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1.发明专利製造石英玻璃坩鍋之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A CRUCIBLE OF QUARTZ GLASS 审中-公开制造石英玻璃坩锅之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A CRUCIBLE OF QUARTZ GLASS
公开(公告)号：TW200951084A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：TW098115224
申请日：2009-05-08
Applicant: 德國何瑞斯廓格拉斯公司
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C30B35/002
Abstract: 本發明係由一種石英玻璃坩鍋之製造方法為起點，其係於一旋轉之熔化模具內將二氧化矽內覆層晶粒玻璃化，該熔化模具至少有部分被一熱屏蓋住，並於一含輕氣體之空氣中經電漿之作用而形成一透明內覆層，且至少有部分包含輕氣體之空氣係經由熱屏上之氣體注入口注入至熔化模具內。為讓內覆層含有特別低之氣泡含量，並讓能量及材料之花費為最少，本發明所提出之方法為，於玻璃化步驟前之覆層形成步驟中，於內壁形成一二氧化矽內覆層晶粒之晶粒覆層，而電漿區及與氣體注入口連在一起之熱屏，至少可於一與轉軸垂直之方向上移動，且能在玻璃化步驟當中於晶粒覆層方向上橫向移動，以讓晶粒覆層璃玻化。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系由一种石英玻璃坩锅之制造方法为起点，其系于一旋转之熔化模具内将二氧化硅内覆层晶粒玻璃化，该熔化模具至少有部分被一热屏盖住，并于一含轻气体之空气中经等离子之作用而形成一透明内覆层，且至少有部分包含轻气体之空气系经由热屏上之气体注入口注入至熔化模具内。为让内覆层含有特别低之气泡含量，并让能量及材料之花费为最少，本发明所提出之方法为，于玻璃化步骤前之覆层形成步骤中，于内壁形成一二氧化硅内覆层晶粒之晶粒覆层，而等离子区及与气体注入口连在一起之热屏，至少可于一与转轴垂直之方向上移动，且能在玻璃化步骤当中于晶粒覆层方向上横向移动，以让晶粒覆层璃玻化。
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公开(公告)号：TWI468351B
公开(公告)日：2015-01-11
申请号：TW098115224
申请日：2009-05-08
Applicant: 德國何瑞斯廓格拉斯公司 , HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG
Inventor： 凱薩 湯瑪士 , KAYSER, THOMAS , 雷曼 華特 , LEHMANN, WALTER , 勞當 西瑪 , LAUDAHN, HILMAR
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C30B35/002
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