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公开(公告)号:WO2013015491A1
公开(公告)日:2013-01-31
申请号:PCT/KR2011/008310
申请日:2011-11-02
CPC classification number: C23C18/1682 , C23C18/1619 , C23C18/1666 , C23C18/1676 , C23C18/168 , C25D5/003 , C25D5/20 , C25D17/001 , C25D17/004 , C25D17/02 , C25D21/02 , C25D21/04
Abstract: 본 발명은 진공 도금 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 진공 챔버 내에 도금액이 수용되는 도금조를 배치하고, 진공 펌프를 이용하여 상기 진공 챔버 내부를 진공 상태로 만들어줌으로써, 도금 전처리 공정 또는 도금 공정 중에 발생되는 기포의 배출 및 제거가 용이하게 됨에 따라, 도금물의 기계적 전기적 열화를 효과적으로 방지하고, 도금 성능을 향상시킬 수 있는 진공 도금 장치 및 진공 도금 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于真空涂覆的设备和方法,更具体地说,本发明涉及一种真空涂层的设备和方法,其可以有效地防止涂层材料电气和机械劣化,并且可以改善涂层能力,因为气泡 在涂布预处理过程中发生,或者通过使用真空泵将真空室的内部放置在真空状态,并且由于电镀浴在真空室内含有电镀液,容易地排出和除去涂布过程。