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公开(公告)号：WO2012134002A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/KR2011/006905
申请日：2011-09-19
Inventor： 박강환
IPC: G01N21/956 , G02F1/13 , G01N21/64
CPC classification number: G01N21/956 , G01N2021/9513 , G02F1/1303 , G02F1/1309
Abstract: 본 발명은 패턴층이 형성된 기판의 패턴검사방법 및 패턴검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 저비용으로 효율적인 패턴 검사가 가능한 패턴층이 형성된 기판의 패턴검사방법 및 패턴검사장치에 관한 것으로, 패턴층이 형성된 기판상에, '상기 기판은 투과하고 상기 패턴층은 투과하지 않는 범위 내의 파장'인 제1파장을 갖는 제1파장광을 조사하는 단계; 및 상기 패턴층이 형성된 기판이 상기 조사된 제1파장광을 흡수한 후 발산하는 제2파장을 갖는 제2파장광을 검출하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种图案测试方法和用于其上形成有图案层的基板的图案测试装置，更具体地，涉及一种图案测试方法和用于其上形成有图案层的基板的图案测试装置，该方法 该装置能够进行高效，低成本的图案测试，并且包括以下步骤：在其上形成有图案层的基板上照射第一波长的第一波长的光，其是波长在穿透的范围内的波长 基板并且不穿透图案层'; 以及在吸收被照射的第一波长光之后，检测由其上形成有图案层的基板发散的具有第二波长的第二波长光。
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公开(公告)号：WO2012134001A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/KR2011/006904
申请日：2011-09-19
Inventor： 박강환
IPC: G01N21/956 , G02F1/13 , G01N21/64
CPC classification number: G01N21/956 , G01N2021/9513 , G02F1/1309 , G02F2001/133302
Abstract: 본 발명은 패턴층이 형성된 기판의 패턴검사방법 및 패턴검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 저비용으로 효율적인 패턴 검사가 가능한 패턴층이 형성된 기판의 패턴검사방법 및 패턴검사장치에 관한 것으로, 패턴층이 형성된 기판상에, '상기 기판은 투과하고 상기 패턴층은 투과하지 않는 범위 내의 파장'인 제1파장을 갖는 제1파장광을 조사하는 단계 및 상기 패턴층이 형성된 기판을 투과한 제1파장광을 검출하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种图案测试方法和用于其上形成有图案层的基板的图案测试装置，更具体地，涉及一种图案测试方法和用于其上形成有图案层的基板的图案测试装置，该方法 该装置能够进行高效，低成本的图案测试，并且包括以下步骤：在其上形成有图案层的基板上照射第一波长的第一波长的光，其是波长在穿透的范围内的波长 基板并且不穿透图案层'; 并且检测穿透其上形成有图案层的基板的第一波长光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR2019960033728U
公开(公告)日：1996-11-19
申请号：KR2019950006831
申请日：1995-04-07
IPC: B25B13/00
Abstract: 본고안은한개의소켓으로다양한크기의볼트를체결·분해할수 있는이동조임쇠(8', 8")를갖는소켓렌치에관한것이다. 소켓은한쌍의지지봉(10)에의해지지되면서, 이송나사(9)에의해지지봉(10)의축방향으로대칭이동을하여볼트머리의크기에맞도록간격이조절되는한쌍의조임쇠(8', 8")를갖고있다. 이소켓을기존의래칫스톱본체(1)와결합시켜볼트의체결·분해작업에사용한다. 본고안은각각의볼트크기에해당하는소켓을제조·보유할필요가없어재료의낭비를막고, 볼트의분해·체결작업시작업의효율성과편리성을증대시키는효과가있다.
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