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公开(公告)号：CN1315725C
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN00817608.6
申请日：2000-12-28
CPC classification number: C03B19/1065 , C01B33/16 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C1/006
Abstract: 本发明涉及通过对含水硅胶进行冻结、解冻、除去解离水的水分使含水硅胶脱水，得到二氧化硅粒子。另外，再通过对得到的二氧化硅粒子进行洗涤、焙烧制造合成石英玻璃粉末。另外，使水玻璃脱碱，添加氧化剂和酸，通过氢型阳离子交换树脂，接着，使该二氧化硅水溶液凝胶化，再通过洗涤、焙烧制造合成石英粉。或者，通过分别在150～400℃、500～700℃、接着，在1100℃～1300℃下，将二氧化硅保持一定时间，制造石英玻璃。
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公开(公告)号：CN1531753A
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN02803905.X
申请日：2002-01-18
IPC: H01L23/31
CPC classification number: H01L27/11502 , B01B1/005 , B01D3/346 , B01F3/04021 , B01F5/0646 , B01F5/0653 , B01F5/0656 , B01F5/0671 , B01F5/0676 , C23C16/40 , C23C16/409 , C23C16/4486 , H01L21/02197 , H01L21/02205 , H01L21/02271 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55 , Y10S261/65
Abstract: 一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。
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公开(公告)号：CN1513201A
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：CN02810753.5
申请日：2002-03-25
IPC: H01L21/318
CPC classification number: H01L21/318 , C23C16/36 , C23C16/452 , C23C16/509
Abstract: 本发明提供了一种用于形成能形成硼－碳－氮膜的膜的方法和设备。用于形成该膜的方法包括在圆柱形容器1中产生等离子体50，主要激励容器1中的氮原子，然后使硼与碳反应，并在衬底60上形成硼－碳－氮膜61。
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公开(公告)号：CN1488166A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN02803907.6
申请日：2002-01-18
IPC: H01L21/316 , H01L21/31
CPC classification number: H01L27/11502 , C23C16/40 , C23C16/4486 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55
Abstract: 铁电体薄膜的特征在于，具有包括氧(O)和至少碳、锶(Sr)、铋(Bi)、钽(Ta)和铌(Nb)的层状晶体结构，其组成式为SrBiyTa2O9±d或SrxBiy(Ta，Nb)2O9±d，假定0.90≤x＜1.00，1.70＜y≤3.20，和0≤d≤1.00，并且碳含量是5％at或更少。
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公开(公告)号：CN1720413A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200380104793.1
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社渡边商行
Inventor： 深川满
CPC classification number: F16K27/003 , Y10T137/87249
Abstract: 本发明提供一种能够在短时间且容易地进行单体阀内和原料溶液供给线的洗涤的单体阀。提供一种副生成物或反应生成物的残留极为少的单体阀。减少阀内的停留部，减少内容积。与液体材料供给槽或液体材料气化器等结构部件的连接是，以配管内容积的减低为目的，使用金属制密封部件，并将阀直接与结构部件连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1413169A
公开(公告)日：2003-04-23
申请号：CN00817608.6
申请日：2000-12-28
CPC classification number: C03B19/1065 , C01B33/16 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C1/006
Abstract: 本发明涉及通过对含水硅胶进行冻结、解冻、除去解离水的水分使含水硅胶脱水，得到二氧化硅粒子。另外，再通过对得到的二氧化硅粒子进行洗涤、焙烧制造合成石英玻璃粉末。另外，使水玻璃脱碱，添加氧化剂和酸，通过氢型阳离子交换树脂，接着，使该二氧化硅水溶液凝胶化，再通过洗涤、焙烧制造合成石英粉。或者，通过分别在150～400℃、500～700℃、接着，在1100℃～1300℃下，将二氧化硅保持一定时间，制造石英玻璃。
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公开(公告)号：CN103380486B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201180062075.7
申请日：2011-12-21
IPC: H01L21/31 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481 , B01D1/00
Abstract: 本发明提供的是可减少膜的波纹，微粒，和碳含量且可供应可形成具有期望组成的膜的原材料的汽化器。此外，提供无需额外加热可实施足够汽化的汽化器且可改善温度管理。汽化器包括成膜用液体材料分散于其中的载体气体所被导入的汽化器主体（3）和配置于汽化器主体内的加热器主体（4）。加热器主体的入口部分的形状为圆锥。
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公开(公告)号：CN103380486A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201180062075.7
申请日：2011-12-21
IPC: H01L21/31 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481 , B01D1/00
Abstract: 本发明提供的是可减少膜的波纹，微粒，和碳含量且可供应可形成具有期望组成的膜的原材料的汽化器。此外，提供无需额外加热可实施足够汽化的汽化器且可改善温度管理。汽化器包括成膜用液体材料分散于其中的载体气体所被导入的汽化器主体（3）和配置于汽化器主体内的加热器主体（4）。加热器主体的入口部分的形状为圆锥。
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公开(公告)号：CN100595910C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN02803905.X
申请日：2002-01-18
IPC: H01L23/31
CPC classification number: H01L27/11502 , B01B1/005 , B01D3/346 , B01F3/04021 , B01F5/0646 , B01F5/0653 , B01F5/0656 , B01F5/0671 , B01F5/0676 , C23C16/40 , C23C16/409 , C23C16/4486 , H01L21/02197 , H01L21/02205 , H01L21/02271 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55 , Y10S261/65
Abstract: 一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。
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公开(公告)号：CN1966762A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200610095864.1
申请日：2002-01-18
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: H01L27/11502 , B01B1/005 , B01D3/346 , B01F3/04021 , B01F5/0646 , B01F5/0653 , B01F5/0656 , B01F5/0671 , B01F5/0676 , C23C16/40 , C23C16/409 , C23C16/4486 , H01L21/02197 , H01L21/02205 , H01L21/02271 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55 , Y10S261/65
Abstract: 一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。
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