公开(公告)号：CN100487575C

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200410008081.6

申请日：2004-03-10

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·A·J·霍尔 ,  J·C·科普特 ,  E·R·鲁普斯特拉 ,  P·维雷格德瓦特

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F7/70758 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 一种具有高驱动力、高效率和低法向力的直线马达，包括两个相对磁体轨道11、12和电枢13，电枢包括三个开路线圈组。直线马达可以用于在光刻投影设备中驱动一工作台，特别是掩模台。

公开(公告)号：CN100479985C

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN01818232.1

申请日：2001-11-02

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 金弘中 ,  长沼良一 ,  清野博光

IPC: B23Q5/28 ,  H02K41/02 ,  B23Q1/62

CPC classification number: H02K41/031 ,  B23Q1/626 ,  B23Q5/28 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明提供了一种有线性马达的XYZ轴台板，该XYZ轴台板有基座、多个线性引导装置、工作台、X轴驱动线性马达、Y轴驱动线性马达以及Z轴驱动线性马达。该线性马达设置成由电枢以及能够相对于该电枢进行相对运动的活动元件构成。该线性马达还有：一个磁极齿排，该磁极齿排与电枢的一个磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；以及另一磁极齿排，该磁极齿排与活动元件的另一磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；该一个磁极齿排的第一级磁极齿和该另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，该一个磁极齿排的第二级磁极齿和该另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，且活动元件布置在该一个和另一第一级磁极齿排以及该一个和另一第二级磁极齿排之间。

公开(公告)号：CN100451568C

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN01109299.8

申请日：2001-03-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 丸山照雄 ,  园田孝司

IPC: G01F11/02 ,  H02K11/00 ,  F04B17/04 ,  F04B7/06 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26

CPC classification number: H02K7/14 ,  F04B7/06 ,  F04B17/044 ,  F04D15/0033 ,  H02K7/125 ,  H02K11/21 ,  H02K16/00 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明公开一种流体排放装置，其包括一个轴向驱动装置，该驱动装置用于在活塞和缸体之间产生轴向的相对位移，一个驱动旋转的装置，及一个流体压力供给装置。其中，所述轴向驱动装置是一个大型磁致伸缩件，而且通过所述轴向驱动装置可以改变所述轴与所述壳体之间的空隙从而使泵室与排放口之间的流体阻力增大或减小。排放流速的开/关控制可以利用轴向驱动装置通过改变排放通路的流体阻力来实现。

公开(公告)号：CN101312814A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200680043229.7

申请日：2006-11-06

Applicant: 西门子公司

Inventor： 托马斯·巴德 ,  迈克海洛·托尔多诺夫

IPC: B29C45/50

CPC classification number: B29C45/5008 ,  B29C2045/1792 ,  B29C2045/1793 ,  H02K16/025 ,  H02K21/14 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18

Abstract: 塑料注射成型机应配备磨损较小且更为紧凑的驱动装置。为此，建议将旋转直接驱动装置嵌套在直线直接驱动装置内。因此，直线电动机具有一个罐形外转子(13)，所述罐形外转子与输出轴(10)固定相连，所述直线电动机的空心圆柱形定子(16)的主要部分布置在所述罐形外转子的内腔中。旋转驱动装置具有一个定子(18)和一个转子，所述定子安装在所述直线电动机的空心圆柱形定子(16)的内壁上，所述转子在所述旋转电动机的定子(18)内部固定连接在所述输出轴(10)上。通过这种直接驱动装置可实现极紧凑的结构，还可放弃使用容易受到磨损的螺纹主轴。

公开(公告)号：CN101277054A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810087021.6

申请日：2008-03-28

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 秋叶敏克

IPC: H02K57/00 ,  H04N5/247 ,  G03H1/04

CPC classification number: G03B17/00 ,  G03H1/265 ,  H02K7/09 ,  H02K21/16 ,  H02K21/18 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明提供一种能够以多自由度旋转驱动转子，同时对转子进行高精度定位的结构紧凑的驱动机构、使用该驱动机构的摄像装置及全息记录装置。驱动机构(100)包括转子(110)、收容转子(110)的定子(130)、相对于定子(130)以绕转子(110)的中心轴和绕与其垂直的轴旋转自如的方式支持转子(110)的轴承。转子(110)在其圆周面上具有6组沿中心轴对齐排列的3个磁极(121、122、123)。定子(130)具有4组磁极单元(140A、140B)。各磁极单元(140A)具有沿中心轴对齐排列的3个磁极(141、142、143)和使它们适当磁化的3个线圈(151、152、153)。各磁极单元(140B)则具有1个磁极(141)和使其适当磁化的1个线圈(151)。

公开(公告)号：CN101253673A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200680031550.3

申请日：2006-08-10

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： G·安杰利斯 ,  D·比洛恩

IPC: H02K41/035

CPC classification number: H02K41/02 ,  H02K3/47 ,  H02K11/00 ,  H02K16/02 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 一种无铁芯磁性马达(21～23)采用磁轨(30)和动子(40)。动子(40)在磁轨(30)的直线空气间隙内的磁场(β)中，用于响应换向驱动电流(IX)，产生与X驱动轴平行并且与Z悬浮轴垂直的驱动力(FX)，并且响应换向线圈电流(IZ、IY)，产生与X驱动轴垂直的力(FZ、FY)，其中换向线圈电流(IZ、IY)重叠在换向驱动电流(IX)上并且与之具有相位偏移。为此目的，与X驱动轴平行并且与Z悬浮轴垂直的一组悬浮匝可以在磁场(β)的内部或外部，并且动子(40)可以在直线空气间隙的中心X－Z纵轴(CP)的中心或者偏离这个中心。

公开(公告)号：CN101124712A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200580041188.3

申请日：2005-12-01

Applicant: 生物辐射实验室股份有限公司

Inventor： N·克里坎斯基 ,  A·萨德里 ,  M·蒂莫提杰维科 ,  Z·徐 ,  M·克里坎斯基 ,  N·尼柯利克

IPC: H02K41/00

CPC classification number: H02K41/033 ,  H02K2201/18

Abstract: 用来使用基于工作于微步或整步模式的线性步进电动机的线性致动器、基于补偿表的控制算法和用于获得该补偿表的校准装置来精密定位对象的方法和装置。

公开(公告)号：CN101107771A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002521.4

申请日：2006-01-13

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·C·康普特 ,  P·C·M·弗里森 ,  R·泰伯 ,  F·范加尔 ,  H·J·埃金科

IPC: H02K41/03 ,  H02K5/20

CPC classification number: H02K41/031 ,  H02K5/20 ,  H02K2201/18

Abstract: 电动机(1)的线圈组(2)产生热，当需要将电动机(1)用于高精度定位应用时，这可能是一个缺点。为了降低热的不利影响，在内冷式的外壳(21)中设置线圈(26a，26b，26c)。所述外壳(21)在至少在要面对电动机(1)的磁组件(3)的一侧上具有最外层(25)，所述最外层(25)由导电性低或不导电、非磁性或接近非磁性的材料制成。最外层(25)防止热辐射到环境中。

公开(公告)号：CN100340920C

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN03136771.2

申请日：2003-04-22

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： F·M·罗埃斯

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G06F9/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70758 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 一种用来对平面电动机间距转矩进行补偿的装置，其中的间距转矩并非装置固有特性。可计算并累加所给定一组力的间距转矩，其中的这组力是理想条件下平面电动机内每一个发力体需要加上的力。确定出每一发力体的校正力，从而使校正的净作用等于前面所确定的间距转矩并与之方向相反。

公开(公告)号：CN1816962A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200480018954.X

申请日：2004-06-29

Applicant: 伊纳驱动及机电有限商业两合公司

Inventor： 约尔格·克格勒尔

IPC: H02K41/03

CPC classification number: H02K41/03 ,  H02K29/06 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明涉及一种平面直接驱动装置，其具有被动单元(1)，主动单元(3)，轴承单元和位置测量系统，该位置测量系统包括实物量具和扫描实物量具并提供位置信号的测量传感器。根据本发明，位置测量系统由移动部件(7)和准静止部件(8)组成，两个部件的一个由实物量具构成并且另一个由测量传感器构成，其中两个部件设置在轴承间隙(4)的外面并且与滑动面(2)隔开。