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公开(公告)号:WO2011078512A3
公开(公告)日:2011-06-30
申请号:PCT/KR2010/008941
申请日:2010-12-14
IPC: C09K11/08 , H01L21/306
Abstract: 전자소자의 금속전극과 진성반도체층 사이에 배치된 도핑된 반도체층을 상기 진성반도체층에 대하여 선택적으로 식각하는 식각액으로서, 전이금속 및/또는 전이금속염; 및 불산 및/또는 불소를 포함하는 무기염;을 포함하는 식각액이 제시된다.
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