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公开(公告)号：TWI681504B
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：TW105103209
申请日：2016-02-02
Applicant: 荷商ASM IP控股公司 , ASM IP HOLDING B.V.
Inventor： 尼斯卡嫩 安提 具哈尼 , NISKANEN, ANTTI JUHANI , 安提拉 雅各 , ANTTILA, JAAKKO
IPC: H01L21/768 , H01L21/3213
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