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公开(公告)号：CN119566747B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510138208.8
申请日：2025-02-08
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Inventor： 李瑞瑛
Abstract: 本发明涉及一种长寿型纳米离子探针光阑的制备方法，包括如下步骤：1）准备光阑金属片；2）采用电火花打孔的方法在光阑金属片表面得到锥形坑结构；3）采用飞秒激光在锥型坑中心加工微孔，利用线切割光阑外径，得到光阑；4）将光阑进行回火处理；5）利用纳米离子探针测试光阑的损耗。所述光阑具有高稳定性、低损耗、使用寿命长等优势，与现有的光阑商品相比，其使用寿命延长了30倍之多，适合纳米离子探针使用，为纳米离子探针仪的稳定性提供基础。
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公开(公告)号：CN119585834A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202380054485.X
申请日：2023-07-11
Applicant: 攀时美国有限责任公司
Abstract: 一种斥拒极组件，其安装在离子注入机的电弧室中。该斥拒极组件包括斥拒极、管状插入件、第一绝缘体及第二绝缘体、接触构件及锁定构件。该斥拒极具有置放于该电弧室的内侧上的与阴极组件相对的旋钮状主体。斥拒极轴杆配置为延伸通过该电弧室的壁的开口至外侧。该斥拒极轴杆具有使该斥拒极轴杆变窄的阶梯。该管状插入件与该斥拒极轴杆同心地安装。该第一绝缘体具有轴环形状且附接至该管状插入件，使得该第一绝缘体的内部肩部抵靠该电弧室的壁的外侧。该第二绝缘体呈c形形状且经由其外凸缘附接至该第一绝缘体。
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公开(公告)号：CN119566747A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202510138208.8
申请日：2025-02-08
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Inventor： 李瑞瑛
Abstract: 本发明涉及一种长寿型纳米离子探针光阑的制备方法，包括如下步骤：1）准备光阑金属片；2）采用电火花打孔的方法在光阑金属片表面得到锥形坑结构；3）采用飞秒激光在锥型坑中心加工微孔，利用线切割光阑外径，得到光阑；4）将光阑进行回火处理；5）利用纳米离子探针测试光阑的损耗。所述光阑具有高稳定性、低损耗、使用寿命长等优势，与现有的光阑商品相比，其使用寿命延长了30倍之多，适合纳米离子探针使用，为纳米离子探针仪的稳定性提供基础。
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公开(公告)号：CN119480590A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510007487.4
申请日：2025-01-03
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种电子束控制装置及方法、扫描电子显微镜，其中电子束控制装置包括：光阑件，光阑件上具有若干个间隔设置的光阑孔，其中各个光阑孔的孔径大小不同；蜗轮组件，其包括蜗轮和与蜗轮适配的蜗杆，光阑件放置在蜗轮的上表面；第一驱动装置，其与蜗轮连接，并驱动蜗轮在第一方向上前进或者后退，其中第一方向与所述蜗杆的延伸方向平行；以及第二驱动装置，其与蜗杆连接，并驱动蜗杆旋转，使蜗轮带动光阑件旋转。本方案通过第一驱动装置带动蜗轮运动，使电子束与光阑件对准，然后再通过第二驱动装置驱动蜗杆旋转，进而带动蜗轮旋转，进而能够快速的定位到符合成像和分析条件的光阑孔。该方案操作简单，效率高。
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公开(公告)号：CN113936983B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202111084339.0
申请日：2016-02-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113345783B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202110614682.5
申请日：2021-06-02
Applicant: 南京大学
IPC: H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 本发明涉及显微成像技术领域，更具体地说，涉及一种可调光阑、光阑转换系统和电子显微镜。包括：成像单元，控制单元，驱动单元，伺服电机和可调光阑。可调光阑包括两个旋转芯，所述旋转芯之间彼此镜像对应，旋转芯上设置有旋转轴。本方案通过在电子显微镜中增加光阑自动转换装置，同时改变传统光阑的结构与传动方式，从而可使光阑转换与成像同步，可自动化获得一系列在不同光阑作用下所得的图像。同时，本发明公开的齿轮结构还可以完全抵挡住两个旋转芯之间狭缝位置的电子，使得电子探针不发散，获得更好地处理结果。
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公开(公告)号：CN118448234A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410485226.9
申请日：2024-04-22
Applicant: 山西大学
Abstract: 本发明涉及原位成像技术领域，公开了一种用于原位成像的法拉第笼，包括两片相对设置的第一极板、两片相对设置第二极板以及两片相对设置的第三极板，六片极板连接构成方体状的法拉第笼，六片极板上均设置有通光孔，六片极板中一片为高压电离极板，五片为电磁屏蔽、补偿极板。本发明还提供了一种具有法拉第笼的原位成像系统以及该系统的使用方法。本发明的法拉第笼适用于磁光阱，通过屏蔽、补偿、电离、放大等过程，实现了可控环境电磁噪声下的超冷里德堡原子原位成像，并且实现微米量级的离子原位成像。
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公开(公告)号：CN114391120B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202080063340.2
申请日：2020-08-06
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 摩根·艾文斯 , 查理斯·T·卡尔森 , 鲁格·迈尔提摩曼提森 , 萝丝·班迪
IPC: G02B27/01 , G02B5/18 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J37/305
Abstract: 一种载具近接式掩模、对其进行组装的方法及形成结构的方法。所述载具近接式掩模以及对其进行组装及使用其的方法可包括：提供第一载具本体、第二载具本体及一组一个或多个夹具。第一载具本体可具有一个或多个开口，所述一个或多个开口被形成为用于在衬底的第一侧上形成结构的近接式掩模。第一载具本体及第二载具本体可具有一个或多个接触区域，所述一个或多个接触区域与衬底的第一侧及第二侧上的一个或多个接触区域对准。所述一组一个或多个夹具可在接触区域处将衬底夹在第一载具本体与第二载具本体之间，以将衬底的工作区域悬置在第一载具本体与第二载具本体之间。所述开口用于界定边缘，以对射束进行卷积，从而在衬底上形成结构。
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公开(公告)号：CN117423592A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311189670.8
申请日：2023-09-14
Applicant: 中科晶源微电子技术(北京)有限公司
Abstract: 本申请属于半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。移动光阑用于扫描电镜并包括光阑组件，光阑组件包括光阑及反射镜面；光阑用于调节扫描电镜中的电子束流，反射镜面设置于光阑在电子光路上的下方；反射镜面用于改变光学光路方向以与电子光路同轴。可见，光阑组件集成有用于实现光学成像模式功能的反射镜面，改变光学光路方向，保证光学光路与电子光路同轴。如此，在光学成像模式下定位后，直接可切换至电子成像模式进行检测，不须额外调整承放样品的可移动平台。
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公开(公告)号：CN117396995A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202280037976.9
申请日：2022-09-15
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/09
Abstract: 一种电子束装置包含上柱电子光学器件及下柱电子光学器件。所述上柱电子光学器件包含孔隙阵列以将电子束划分成多个电子子束。所述上柱电子光学器件还包含具有多个透镜的透镜阵列以调整所述多个电子子束的焦点。所述多个透镜的相应透镜用以调整所述多个电子子束的相应电子子束的所述焦点。所述上柱电子光学器件进一步包含第一全局透镜以依与所述透镜阵列相反的方式调整所述多个电子子束的所述焦点。
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