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公开(公告)号：CN116783681A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202180092664.3
申请日：2021-11-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·J-J·维兰德
IPC: H01J37/28
Abstract: 提供了一种用于将带电粒子束引导到样品表面的预选位置的带电粒子束设备。带电粒子束具有样品表面的视场。带电粒子光学装置被配置为将带电粒子束沿束路径引导向样品表面，并检测响应于带电粒子束而在样品中产生的带电粒子。台被配置以关于束路径支撑并移动样品。控制器被配置成控制该带电粒子束设备，使得该带电粒子束在该样品的预选位置上扫描，同时该台沿路线关于带电粒子光学柱移动该样品，该样品的预选位置上的扫描覆盖该视场的一部分区域。
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公开(公告)号：CN116783680A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202180092401.2
申请日：2021-11-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·J-J·维兰德
IPC: H01J37/28
Abstract: 公开了带电粒子系统和用于使用带电粒子的多束处理样品的方法。在一种布置中，柱将带电粒子的子束的多束引导到样品的样品表面上。样品在平行于第一方向的方向上移动，同时柱用于在平行于第二方向的方向上在样品表面之上重复扫描多束。因此利用每个子束处理样品表面上的细长区域。样品在与第一方向倾斜或垂直的方向上被移位。该过程被重复以利用每个子束进一步处理细长区域。所得到的多个已处理细长区域限定每个子束的子束处理区。
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公开(公告)号：CN116631831A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310893967.6
申请日：2023-07-20
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙)
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及磁电复合式扫描偏转聚焦系统、方法及扫描电子显微镜。该系统包括；聚焦组件包括第一物镜和第二物镜；偏转组件包括电磁偏转件和第一静电偏转件，电磁偏转件位于第二物镜的中心孔内，低于第一物镜的极靴口，且高于第二物镜的极靴口，第一静电偏转件位于第二物镜的极靴口，第一物镜、第二物镜、电磁偏转件和第一静电偏转件均沿入射电子束的主轴同轴设置；控制组件用于调控电磁偏转件的激励信号进行第一视场范围扫描偏转；或者调控第一静电偏转件的激励信号进行第二视场范围扫描偏转；第一视场范围对应的最大视场大于第二视场范围对应的最大视场。该系统能够兼容大视场扫描和高速高分辨力成像，适用于不同使用场景需求。
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公开(公告)号：CN116453923A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310019617.7
申请日：2023-01-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供载置台装置、带电粒子线装置和真空装置，其目的在于，在真空环境下，抑制从接触式的引导要件飞散的引导件异物在对象物附着。载置台装置真空环境下配置，使载置的对象物移动，包括：在基台(102)铺设的导轨(201)；沿导轨(201)移动的滑架(202)；与导轨(201)和滑架(202)接触，伴随滑架(202)的移动而旋转的滚动体；与滑架(202)的一部分连接，和滑架(202)一起移动的工作台(101)；和以覆盖导轨(201)的引导面的法线方向(304)的方式设置，遮蔽从导轨(201)、滑架(202)或滚动体飞散的异物的遮蔽罩(502)。
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公开(公告)号：CN116206935B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310488849.7
申请日：2023-05-04
Applicant: 华芯程(杭州)科技有限公司
Inventor： 请求不公布姓名
IPC: H01J37/153 , H01J37/28 , G06T7/00 , G06T7/60
Abstract: 本发明涉及光刻领域，特别是涉及一种晶圆测量机台的校准方法、装置、设备及计算机可读存储介质，通过获取给定图形及所述给定图形对应的第一关键尺寸的可靠值；利用待校机台测量所述给定图形的第一关键尺寸，得到测量过程中的灰度变化曲线；通过所述灰度变化曲线，确定关键图像峰；根据所述第一关键尺寸的可靠值，在所述关键图像峰中确定目标灰度；将所述目标灰度作为所述待校机台的图形‑背景分界值，完成对所述待校机台的校准。本发明通过所述待校机台在测量过程中获得的灰度变化曲线，圈定图形的大致范围，再确定在所述给定图形与背景的边界处，所述待校机台读取到的灰度值，实现了兼顾所述待校机台高速量测与较高的的量测精度与准确率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116344304A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211655008.2
申请日：2022-12-22
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/244
Abstract: 用于确定多个子束的位置的方法和系统包括：通过使所述子束在第一样本区域上进行扫描来执行第一扫描并获取多个单元图像；以及通过使所述子束在第二样本区域上进行扫描来执行第二扫描并获取多个单元图像。每个单元图像对应于一个子束，并且所述第一样本区域和所述第二样本区域之间的重叠区域的至少一部分在所述第一扫描和所述第二扫描两者期间均被多个子束扫描。然后可以基于在所述第一扫描和所述第二扫描期间获取的对应单元图像来确定每个子束的位置。
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公开(公告)号：CN116313710A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310318162.9
申请日：2023-03-28
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/21 , H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。
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公开(公告)号：CN116274166A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310200868.5
申请日：2023-03-03
Applicant: 首钢智新迁安电磁材料有限公司
Abstract: 本发明公开了一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜，清洁方法通过关闭扫描电镜的镜内灯丝，泄真空并取出样品，再控制扫描电镜进行抽真空，使扫描电镜的样品室和电子枪室分别达到对应的预设真空度，进一步开启扫描电镜的镜筒烘烤功能，间接控制阳极光阑升温，可以促进附着在阳极光阑上的碳基污染物进行挥发，对样品室和电子枪室继续抽真空，能够将挥发出的碳基污染物抽排出扫描电镜，当镜筒烘烤功能的开启时间达到预设时长时，阳极光阑的碳沉积堵塞的问题已得到了清洁处理，即关闭镜筒烘烤功能。该清洁方法具有方法简单、成本低廉的优势，扫描电镜的使用用户可自行进行操作，有效解决了碳基物污染引起的阳极光阑碳沉积堵塞问题。
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公开(公告)号：CN116264145A
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111630663.8
申请日：2021-12-28
Applicant: 灿美工程股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且在孔隙周围设置两个以上的散射防止孔从而提高样品周围的局部的真空度，为了更有效地保持局部真空而形成利用惰性气体的空气幕的利用带电粒子的样品处理装置。
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公开(公告)号：CN116190184A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310084443.2
申请日：2023-01-18
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Inventor： 李帅
IPC: H01J37/14 , G01N23/2251 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/21
Abstract: 本公开实施例提供一种扫描电子显微镜物镜系统和扫描聚焦方法，其中，物镜系统包括磁透镜、第一偏转装置、探测装置、第二偏转装置以及样品台；其中：磁透镜包括主体部分和导磁极靴；第一偏转装置，位于主体部分的内壁与电子束的光轴之间，用于改变入射电子束的运动方向；探测装置，位于第一偏转装置和第二偏转装置之间，用于接收电子束作用于样品台上的待测样品产生的信号电子；第二偏转装置，位于主体部分与导磁极靴之间，用于改变电子束的运动方向；探测装置、第二偏转装置、导磁极靴和样品台形成电透镜；电透镜和磁透镜形成复合物镜，用于汇聚电子束。
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