公开(公告)号：WO2013102351A1

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：PCT/CN2012/078863

申请日：2012-07-19

Applicant: 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 ,  张鹏 ,  李学威 ,  曲道奎 ,  徐方 ,  孙义田 ,  温燕修 ,  何书龙 ,  何伟全

Inventor： 张鹏 ,  李学威 ,  曲道奎 ,  徐方 ,  孙义田 ,  温燕修 ,  何书龙 ,  何伟全

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  G03F9/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68728

Abstract: 一种透光夹持式预对准机，包括一机座（1）、一装设在机座（1）上的卡爪（2）以及一检测圆晶（12）上的缺口（13）的传感器（4），卡爪（2）包括至少两个卡爪接触单元（8）、至少两个卡爪臂（10）以及至少两个与卡爪接触单元（8）和卡爪臂（10）相连的连接部（9），卡爪接触单元（8）夹持所述圆晶（12），卡爪臂（10）支撑所述圆晶（12），连接部（9）是透光材料制成，所述传感器（4）包括一光线发射端（5）以及一光线接收端(7），所述光线发射端（5）发射光线以检测缺口（13）位置，在所述连接部（9）夹在所述光线发射端（5）、所述光线接收端（7）中间，所述缺口（13）位于所述连接部（9）上方时，所述传感器（4）检测出所述缺口（13）所在的位置。