公开(公告)号：WO2010123232A2

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：PCT/KR2010/002411

申请日：2010-04-19

Applicant: 에이디알엠테크놀로지(주) ,  권영진 ,  김정희

Inventor： 권영진 ,  김정희

IPC: B01J12/00 ,  C01B33/107 ,  B01J19/26 ,  B01J19/32

CPC classification number: C01B33/1071 ,  B01J8/006 ,  B01J8/1809 ,  B01J8/1827 ,  B01J2208/00274 ,  B01J2208/00469 ,  B01J2208/00495 ,  B01J2208/00513

Abstract: 본 발명은 삼염화실란가스 제조용 반응장치에 관한 것이다. 이는 사염화실란가스 및 수소가스를 하부로 받아들여 상부로 유도하는 원통형 케이싱과; 상기 케이싱의 내부에 설치되며 케이싱 내에 열을 가하는 발열체와; 상기 발열체를 유도가열(誘導加熱)하는 유도가열부와; 상기 케이싱의 내부에 투입되며 가스에 열을 가하는 불활성 무기입자로 구성된 가열매체와; 상기 케이싱의 하부에 위치하며 상기 사염화실란가스와 수소가스를 케이싱 내부로 분출하는 다수의 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기와 같이 이루어지는 본 발명의 삼염화실란가스 제조용 반응장치는, 사염화실란가스와 수소가스의 혼합이 매우 균일하게 이루어짐은 물론 특히 열전달 효율이 뛰어나 전체적인 작동 효율이 높고 운전비용이 저렴하며, 사염화실란가스와 수소가스가 혼합된 혼합가스에 대한 발열체의 상대온도를 최소화 할 수 있어 발열체에 대한 수소가스의 부반응이 발생하지 않아 순도가 높은 삼염화실란을 제조할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及三氯硅烷气体的制造用反应装置。 反应装置包括：圆筒形壳体，其通过其下部接收四氯化碳气体和氢气，并将接收的气体引导到其上部; 安装在壳体中以将热量供给到壳体中的加热器; 感应加热单元，用于感应加热加热器; 注射到壳体中并由惰性无机颗粒构成的加热介质; 以及布置在壳体的下部中的多个喷嘴以将四氯化硅气体和氢气喷射到壳体中。 这样构成的本发明的三氯硅烷气体反应装置能够使四氯化硅气体和氢气均匀地混合，特别是具有优异的传热效率，整体运行效率提高，运行成本低。 本发明的反应装置使加热器相对于四氯化硅气体和氢气的混合气体的温度最小化，以防止氢气与加热器的副反应，从而产生高纯度的三氯硅烷气体。