透射椭圆偏振光时，椭圆轴的方向和来自照明灯的椭圆偏振光的变化对应于 每个照明点的剪切应力的方向和大小。 应力分析装置可以使用或不使用多个旋转光学元件。 一个简单的偏振器有两个偏振滤光片，一个四分之一波长的波片放置在偏振滤光片之间。 光通过第一偏振滤光器和四分之一波片投射，并且在加载的结构上从副边缘双折射涂层反射。 用偏振滤光片分析反射光。 偏振滤光器和四分之一波片可以一起旋转，或者单独的分析仪可以旋转。 光强变化的计算机分析产生剪切应力的大小和方向。

公开(公告)号：WO1997043614A1

公开(公告)日：1997-11-20

申请号：PCT/US1997008653

申请日：1997-05-16

Applicant: ALLIEDSIGNAL INC.

Inventor： ALLIEDSIGNAL INC. ,  RAPOPORT, William, Ross ,  HOU, Janpu ,  PAPANESTOR, Paul, Alexander

IPC: G01L01/24

CPC classification number: G01L1/241 ,  G01L11/02

Abstract: A photoelastic force sensor comprising a sensor plate or disk bonded by means of diffusion or reactive bonding of identical or like materials onto a first face of a spacer ring which defines an aperture. The spacer ring also has an appropriate thickness and width so that other sealing requirements that induce stress into the spacer ring are not appreciably passed onto the sensor plate. A seal plate is attached to a second face of the spacer ring to form a sealed cavity which can then be evacuated or pressurized as required for the application.

Abstract translation: 一种光弹力传感器，包括通过将相同或相似材料扩散或反应地粘合到限定孔的间隔环的第一面上的传感器板或盘。 间隔环也具有适当的厚度和宽度，使得将间隙环中的应力引入的其它密封要求不会明显地传递到传感器板上。 密封板连接到间隔环的第二面上以形成密封腔，然后可以根据需要对其进行抽真空或加压。