公开(公告)号：WO2012138035A1

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：PCT/KR2011/009165

申请日：2011-11-29

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단 ,  강관형 ,  류재춘 ,  김원경

Inventor： 강관형 ,  류재춘 ,  김원경

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  F04B17/00

CPC classification number: F04B19/006 ,  F04B43/043 ,  H02K44/06

Abstract: 본 발명의 마이크로 펌프는, 절연 액체의 유동을 제어하는 마이크로 펌프에 있어서, 상기 절연 액체의 이동 통로를 형성하는 사각 형상을 갖는 사각 채널(370); 상기 사각 채널의 내부에 형성되어 전기장을 인가하기 위한 평면 형상을 갖는 평면 전극 형성부(310); 상기 절연 액체가 유입되는 유입부(320); 및 상기 절연 액체가 유출되는 유출부(330)를 제공함에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 마이크로 펌프는 복잡한 부품을 사용하지 않고 간단한 기술적 구성만으로 10 -10 ~ 10 -12 S/m 범위의 낮은 전도도를 갖는 절연 액체를 이송함으로 인해 비용절감 및 다양한 미세역학 장치에 응용할 수 있는 장점이 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制绝缘液体流动的微型泵。 微型泵包括：具有正方形形状的方形通道（370），以提供绝缘液体流过的通道; 设置在所述方形通道内以产生电场的平面电极形成部分（310），所述平面电致形成部分具有平面形状; 入口（320），绝缘液体通过该入口（320）供给; 和排出绝缘液体的出口（330）。 根据本发明的微型泵，可以通过简单的结构传递具有约10-10至10-12S / m的低导电性的绝缘液体，而不使用复杂的部件，从而降低制造成本。 此外，微型泵可以应用于各种微机械装置。