公开(公告)号：CN1723091A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200380105324.1

申请日：2003-10-07

Applicant: 株式会社星团 ,  东京系统开发株式会社 ,  爱信AW株式会社

Inventor： 柴野美雪 ,  奥野秦 ,  榊原正人

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B3/123

Abstract: 本发明提供了在对清洗物进行超声波清洗时实现清洗物向清洗槽出入的高效化同时防止装置在垂直尺寸上变得大型化的超声波清洗技术。在清洗槽(2)的侧壁上设置入口(6)与出口(7)，入口(6)与出口(7)具有开闭自如的门(6h、7h)，从上游的移送通路(3)移送来的清洗物(载体(8))从入口(6)投入后，用门(6h)堵住而密闭，将在贮存槽内除气了的清洗液导入清洗槽(2)内对清洗物进行超声波清洗。其后，清洗槽(2)内清洗液返回贮存槽，打开出口(7)的门(7h)，从出口(7)通过下游的移送通路(4)，向侧方排出清洗物(载体(8))。然后，反复进行该操作。