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公开(公告)号：JP2013169223A
公开(公告)日：2013-09-02
申请号：JP2012032943
申请日：2012-02-17
Applicant: Morito Co Ltd , モリト株式会社 , Okano Seisakusho:Kk , 株式会社岡野製作所
Inventor： TOSHIMITSU AKIHIKO , KAMEI TERUMI , OKANO SHUNSUKE
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connector that reduces troublesomeness in connection by allowing an engaging piece to reliably and easily reach an insertion port and is not connected in a twisted state of bands.SOLUTION: A connector 1 includes: a body 2 for supporting engaging portions 7 and 7 and allowing engaging pawls of the engaging portions 7 and 7 to be separable; an insertion/extraction body 31 having an engaging piece 32 and connected to the body 2 by the engagement of the engaging pawls; a first urging member for urging inner side parts of the engaging portions 7 and 7 to an exterior part of a storage portion 5; a second urging member for urging the engaging piece 32 engaged with the engaging pawls to an exterior part of the storage portion 5 and also pushing out the engaging piece 32 to an exterior part of the storage portion 5 when the engagement is released; and a resin cover 21 arranged on an outer peripheral surface of the body 2. A lower plate 4 is extended in an insertion/extraction direction X at an insertion port 16. The resin cover 21 includes a guide groove 24 communicating with the insertion port 16. A notch 25 (18) is arranged in the resin cover 21 (and an upper plate). The insertion/extraction body 31 includes a projection 34 positioned inside the notch 25 (18) when the engaging piece 32 is engaged.
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种连接器，其通过允许接合件可靠且容易地到达插入端口并且不以带状的扭曲状态连接来减少连接中的麻烦。解决方案：连接器1包括：主体2，用于支撑 接合部分7和7并且允许接合部分7和7的接合爪可分离; 具有接合件32并通过接合爪的接合连接到主体2的插入/取出主体31; 第一推动构件，用于将接合部分7和7的内侧部分推压到存储部分5的外部; 第二推动构件，用于将与接合爪接合的接合片32推压到存储部5的外部，并且在接合被解除时也将接合片32推出到存储部5的外部; 以及设置在主体2的外周面上的树脂盖21.下板4在插入口16处沿插入/取出方向X延伸。树脂盖21包括与插入口16连通的引导槽24 凹槽25（18）布置在树脂盖21（和上板）中。 插入/取出主体31包括当接合件32接合时位于凹口25（18）内的突起34。
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公开(公告)号：JP2012198187A
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：JP2011085772
申请日：2011-03-22
Applicant: Okano Seisakusho:Kk , Soichi Ogawa , Koji Mima , Technology Research Institute Of Osaka Prefecture , 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 , 倉一 小川 , 株式会社岡野製作所 , 宏司 美馬
Inventor： OKANO YUKIKO , TAJIRI SHUICHI , AOZONO TAKASHI , OGAWA SOICHI , MIMA KOJI , OKAMOTO AKIO
IPC: G01L21/12
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately measure a pressure value in a vacuum environment without disturbing the environment.SOLUTION: A micro pressure sensor is composed of a heat conduction type pressure sensor part 2 arranged on a necessary position in a vacuum device and a control part 3 arranged on an outer wall of the vacuum device. The pressure sensor part 2 includes: a polymeric film support having a cavity part formed by a bottom and a cylindrical or square frame; a polymeric film 21 stuck to the upper surface of the frame of the polymeric film support by adhesive; one pressure sensor 22 arranged on a center part of the polymeric film 21; and one or more temperature sensors 23 arranged on the periphery of the pressure sensor 22. The pressure sensor 22 and the temperature sensors 23 are connected to a control part 3 respectively through electrodes. The control part 3 applies heating power to the pressure sensor 22 to control heating to a fixed temperature, the temperature sensors 23 measure the peripheral temperatures of the pressure sensor 22 by resistance changes, and a pressure value corresponding to the heating power in the vacuum device is corrected by the resistance changes to measure an accurate pressure value in the vacuum device.
Abstract translation: 要解决的问题：精确测量真空环境中的压力值，而不会影响环境。 解决方案：微压力传感器由布置在真空装置中的必要位置上的导热型压力传感器部件2和布置在真空装置的外壁上的控制部件3组成。 压力传感器部分2包括：聚合物膜支撑件，其具有由底部和圆柱形或正方形框架形成的空腔部分; 通过粘合剂粘合到聚合物膜支撑体的框架的上表面的聚合物膜21; 布置在聚合物膜21的中心部分上的一个压力传感器22; 以及布置在压力传感器22周边的一个或多个温度传感器23.压力传感器22和温度传感器23分别通过电极连接到控制部分3。 控制部3向压力传感器22施加加热功率，将加热控制在固定温度，温度传感器23通过电阻变化来测量压力传感器22的周围温度，对应于真空装置内的加热功率的压力值 通过电阻变化进行校正，以测量真空装置中的精确压力值。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP2011085568A
公开(公告)日：2011-04-28
申请号：JP2009256520
申请日：2009-10-19
Applicant: Koji Mima , Soichi Ogawa , Okano Seisakusho:Kk , 倉一 小川 , 株式会社岡野製作所 , 宏司 美馬
Inventor： OKANO YUKIKO , TAJIRI SHUICHI , AOZONO TAKASHI , OGAWA SOICHI , MIMA KOJI
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat-conductive moisture meter for continuously measuring the absolute humidity, at a high speed without the use of a referencing thermistor.
SOLUTION: By using a sensor element, a compound nitride film material, such as a Ta-Al compound nitride, having a resistance temperature coefficient of (-)10,000 to (-)30,000 ppm/°C, is thinned, and formed on a polyimide fill substrate 11, having a heat resistance up to a temperature of 500°C and a thickness of 1-10 μm; thermal capacity is micronized; and change in the thermal conductivity of a sensor sensitive section due to the moisture contained in a gas and ambient temperature in the vicinity of a sensor are measured separately; and both the data are processed on software.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题：提供一种用于在不使用参考热敏电阻的情况下高速连续测量绝对湿度的导热水分计。 解决方案：通过使用传感器元件，具有电阻温度系数（ - ）10,000至（ - ）30,000ppm /℃的诸如Ta-Al复合氮化物的复合氮化物膜材料变薄，并且 形成在聚酰亚胺填充基板11上，其耐热性高达500℃，厚度为1-10μm; 热容量微粉化; 分别测量由于气体中含有的水分和传感器附近的环境温度导致的传感器敏感部的热导率的变化， 并且这两个数据都是用软件处理的。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JPWO2014057536A1
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：JP2014540653
申请日：2012-10-10
IPC: G01L21/12
Abstract: 本発明は、構造がシンプルかつ堅牢であり、かつ測定精度が高い小型の圧力センサ、および該圧力センサを備えた真空加工装置を提供することを課題とする。本発明に係る圧力センサ1は、空洞部4aが形成された基台部4、基台部4の表面に設けられた高分子膜5、高分子膜5の表面領域5bに設けられた第1薄膜センサ6、および高分子膜5の表面領域5cに設けられた第2薄膜センサ7を備えたセンサ部2と、第1薄膜センサ6の温度が予め定められた温度に維持されるように電力を第1薄膜センサ6に供給する第1駆動部、および第2薄膜センサ7の温度に影響を与えない程度の微小電流を第2薄膜センサ7に供給する第2駆動部を備えた制御部3とを備える。第1薄膜センサ6および第2薄膜センサ7は、温度に応じて抵抗値が変化するよう構成されている。
Abstract translation: 本发明中，该结构是简单且坚固的，并且测量精度高微型压力传感器，其目的是提供一种具有一个压力传感器的真空处理装置。 根据本发明的压力传感器1中，基体部腔4a上形成如图4所示，设置在基体部4的表面上的聚合物膜5，第一设置在聚合物膜5的表面区域5b 薄膜传感器6，以及具有在聚合物膜5的表面区域5c设置在第二薄膜传感器7的传感器单元2，功率，使得所述第一薄膜传感器6的温度维持在预定的温度 第一第一驱动器，用于提供所述薄膜传感器6和第二薄膜传感器7控制单元3，用于小电流将不影响与第二驱动器的温度，用于提供第二薄膜传感器7 设置有门。 第一薄膜传感器6和第二薄膜传感器7，根据温度的电阻值的变化构造成。
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公开(公告)号：JP2012199501A
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：JP2011085773
申请日：2011-03-22
Applicant: Okano Seisakusho:Kk , Soichi Ogawa , Koji Mima , Technology Research Institute Of Osaka Prefecture , 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 , 倉一 小川 , 株式会社岡野製作所 , 宏司 美馬
Inventor： OKANO YUKIKO , TAJIRI SHUICHI , AOZONO TAKASHI , OGAWA SOICHI , MIMA KOJI , OKAMOTO AKIO
IPC: H01L21/02
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that a plurality of vacuum gauges can be installed only near the external wall in various thin film formation processes using a vacuum application processing device, and can simply detect abnormalities occurring by device trouble or maintenance, an event of setting change such as modification of device, in the early stage.SOLUTION: A vacuum environment measurement control system always compares multichannel measurement data of pressure and temperature from a plurality of micro pressure sensors 21 installed in measurement spots of a vacuum application processing device 1 with measurement data stored in a pressure/temperature database section 32. In the vacuum environment measurement control system, based on the comparison results, the exhaust flow rate is adjusted by a control valve 15, the supply gas flow rate is adjusted by a supply gas flow rate controller 17, and the pressure conditions in the vacuum application processing device are controlled to be proper.
Abstract translation: 要解决的问题为了解决在使用真空应用处理装置的各种薄膜形成处理中可以仅在附近的外壁上安装多个真空计的问题，并且可以简单地检测由设备故障发生的异常或 维护，设备变更等事件，如设备的修改，在早期阶段。 解决方案：真空环境测量控制系统总是将安装在真空应用处理设备1的测量点中的多个微压力传感器21的压力和温度的多通道测量数据与存储在压力/温度数据库部分中的测量数据进行比较 在真空环境测量控制系统中，基于比较结果，通过控制阀15调节废气流量，供给气体流量由供给气体流量控制器17调节，并且压力条件 真空应用处理装置被控制为适当的。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP3175319U
公开(公告)日：2012-05-10
申请号：JP2012001086
申请日：2012-02-10
IPC: G01L21/12
Abstract: 【課題】振動・衝撃に強く、真空領域から大気圧以上の圧力領域の測定ができ、雰囲気温度の影響が少なく、電気的ノイズを遮蔽し、狭小空間の動的な圧力測定ができる熱伝導型真空圧力計を提供する。
【解決手段】圧力検出フィラメントの周囲に囲むように、測定気体の流通のための開口部３と加熱ヒータ４で一定温度を保つように温度制御されたヒートシンク２を設け、圧力検出フィラメントとして純白金（Ｐｔ）を用い、圧力検出フィラメントを微小な巻き線構造として小型化し、開口部に金属メッシュ６を取り付け、オイルミストやダストの付着を防止し、電気的ノイズを遮蔽する。
【選択図】図１-
公开(公告)号：JP2011000317A
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：JP2009146558
申请日：2009-06-19
Applicant: Morito Co Ltd , Okano Seisakusho:Kk , モリト株式会社 , 株式会社岡野製作所
Inventor： KAMEI TERUMI , OKANO SHUNSUKE
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connector which can certainly be separated by an operation with a single hand, has a biasing member with improved durability and connection of a body and an insertion/removing body is made easier.SOLUTION: The invention is provided with: a body 2 which swings/supports a pair of engaging parts 7, 7 which keep engaging pawls 8, 8 counter to each other within a storage part 5 and has operation parts 9, 9 extending out of the storage part 5, and enables the engaging pawls 8, 8 to be separated from each other by the operation parts 9, 9; an insertion/removing body 21 which has an engaging piece 22 inserted between the engaging pawls 8, 8 and engaged with them and connects to the body 2; a torsion coil spring 11 which energizes the inner side parts 10, 10 to the outside of the storage part 5; and a torsion coil spring 12 which has a part 12a which touches the engaging piece 22 of the insertion/removing body 21 which is inserted between the engaging pawls 8, 8, energizes the engaging piece 22 in the engaged condition toward outside of the storage part 5 and moves so that the coil part 12a touching the engaging piece 22 may extrude the engaging piece 22 to the outside of the storage part 5 if the engaging piece 22 is separated.
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供通过单手的操作肯定可以分离的连接器，具有改进的耐久性的偏置构件，使得本体和插入/移除体的连接变得更容易。解决方案：提供本发明 具有：摆动/支撑一对接合部分7,7的主体2，该对接合部分7,7将接合爪8,8彼此抵靠在存储部分5内并且具有延伸出存储部分5的操作部分9,9，并且使能 通过操作部分9,9彼此分离的接合爪8,8; 插入/移除体21，其具有插入在接合爪8,8之间并与它们接合并连接到主体2的接合件22; 扭转螺旋弹簧11，其将内侧部分10,10激励到存储部分5的外部; 以及扭转螺旋弹簧12，其具有与插入在接合爪8,8之间的插入/取出主体21的接合片22相接触的部分12a，该接合片22在接合状态下朝向收纳部的外侧 如图5所示，如果接合件22分离，则接触接合件22的线圈部分12a可以将接合件22拉伸到存储部件5的外部。
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