公开(公告)号：CN101828149A

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN200880111964.6

申请日：2008-10-17

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： P·C·M·弗里森 ,  R·G·克拉弗

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  G01D5/38

CPC classification number: G01D5/38 ,  G01D5/28 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70775 ,  H01L21/681

Abstract: 一种具有精密测量的移位装置，移位装置用于支承工件，其包括：光传感器(52)；支承板(54)，其限定支承板孔口(56)；平面电机(58)，其平行于该支承板(54)安置，该平面电机(58)具有可通过操作以支承该工件(40)的第一侧(60)和与该支承板(54)相对的第二侧(62)；以及，安置于该平面电机(58)上的二维光栅(68)，该二维光栅(68)通过该支承板孔口(56)与所述光传感器(52)光通信。

公开(公告)号：CN101107771A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002521.4

申请日：2006-01-13

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·C·康普特 ,  P·C·M·弗里森 ,  R·泰伯 ,  F·范加尔 ,  H·J·埃金科

IPC: H02K41/03 ,  H02K5/20

CPC classification number: H02K41/031 ,  H02K5/20 ,  H02K2201/18

Abstract: 电动机(1)的线圈组(2)产生热，当需要将电动机(1)用于高精度定位应用时，这可能是一个缺点。为了降低热的不利影响，在内冷式的外壳(21)中设置线圈(26a，26b，26c)。所述外壳(21)在至少在要面对电动机(1)的磁组件(3)的一侧上具有最外层(25)，所述最外层(25)由导电性低或不导电、非磁性或接近非磁性的材料制成。最外层(25)防止热辐射到环境中。

公开(公告)号：CN101107571A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002500.2

申请日：2006-01-10

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·C·康普特 ,  P·C·M·弗里森 ,  J·范埃杰克

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70758 ,  Y10S414/135

Abstract: 本发明公开了一种特别是用于半导体工业的移动装置(701)，该装置包括第一部分，该第一部分包括承载体(714)，磁体系统(710)按照分别平行于X方向和Y方向延伸的行和列的模式布置在承载体(714)上。每行和每列上的磁体按照海尔贝克阵列布置，即在每行和每列上的相继的磁体的磁性取向逆时针旋转90°。第二部分包括具有两种类型电线圈的电线圈系统(712)，一种类型电线圈与X方向成+45°的角，另一种类型电线圈与X方向成－45°的角。第一部分(714，710)可相对于静止的第二部分(712)在厘米或更大的范围上运动。为了高精度地定位所述第一部分，设有干涉仪系统(731，730)。

公开(公告)号：CN101828149B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200880111964.6

申请日：2008-10-17

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： P·C·M·弗里森 ,  R·G·克拉弗

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  G01D5/38

CPC classification number: G01D5/38 ,  G01D5/28 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70775 ,  H01L21/681

Abstract: 一种具有精密测量的移位装置，移位装置用于支承工件，其包括：光传感器(52)；支承板(54)，其限定支承板孔口(56)；平面电机(58)，其平行于该支承板(54)安置，该平面电机(58)具有可通过操作以支承该工件(40)的第一侧(60)和与该支承板(54)相对的第二侧(62)；以及，安置于该平面电机(58)上的二维光栅(68)，该二维光栅(68)通过该支承板孔口(56)与所述光传感器(52)光通信。

公开(公告)号：CN100541337C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200680002500.2

申请日：2006-01-10

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·C·康普特 ,  P·C·M·弗里森 ,  J·范埃杰克

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70758 ,  Y10S414/135

Abstract: 本发明公开了一种特别是用于半导体工业的移动装置(701)，该装置包括第一部分，该第一部分包括承载体(714)，磁体系统(710)按照分别平行于X方向和Y方向延伸的行和列的模式布置在承载体(714)上。每行和每列上的磁体按照海尔贝克阵列布置，即在每行和每列上的相继的磁体的磁性取向逆时针旋转90°。第二部分包括具有两种类型电线圈的电线圈系统(712)，一种类型电线圈与X方向成+45°的角，另一种类型电线圈与X方向成-45°的角。第一部分(714，710)可相对于静止的第二部分(712)在厘米或更大的范围上运动。为了高精度地定位所述第一部分，设有干涉仪系统(731，730)。