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公开(公告)号：CN101540292B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200910081512.4
申请日：2009-04-10
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/66 , G01L1/06 , H01L29/772
Abstract: 本发明提供了一种场效应晶体管侧墙的应力测试方法，属于场效应晶体管制备技术领域。该方法包括：在衬底上制备台阶，形成栅结构；在栅结构上制备氮化硅或氧化硅，各向异性刻蚀形成侧墙结构；定义释放区域，释放侧墙，形成纳米梁结构；利用纳米梁结构的材料杨氏模量、材料波松比和厚度，通过测得纳米梁的弯曲曲率半径、弯曲前的长度和弯曲后的长度，分别得到释放前纳米梁中轴应力和纳米梁释放前沿厚度方向的应力梯度，从而得到侧墙的应力。本发明解决了应变硅器件研究中侧墙结构应力无法测到的问题，有利于提高集成电路设计能力。
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公开(公告)号：CN101540292A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910081512.4
申请日：2009-04-10
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/66 , G01L1/06 , H01L29/772
Abstract: 本发明提供了一种场效应晶体管侧墙应力的测试方法，属于场效应晶体管制备技术领域。该方法包括：在衬底上制备台阶，形成栅结构；在栅结构上制备氮化硅或氧化硅，各向异性刻蚀形成侧墙结构；定义释放区域，释放侧墙，形成纳米梁结构；利用纳米梁结构的材料杨氏模量、材料波松比和厚度，通过测得纳米梁的弯曲曲率半径、弯曲前的长度和弯曲后的长度，分别得到释放前纳米梁中轴应力和纳米梁释放前沿厚度方向的应力梯度，从而得到侧墙的应力。本发明解决了应变硅器件研究中侧墙结构应力无法测到的问题，有利于提高集成电路设计能力。
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公开(公告)号：CN218002756U
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202220880481.X
申请日：2022-04-12
Applicant: 深圳市松果体机器人科技有限公司
Abstract: 一种柔性压力板，包括：仿生的表皮层‑真皮层所构成的双层柔性层结构和摄像头以及光源；其中：所述摄像头，用于捕捉所述双层柔性层结构的形变；所述柔性压力板，用于捕捉所述光源照射向双层柔性层结构的光线，从而感测双层柔性层结构的形变。以此，本公开实现了具有创新结构和较好性能的柔性压力板，可用于体育、辅助医疗或制鞋等行业，测量人脚站立或运动时的压力分布状态，实现高分辨率、六维力、高动态性能的数字化测量。
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公开(公告)号：CN203224316U
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201320169729.2
申请日：2013-04-08
Applicant: 安徽省通达包装材料有限公司
Inventor： 窦发军
Abstract: 本实用新型公开了一种检测高真空镀铝薄膜拉力的装置，包括有机架，机架上固定有左、右立柱，所述机架上位于左、右立柱之间的部位安装有固定夹具，所述左、右立柱之间固定连接有横梁，横梁上安装有气缸，气缸的活塞杆向下且活塞杆端部安装有与固定夹臂对应的活动夹具。本实用新型结构简单，设计合理，便于操作，可以方便有效的测算出高真空镀铝薄膜的拉力性能，满足了企业的使用需求。
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公开(公告)号：CN202177476U
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201120254195.4
申请日：2011-07-19
Applicant: 宁波金旭电子有限公司
IPC: G01L1/06
Abstract: 本实用新型涉及一种传感器，更具体地说涉及一种轴销式传感器，它的目的是克服现有轴销式传感器检测精度低的技术难题，提供一种结构简单，安装方便，检测精度高的轴销式传感器，包括轴销，所述的轴销整体为弹性体，所述轴销的外侧壁中部设有若干个盲孔，所述的盲孔内贴附有应变片，所述的轴销外侧壁上设有环形凹槽，所述的环形凹槽途经盲孔的圆心，所述的轴销末端连接有电缆线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206974574U
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201720665843.2
申请日：2017-06-09
Applicant: 海伯森技术(深圳)有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种多维力传感器，包括外圈结构、内圈结构、弹性柱、应变片和保护器；所述外圈结构为圆环形，内圈结构与外圈结构之间通过至少三个弹性柱连接，每个弹性柱的两端分别连接外圈结构和内圈结构；所述内圈结构与弹性柱接触的区域设置有长槽，每个长槽在内圈结构的表面形成一个边缘支撑的架空平板，弹性柱连接在架空平板上；保护器安装在外圈结构上，保护器与内圈结构之间留有间隙；每个弹性柱的侧面粘贴有应变片。本实用新型通过合理设计架空平板的厚度以及采用合适的材料可以使得架空平板在承受载荷时产生合理的形变，在载荷过大的情况下，内圈结构与保护器接触，超额的载荷由保护器直接承受，而不会传导至弹性柱上，起到保护作用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206573239U
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201720232098.2
申请日：2017-03-10
Applicant: 中铁十四局集团有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种压力传感器及土体压力监测装置。其中，压力传感器包括：壳体，壳体具有至少两个方向上的安装面；至少两个传压部，各传压部设置在壳体的不同安装面上，传压部具有受压膜片和待检测膜片，受压膜片受到来自被测土体的压力后通过介质将压力传递给待检测膜片，使待检测膜片受力形变；用于检测待检测膜片的所受应力的应力检测部，应力检测部为多个，各待检测膜片处均设置有应力检测部。本实用新型中的压力传感器具有同步多面检测的功能，可以一次性的测量土体内多个方向上的压力情况，解决了现有技术中需要设置多个压力传感器以检测不同方向上的土压力的问题，具有操作简便、检测效率高、功能丰富的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN2280284Y
公开(公告)日：1998-04-29
申请号：CN96233580.0
申请日：1996-08-19
Applicant: 电力工业部成都勘测设计研究院
Abstract: 本实用新型为变形传感光缆,其中的每根光纤1的首段与圆细杆2连为一体。外壳3每隔一间距有一空腔4。空腔4之间的圆细杆2与外壳内腔有间隙,但在中间处与外壳3固连。光纤1在空腔4内的裸露部分成一曲线。每根光纤1的没有与圆细杆2连为一体的后段动配合地穿过其后的光缆。
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公开(公告)号：CN2208229Y
公开(公告)日：1995-09-20
申请号：CN94238328.1
申请日：1994-09-30
Applicant: 姜许民
Inventor： 姜许民
IPC: G01L1/06
Abstract: 本实用新型涉及一种机械设备，特别是一种A型应力松弛测定器，它包括应变螺栓、平圆板、紧固螺母、垫圈连接套筒、千分表等。应变螺栓中空孔为凸阶孔，推杆形状与中空孔相应，推杆的头部直接顶住千分表的表头，固定螺钉与千分表的定位圆柱之间设一弹簧套，弹簧套的表面开有纵向槽，外表面开有横向槽，弹簧套还有一个纵向开口。本实用新型结构简单、使用方便、能利用国产通用设备加工、成本低、能减小误差率。
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公开(公告)号：CN217878098U
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202220180683.3
申请日：2022-01-24
Applicant: 浙江理工大学 , 浙江理工大学龙港研究院有限公司
IPC: G01L1/06 , G01L5/04 , B65H54/553 , B65H54/44 , B65H54/70
Abstract: 本实用新型公开了一种纱线张力传感器实验装置，包括机架，所述机架沿纱线运输方向上依次设有送纱装置、络筒装置、纱筒装置，纱线通过送纱装置调整张力后输出，经络筒装置的横向位移调整均匀缠绕于纱筒装置上，所述送纱装置包括送纱器、纱线固定架，送纱器为整个装置输送纱线，并可调整纱线张力大小，还包括纱线张力测量装置，其包括纱线张力传感器固定台、纱线张力传感器。本实用新型通过纱线张力传感器盘配合整体纱线卷绕装置进行试验，通过多个固定位置纱线张力传感器设置或者自制改进的送纱器以快速准确测量纱线张力的大小，从而能够进行调节反馈控制张力稳定，同时，纱筒装置和纱筒装置的设置，使得纱线在缠绕过程中更加均匀。
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