公开(公告)号：KR101958190B1

公开(公告)日：2019-03-14

申请号：KR1020180115895

申请日：2018-09-28

Applicant: (주)프라임광학 ,  전자부품연구원

Inventor： 곽병두 ,  김회경

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

公开(公告)号：KR101760257B1

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：KR1020170020755

申请日：2017-02-15

Applicant: (주)프라임광학

Inventor： 곽병두

IPC: C03C25/22

CPC classification number: C03C25/22 ,  C03C2218/151 ,  Y02P40/57

Abstract: 본발명은전자빔을이용한진공증착장치에있어서, 내부가진공상태인본체(2)를구비하고, 본체(2) 일측에는내부를확인하기위한투시부(4)를설치하며, 상기본체(2) 내측의상부에는회전원판(6)을설치하고, 상기회전원판(6)의하단에는코팅하고자하는제품을위치시키기위한거치대(8)를설치하며, 상기본체(2) 내측의하부에는회전축(50)을기준으로회전하면서본체(2) 상부에설치된거치대(8)의크기와종류의변경시에회전에의해거치대(8)의중심과시료(32)의중심을맞춤으로써상부로직진이동하는시료(32)가코팅제품(70)에고르게증착될수 있도록하는회전모듈(30)로구성하여본체(2) 내의상부에설치되는코팅제품(70)의크기와종류가변경되어도전자빔(34)의위치를이동시켜상부의코팅제품(70)과하부의전자빔(34)의상하위치를맞춤으로써기존의마스크(36)의종류나위치를조절하는것에비해작업시간을줄일수 있는효과가있다.